CN113564718A - 一种用于半导体设备的水冷电极 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于半导体设备的水冷电极,包括铜电极、连接电极、绝缘筒和水冷套,所述铜电极的一端与所述连接电极的一端相连,所述绝缘筒套设于所述连接电极上;所述水冷套套设于绝缘筒的外部,所述水冷套的内部设置有水冷腔,所述水冷套上设有与所述水冷腔连通的进水孔和出水孔。本发明具有结构简单紧凑、工作安全可靠、成本低、拆装维护方便、节能降耗等优点。
Description
技术领域
本发明主要涉及半导体加工设备技术领域,具体涉及一种用于半导体设备的水冷电极。
背景技术
第三代半导体SiC氧化/退火设备,炉体加热设计最高温度需达到2100℃,加热器采用非金属石墨设计,具有低电压大电流特点,其加热电极需要考虑并解决以下几个问题:1、高温过渡问题:需从2100℃过渡到室温;2、密封问题:保证高温下的真空密封;3、电极发热问题:加热时大电流产生的电阻发热;4、安全问题:杜绝内部漏水,防止爆炸;绝缘要求,防止短路;5、空间问题:半导体立式炉设备要求设计空间紧凑,不宜过于笨重,应便于维修。
普通高温设备的水冷电极无法满足以上全部要求,或仅满足部分要求。目前所使用的超高温电极,变压器依次通过电缆和铜电极与加热器相连,由于铜电极与电缆与加热器之间距离较近,需要耐受高温,故铜电极采用水冷方式,电缆也采用水冷电缆,上述铜电极与电缆均采用水冷方式,从而其整体结构复杂且占用体积大,不易于在立式炉体上的拆装维护;而且上述水冷需要外部的水源,如果出现异常而导致水源断流,电缆极易因高温而熔化而引发安全问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题就在于:针对现有技术存在的技术问题,本发明提供一种结构简单紧凑、工作安全可靠的用于半导体设备的水冷电极。
为解决上述技术问题,本发明提出的技术方案为:
一种用于半导体设备的水冷电极,包括铜电极、连接电极、绝缘筒和水冷套,所述铜电极的一端与所述连接电极的一端相连,所述绝缘筒套设于所述连接电极上,所述水冷套套设于绝缘筒的外部,所述水冷套的内部设置有水冷腔,所述水冷套上设有与所述水冷腔连通的进水孔和出水孔。
作为上述技术方案的进一步改进:
所述连接电极为钼电极。
所述铜电极上设有沉孔,所述沉孔内设有螺栓或螺钉,所述连接电极的一端设有螺纹孔,所述螺栓或螺钉穿过所述沉孔与所述螺纹孔螺纹连接。
所述沉孔上设置有密封法兰。
所述水冷套的一端设有连接法兰,所述铜电极的一端设有止挡部,所述止挡部上套设有固定板,所述固定板上设有连接孔,所述连接孔内设有连接件,所述连接件穿过所述连接孔与所述连接法兰紧固相连。
所述固定板与铜电极的止挡部之间设置有绝缘环。
所述绝缘筒的外部套设有绝缘垫板,且所述绝缘垫板位于所述铜电极与连接法兰之间。
所述绝缘垫板的外部套设有密封圈,且所述密封圈位于所述铜电极与连接法兰之间。
所述绝缘垫板为陶瓷垫板。
所述铜电极的两侧设置有用于连接电缆的线孔。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
本发明的用于半导体设备的水冷电极,通过连接电极连接铜电极与加热器,即连接电极形成电极过渡区,使得后续的电缆远离加热器,避免加热器的温度对电缆的影响;在此基础上,在连接电极的外部设有水冷套,通过水冷套内的冷却水对连接电极进行冷却,保证连接电极的工作温度,保证其工作可靠性。
本发明的水冷电极整体结构简单紧凑,拆装维护高效;采用钼电极作为过渡区段,即使在水冷套突发断水故障时也能正常工作,提高工作的安全性,另外无需额外接应急水路,极大减少外围配置,节省成本和占地面积;由于不需要采用水冷电缆,则可以提高电缆的电压等级,电流相应减少,从而减少散热和设备功耗,设备运行成本降低,从而实现节能降耗(原来的水冷电缆中间通水很粗,电压小,电流大);另外水冷电极的结构采用铜电极、钼电极和水冷套的模块化设计,可拓展性强,可应用于其它同类超高温加热设备。
附图说明
图1为本发明在实施例的立体结构图。
图2为本发明在实施例的剖视结构图。
图3为本发明在实施例的爆炸结构图(未包括水冷套)。
图4为本发明的水冷套在实施例的立体结构图。
图例说明:1、铜电极;11、沉孔;12、螺栓;13、密封法兰;14、止挡部;15、固定板;16、连接件;17、绝缘环;18、线孔;2、连接电极;21、绝缘垫板;22、密封圈;3、绝缘筒;4、水冷套;41、水冷腔;42、进水孔;43、出水孔;44、连接法兰。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步描述。
如图1所示,本实施例的用于半导体设备的水冷电极,主要用于半导体SiC氧化/退火炉等高温设备中,具体结构包括铜电极1、连接电极2、绝缘筒3和水冷套4,铜电极1的一端与连接电极2的一端相连,铜电极1的另一端则通过电缆与变压器相连,连接电极2的另一端则连接加热器,即通过铜电极1与连接电极2实现变压器与加热器之间的电连接;绝缘筒3套设于连接电极2上;水冷套4套设于绝缘筒3的外部,水冷套4的内部设置有水冷腔41,水冷套4上设有与水冷腔41连通的进水孔42和出水孔43;通过进水孔42往水冷腔41内注入冷却水,冷却水在水冷腔41内吸收连接电极2的热量,再经出水孔43流出进行冷却,最终实现对连接电极2的冷却,保证连接电极2工作可靠性。
