CN207163222U - 一种立式炉管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种立式炉管，包括顶端带出口的炉管体、设置于炉管体侧面底部的喷嘴管路的进口和设置于炉管内部中间位置的晶舟；所述炉管体上部径向小于炉管体下部径向；所述喷嘴管路顶端设喷嘴并从侧面底部水平延伸后垂直向上；所述喷嘴管路沿水平延伸面设夹具；所述夹具使喷嘴管路与炉管体上部间保持一定的水平间距。本实用新型能解决喷嘴管路与炉管内壁贴合过紧的情况，防止喷嘴管路的断裂。使生产膜时不再产生膜厚异常。夹具将喷嘴管路固定，减少喷嘴管路的折断风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种反应装置，尤其涉及一种立式炉管。
背景技术
立式炉管是半导体工业常用的仪器设备，现有的立式炉管的喷嘴管路贴炉管壁安装，在生产制作中容易造成膜厚异常。在使用立式炉管时，底端膜厚经常无端变厚，在确认排除工艺流程、检测器、膜厚量测机台的影响后，发现炉管内的喷嘴管路断裂：破碎的喷嘴管路掉落在炉管内，喷嘴管路变短导致沉积时SiH4大量集中在炉管底端，造成底端的膜厚异常。研究喷嘴管路断裂位置，对比其他喷嘴管路发现几乎在相同高度的位置，都有一个小缺口，证明该位置有明显受力。炉管的口径下宽上窄，口径变化处的高度与喷嘴管路断裂位置匹配。可以推断出安装两根长喷嘴管路时贴炉管内壁太紧，随着累计膜厚的增加，该位置受的应力也会不断增加，由于炉管气体干洗时是放热反应，温度的急剧变化导致喷嘴管路受到的应力变大而造成断裂。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能防止喷嘴管路断裂，防止膜厚变化的立式炉管。
本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：
一种立式炉管，包括顶端带出口的炉管体、设置于所述炉管体侧面底部的喷嘴管路的进口、设置于炉管体内部中间位置的晶舟和夹具；所述炉管体上部内径小于炉管体下部内径；所述喷嘴管路顶端设喷嘴并从所述炉管体的侧面底部水平延伸后垂直向上；所述夹具的下表面紧贴喷嘴管路水平延伸部分，所述夹具外侧面与所述炉管体内侧面相接，所述夹具内侧面与所述喷嘴管路的垂直管路贴合；所述夹具使喷嘴管路与炉管体上部间保持一定的水平间距。
为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：
优选的，所述喷嘴管路为至少一个。
优选的，所述喷嘴管路的高度可设置为与所述晶舟的顶端、中部和底端相对应的高度。
优选的，所述夹具从炉管体侧壁延伸至与喷嘴管路相接。
优选的，所述夹具与所述炉管体一体成型。
优选的，所述夹具与喷嘴管路相接处设喷嘴管路卡口。
优选的，所述夹具宽度为16mm。
优选的，所述夹具为与炉管体适配的圆弧条状。
优选的，所述炉管体顶端的出口由竖直弯折为水平向。
优选的，所述喷嘴管路与炉管体上部的水平间距为1-2mm。
本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
本实用新型能解决喷嘴管路与炉管内壁贴合过紧的情况，防止喷嘴管路的断裂。使生产膜时不再产生膜厚异常。夹具将喷嘴管路固定，减少喷嘴管路的折断风险。
附图说明
图1为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的结构示意图；
图2为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的透视图；
图3为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的剖面图；
图4为本实用新型的一种优选实施例的夹具的结构示意图；
其中的附图标记为：
1炉管体；2喷嘴管路；3晶舟；4夹具；11出口；12进口；13炉管体上部；14炉管体下部；41喷嘴管路卡口。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。
图1为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的结构示意图；图2为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的透视图；图3为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的剖面图；图4为本实用新型的一种优选实施例的夹具的结构示意图。
参见图1-图4，本实用新型的一种优选实施例的立式炉管，包括顶端带出口11的炉管体1、设置于所述炉管体1侧面底部的喷嘴管路2的进口12、设置于炉管体1内部中间位置的晶舟3和夹具4；所述炉管体上部13内径小于炉管体下部14内径；所述喷嘴管路2顶端设喷嘴并从所述炉管体1的侧面底部水平延伸后垂直向上；所述夹具4的下表面紧贴喷嘴管路2水平延伸部分，所述夹具4外侧面与所述炉管体1内侧面相接，所述夹具4内侧面与所述喷嘴管路2的垂直管路贴合；所述夹具4使喷嘴管路2与炉管体上部13间保持一定的水平间距。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述喷嘴管路2为至少一个。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述喷嘴管路2的高度可设置为与所述晶舟的顶端、中部和底端相对应的高度。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4从炉管体1侧壁延伸至与喷嘴管路2相接。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4与所述炉管体1一体成型。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4与喷嘴管路2相接处设喷嘴管路卡口41；
