CN206706204U - 氮化硅腔用一体式特气管路 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种氮化硅腔用一体式特气管路，包括防尘罩，所述防尘罩为U型槽，U型槽端部两侧分别向外具有外延板，所述外延板下表面固定有特气管道，所述特气管道与外部供气管路连通。本实用新型在外延板和U型槽底部固定有特气管道，供气管路内的特殊气体可直接通过特气管道传送供气，防尘罩与特气管道成一体结构，固定稳定不易发生偏移或变形，可有效延长特气管路的使用寿命，减少维护，保持镀膜工艺的长期稳定。

Description

氮化硅腔用一体式特气管路

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种氮化硅腔用一体式特气管路。

背景技术

目前，晶硅电池的生产主要流程通常为制绒、扩散、湿法刻蚀、减反射膜的沉积、丝网印刷和烧结。其中，减反射膜的沉积通常是采用PECVD等离子增强化学气相沉积法工艺形成氮化硅膜。氮化硅膜具有卓越的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽扩散的能力，且化学稳定性良好。

在PECVD工序过程中，通常采用MAIA设备进行加工。氮化硅腔一般在防尘罩外排布特气管路，防尘罩与腔体之间则通过螺丝固定。特气管路与防尘罩之间无有效固定，容易发生偏移，影响出气。而在使用过程中，防尘罩也容易发生变形，而经常进行维护反而会加重防尘罩和特气管路的变形，最终导致气路出气被阻挡，影响镀膜工艺的稳定性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中之不足，本实用新型提供一种防尘罩与特气管路固定为一体式，不易变形，使用寿命长，可保证工艺长期稳定的氮化硅腔用一体式特气管路。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种氮化硅腔用一体式特气管路，包括防尘罩，所述防尘罩为U型槽，U型槽端部两侧分别向外具有外延板，所述外延板下表面固定有特气管道，所述特气管道与外部供气管路连通。

进一步的，U型槽和外延板上均匀间隔开有固定孔，所述U型槽和外延板通过固定孔与氮化硅腔体锁紧。可通过螺钉将U型槽和外延板与氮化硅腔有效锁紧固定。

更进一步的，固定孔内还具有将特气管道与外延板锁紧的固定螺钉，使特气管道与外延板固定成一体，在使用过程中可避免发生偏移变形，保证了防尘罩和特气管道的稳定性。

进一步的，在U型槽底部还可通过固定螺钉固定有与U型槽锁紧的特气管道，在通过两侧外延板下方特气管道供气同时，U型槽底部也具有可供气的特气管路，供气更为充足，便于后续工艺。

本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的氮化硅腔用一体式特气管路，将防尘罩U型槽两端外延伸具有外延板，在外延板和U型槽底部固定有特气管道，供气管路内的特殊气体可直接通过特气管道传送供气，防尘罩与特气管道成一体结构，固定稳定不易发生偏移或变形，可有效延长特气管路的使用寿命，减少维护，保持镀膜工艺的长期稳定。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。

图中1、U型槽 2、外延板 3、特气管道 4、供气管路 5、固定孔 6、固定螺钉 7、侧板8、安装孔。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示，是本实用新型最优实施例，氮化硅腔用一体式特气管路，包括防尘罩，所述防尘罩为U型槽1，U型槽1端部两侧分别向外延伸具有有外延板2。外延板2与U型槽1优选为一体结构。

U型槽1和外延板2上均匀间隔开有固定孔5，所述U型槽1和外延板2通过固定孔5与氮化硅腔体锁紧。在实际成产中，可通过螺钉将U型槽1和外延板2与氮化硅腔有效锁紧固定。同时，U型槽1底部两侧也可分别焊接有具有安装孔8的侧板7，便于U型槽1与氮化硅腔体的安装固定。

所述外延板2下表面固定有特气管道3，所述特气管道3与外部供气管路4连通。固定孔5内还具有将特气管道3与外延板2锁紧的固定螺钉6，使特气管道3与外延板2固定成一体，在使用过程中可避免发生偏移变形，保证了防尘罩和特气管道3的稳定性。进一步的，在U型槽1底部还可通过固定螺钉6固定有与U型槽1锁紧的特气管道3，在通过两侧外延板2下方特气管道3供气同时，U型槽1底部也具有可供气的特气管路，供气更为充足，便于后续工艺。

在生产中，特气管道3与外延板2或者U型槽1的加工，也不仅仅局限于通过螺钉固定，也可采用焊接方式固定，亦可生产一体结构的特气管道3、外延板2和U型槽1。如此设计的氮化硅腔用一体式特气管路，在MAIA设备的氮化硅腔内，将特气管道3与防尘罩结合为一体，相对于普通分开设置的特气管路，固定更加稳定，不易发生偏移或变形，更可有效延长特气管路的使用寿命，保持镀膜工艺的长期稳定。同时减少了氮化硅腔用特气管路的维护成本，在保证工艺要求的情况下，降低了生产成本。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (4)

1.一种氮化硅腔用一体式特气管路，其特征在于：包括防尘罩，所述防尘罩为U型槽(1)，U型槽(1)端部两侧分别向外延伸具有外延板(2)，所述外延板(2)下表面固定有特气管道(3)，所述特气管道(3)与外部供气管路(4)连通。

2.如权利要求1所述的氮化硅腔用一体式特气管路，其特征在于：所述的U型槽(1)和外延板(2)上均匀间隔开有固定孔(5)，所述U型槽(1)和外延板(2)通过固定孔(5)与氮化硅腔体锁紧。

3.如权利要求2所述的氮化硅腔用一体式特气管路，其特征在于：所述的固定孔(5)内还具有将特气管道(3)与外延板(2)锁紧的固定螺钉(6)。

4.如权利要求3所述的氮化硅腔用一体式特气管路，其特征在于：所述的U型槽(1)底部还具有通过固定螺钉(6)与U型槽(1)锁紧的特气管道(3)。