本发明的用于半导体设备的水冷电极,通过连接电极2连接铜电极1与加热器,即连接电极2形成电极过渡区,使得后续的电缆远离加热器,避免加热器的温度对电缆的影响;在此基础上,在连接电极2的外部设有水冷套4,通过水冷套4内的冷却水对连接电极2进行冷却,保证连接电极2的工作温度,保证其工作可靠性。
在一具体实施例中,连接电极2为钼电极。其中钼电极的电阻率比石墨的电阻率更低,其本身的电阻较低,本身发热量较低,从而进一步降低其工作温度。其中水冷套4采用不锈钢水冷套,密封安全可靠。当然,上述连接电极2与水冷套4的材质可根据实际情况进行选择。其中钼电极穿插在绝缘筒3内,且钼电极的外壁与绝缘筒3的内壁相贴合,其中钼电极与绝缘筒3之间可以通过侧壁的锁紧螺钉进行锁紧。其中绝缘筒3与水冷套4之间同样相互贴合,从而保证后续的有效冷却。
在一具体实施例中,铜电极1上设有沉孔11,沉孔11内设有螺栓12或螺钉,连接电极2的一端设有螺纹孔,螺栓12或螺钉穿过沉孔11与螺纹孔螺纹连接。铜电极1与钼电极之间连接简单可靠。另外在沉孔11上设置有密封法兰13,保证沉孔11内的密封性。
在一具体实施例中,水冷套4的一端设有连接法兰44,铜电极1的一端设有止挡部14,止挡部14上套设有环状的固定板15,固定板15上设有连接孔,连接孔内设有连接件16(如螺栓12),螺栓12穿过连接孔后与连接法兰44紧固相连,从而实现铜电极1与水冷套4之间的连接;水冷套4另一端则与炉体顶盖电极座相连。另外在固定板15与铜电极1的止挡部14之间设置有绝缘环17,保证铜电极1与外部固定板15之间的绝缘。
在一具体实施例中,绝缘筒3的外部套设有绝缘垫板21(如陶瓷垫板),且陶瓷垫板位于铜电极1与连接法兰44之间。其中陶瓷垫板可保证铜电极1与水冷套4之间的绝缘。另外在陶瓷垫板的外部套设有密封圈22,且密封圈22位于铜电极1与连接电极2之间,密封圈22能够保证水冷套4与绝缘筒3之间的密封性。
在一具体实施例中,铜电极1的两侧设置有线孔18,用于连接电缆。其中电缆远离加热器,则可以采用普通高温电缆,而无需水冷电缆,在降低成本的同时,也能够保证整体结构的紧凑性。
本发明的水冷电极整体结构简单紧凑,拆装维护高效;采用钼电极作为过渡区段,即使在水冷套4突发断水故障时也能正常工作,提高工作的安全性,另外无需额外接应急水路,极大减少外围配置,节省成本和占地面积;由于不需要采用水冷电缆,则可以提高电缆的电压等级,电流相应减少,从而减少散热和设备功耗,设备运行成本降低,从而实现节能降耗(原来的水冷电缆中间通水很粗,电压小,电流大);另外水冷电极的结构采用铜电极1、钼电极和水冷套4的模块化设计,可拓展性强,可应用于其它同类超高温加热设备。
以上仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰,应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,包括铜电极(1)、连接电极(2)、绝缘筒(3)和水冷套(4),所述铜电极(1)的一端与所述连接电极(2)的一端相连,所述绝缘筒(3)套设于所述连接电极(2)上,所述水冷套(4)套设于绝缘筒(3)的外部,所述水冷套(4)的内部设置有水冷腔(41),所述水冷套(4)上设有与所述水冷腔(41)连通的进水孔(42)和出水孔(43)。
2.根据权利要求1所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述连接电极(2)为钼电极。
3.根据权利要求1或2所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述铜电极(1)上设有沉孔(11),所述沉孔(11)内设有螺栓(12)或螺钉,所述连接电极(2)的一端设有螺纹孔,所述螺栓(12)或螺钉穿过所述沉孔(11)与所述螺纹孔螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述沉孔(11)上设置有密封法兰(13)。
5.根据权利要求1或2所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述水冷套(4)的一端设有连接法兰(44),所述铜电极(1)的一端设有止挡部(14),所述止挡部(14)上套设有固定板(15),所述固定板(15)上设有连接孔,所述连接孔内设有连接件(16),所述连接件(16)穿过所述连接孔与所述连接法兰(44)紧固相连。
6.根据权利要求5所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述固定板(15)与铜电极(1)的止挡部(14)之间设置有绝缘环(17)。
7.根据权利要求5所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述绝缘筒(3)的外部套设有绝缘垫板(21),且所述绝缘垫板(21)位于所述铜电极(1)与连接法兰(44)之间。
8.根据权利要求7所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述绝缘垫板(21)的外部套设有密封圈(22),且所述密封圈(22)位于所述铜电极(1)与连接法兰(44)之间。
9.根据权利要求7所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述绝缘垫板(21)为陶瓷垫板。
10.根据权利要求1或2所述的用于半导体设备的水冷电极,其特征在于,所述铜电极(1)的两侧设置有用于连接电缆的线孔(18)。
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