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述喷嘴管路卡口为圆弧形凹槽，所述圆弧形凹槽的宽度比所述喷嘴管路的外径更大，所述圆弧形凹槽沿喷嘴管理与夹具接触处的内侧面内凹，并形成从所述夹具上表面沿至下表面的通孔。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4宽度为16mm。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4为与炉管体1适配的圆弧条状。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述炉管体1与夹具4的相应安装高度设与夹具4底面形状相对应的底板，所述底板与所述炉管体1一体成型。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述炉管体1顶端的出口11由竖直弯折为水平向。
进一步的，在一种较佳的实施例中，所述喷嘴管路2与炉管体上部13的水平间距为1-2mm。
使用时，将喷嘴管路安装于炉管上，再将喷嘴管路调整到夹具的圆弧形凹槽中或与所述夹具面接触，使喷嘴管路与炉管体上部13有1-2mm的间距，再进行立式炉管的正常运行。
综上所述，本实用新型能解决喷嘴管路与炉管内壁贴合过紧的情况，防止喷嘴管路的断裂。使生产膜时不再产生膜厚异常。夹具将喷嘴管路固定，减少喷嘴管路的折断风险。
以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。
Claims (10)
1.一种立式炉管，其特征在于：包括顶端带出口(11)的炉管体(1)、设置于所述炉管体(1)侧面底部的喷嘴管路(2)的进口(12)、设置于炉管体(1)内部中间位置的晶舟(3)和夹具(4)；所述炉管体上部(13)内径小于炉管体下部(14)内径；所述喷嘴管路(2)顶端设喷嘴并从所述炉管体(1)的侧面底部水平延伸后垂直向上；所述夹具(4)的下表面紧贴喷嘴管路(2)水平延伸部分，所述夹具(4)外侧面与所述炉管体(1)内侧面相接，所述夹具(4)内侧面与所述喷嘴管路(2)的垂直管路贴合；所述夹具(4)使喷嘴管路(2)与炉管体上部(13)间保持一定的水平间距。
2.根据权利要求1所述的立式炉管，其特征在于：所述喷嘴管路(2)为至少一个。
3.根据权利要求2所述的立式炉管，其特征在于：所述喷嘴管路(2)的高度可设置为与所述晶舟的顶端、中部和底端相对应的高度。
4.根据权利要求1所述的立式炉管，其特征在于：所述夹具(4)从炉管体(1)侧壁延伸至与喷嘴管路(2)相接。
5.根据权利要求4所述的立式炉管，其特征在于：所述夹具(4)与所述炉管体(1)一体成型。
6.根据权利要求5所述的立式炉管，其特征在于：所述夹具(4)与喷嘴管路(2)相接处设喷嘴管路卡口(41)。
7.根据权利要求1所述的立式炉管，其特征在于：所述夹具(4)宽度为16mm。
8.根据权利要求7所述的立式炉管，其特征在于：所述夹具(4)为与炉管体(1)适配的圆弧条状。
9.根据权利要求1所述的立式炉管，其特征在于：所述炉管体(1)顶端的出口(11)由竖直弯折为水平向。
10.根据权利要求1所述的立式炉管，其特征在于：所述喷嘴管路(2)与炉管体上部(13)的水平间距为1-2mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720975466.2U CN207163222U (zh) | 2017-08-07 | 2017-08-07 | 一种立式炉管 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN207163222U true CN207163222U (zh) | 2018-03-30 |
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ID=61716131
Family Applications (1)
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| CN201720975466.2U Active CN207163222U (zh) | 2017-08-07 | 2017-08-07 | 一种立式炉管 |
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2017
- 2017-08-07 CN CN201720975466.2U patent/CN207163222U/zh active Active
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