CN204874828U - 一种石英管双层隔热连接结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英管双层隔热连接结构，包括石英管体和工艺插管，所述石英管体顶端凸出设有用于接入工艺插管的工艺接头，所述工艺插管外管壁上设有对接工艺接头的插管接头，所述工艺接头和插管接头是由间隔开的接头内、外管体所构成，且所述外管体外侧密封套接有耐高温的卡套接头。工艺接头和与其连接的插管接头均设计为双层管体结构，达到隔热耐高温效果，同时卡套接头能够达到良好的密封效果，满足了高温低压扩散炉所要求的底压值与保压值。

Description

一种石英管双层隔热连接结构

技术领域

本实用新型涉及一种晶体硅片生产用扩散炉的石英管双层隔热连接结构。

背景技术

在光伏行业中，高温扩散炉主要用于对单晶硅片和多晶硅片进行表面掺杂处理，形成P-N结。随着扩散工艺的发展，高温低压扩散炉应运而生，其中，石英管是进行扩散工艺反应的腔室，根据工艺需要，石英管上要接入各种工艺插管，例如喷淋进气管、炉内排废管和炉内热偶管等。现有技术中，工艺接头与各种插管接头的连接方式通常采用由球腕和球磨口垫片所构成的连接结构。但是，使用上述连接结构却无法达到理想的密封效果，很容易造成反应气体泄漏，不能满足高温低压扩散炉所要求的底压值与保压值；同时，由于高温低压扩散炉在抽真空时，是从石英管底部进行，这就会使热量集中在石英管底部，而球腕和球磨口垫片是无法承受炉内高温的，容易导致其碎裂，造成反应气体泄漏。而泄漏问题会导致硅片的扩散气体氛围发生改变，将直接影响产品合格率，增加生产成本。

因此，如何设计一种密封效果好且隔热耐高温的石英管双层隔热连接结构，是业界亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的问题，提供一种石英管双层隔热连接结构，即能够达到较好的密封效果，又具有隔热耐高温的优点。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：一种石英管双层隔热连接结构，包括石英管体和工艺插管，所述石英管体顶端凸出设有用于接入工艺插管的工艺接头，所述工艺插管外管壁上设有对接工艺接头的插管接头，所述工艺接头和插管接头是由间隔开的接头内、外管体所构成，且所述外管体外侧密封套接有耐高温的卡套接头。

所述卡套接头包括本体，所述本体两端外圆上设有外螺纹、内圆中设有卡套，使用一压盖螺母压紧卡套并固定于本体两端。

所述石英管体顶端还设有与工艺接头结构相同的预留接头，所述预留接头上通过卡套接头密封插接有石英堵头。

所述卡套接头采用聚四氟乙烯材料。

所述工艺插管为炉内排废管、喷淋进气管或炉内热偶管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：通过预先设定好的标准检验方案对本实用新型进行检测，可得出：

1.采用聚四氟卡套接头，将工艺接头分别与炉内排废管、喷淋进气管、炉内热偶管等工艺插管进行连接，能够达到良好的密封效果，满足了低压扩散炉所要求的底压值与保压值；

2.工艺接头和与其连接的插管接头均设计为双层管体结构，达到耐高温隔热效果，有效降低聚四氟卡套接头的受热温度，能够保证聚四氟卡套接头的使用寿命。

由此可知，石英管双层隔热连接结构使得扩散工艺控制变得稳定、可靠，完全能够满足高温低压扩散炉的要求，保证产品合格率、控制生产成本。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的结构剖视图；

图2为图1中A部分的结构放大示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述。

请参见图1，本实用新型较佳实施例设计的一种石英管双层隔热连接结构，包括石英管体10和工艺插管20，石英管体10的顶端凸出设置有多个石英管接头，石英管接头分为设于中间的预留接头12及位于预留接头12周围用于插接工艺插管20的工艺接头11；工艺插管20从上方凸出伸入到石英管体10的内部，在工艺插管20的外管壁上设置有用于对接工艺接头11的插管接头21。

请参见图2，本实用新型的重点在于：工艺接头11和插管接头21的连接结构。具体地，工艺接头11是由工艺接头内管体111及间隔设于工艺接头内管体111外管壁上端的筒状工艺接头外管体112构成，工艺接头外管体112的底端与工艺接头内管体111一体连接、顶端则不凸出于工艺接头内管体111的顶端。同理，插管接头21包括依次套设在工艺插管20外壁上且间隔开的筒状插管接头内管体211和插管接头外管体212，插管接头内管体211的顶端与工艺插管20一体连接，插管接头外管体212的顶端与插管接头内管体211一体连接、底端则不凸出于插管接头内管体211的底端。工艺插管20从上方插入工艺接头内管体111内，插管接头内管体211的底端与工艺接头内管体111的顶端相抵接，插管接头外管体212与工艺接头外管体112相抵接或者之间留有空隙。在工艺接头11和插管接头21的连接端外侧密封套接有卡套接头30，卡套接头30包括圆筒状的本体31，在本体31的两端外圆上设置有外螺纹、内圆中设置有截面呈楔形的圆环状卡套32，使用压盖螺母33压紧卡套32螺纹固定在本体31的两端。卡套接头30优选采用耐高温的高分子材料制造，包括但不限于聚四氟乙烯材料，聚四氟乙烯材料化学稳定性好，且耐高温耐腐蚀。

在预留接头12上亦采用上述双层隔热连接结构，具体地，预留接头12与工艺接头11的结构相同，在预留接头12上通过卡套接头30密封插接有石英堵头40，预留接头12用于备用安装连接工艺插管20或其他装置等。

在本实施例中，工艺插管20分为炉内排废管201、喷淋进气管202和炉内热偶管（图中未标示），炉内排废管201用于给石英管体10抽真空使用，喷淋进气管202用于提供反应所需要的工艺源材料，炉内热偶管用于给石英管体10内部加热。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种石英管双层隔热连接结构，包括石英管体（10）和工艺插管（20），所述石英管体顶端凸出设有用于接入工艺插管的工艺接头（11），所述工艺插管外管壁上设有对接工艺接头的插管接头（21），其特征在于，所述工艺接头和插管接头是由间隔开的接头内、外管体所构成，且所述外管体外侧密封套接有耐高温的卡套接头（30）。

2.根据权利要求1所述的石英管双层隔热连接结构，其特征在于，所述卡套接头（30）包括本体（31），所述本体两端外圆上设有外螺纹、内圆中设有卡套（32），使用一压盖螺母（33）压紧卡套并固定于本体两端。

3.根据权利要求1所述的石英管双层隔热连接结构，其特征在于，所述石英管体（10）顶端还设有与工艺接头（11）结构相同的预留接头（12），所述预留接头上通过卡套接头（30）密封插接有石英堵头（40）。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的石英管双层隔热连接结构，其特征在于，所述卡套接头（30）采用聚四氟乙烯材料。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的石英管双层隔热连接结构，其特征在于，所述工艺插管（20）为炉内排废管（201）、喷淋进气管（202）或炉内热偶管。