CN207143338U - 靶材废料处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材废料处理装置，包括用于吊装托板的行车，位于行车的下方设置有靶材处理槽，所述靶材处理槽包括放置30％氢氧化钠溶液的化学溶剂槽和清水槽，所述清水槽上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器，所述清水槽的槽口处设置有高压喷气枪。通过化学反应将待处理靶材的逆向膜变成颗粒状，然后通过超声波振荡器将其清除，再通过高压喷气枪去除表面的液体，整个过程操作方便，避免人工刀片刮除和砂轮打磨费时费力，提高了靶材废料的处理效率，且其清除效果好。

Description

靶材废料处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种靶材废料处理装置。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光设备中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的溅射效应。铜制背板和铝制靶材制作而成的靶材组合，其在使用完成后会在其喷砂区域粘有大量逆向膜，造成研磨处理困难。目前在处理逆向膜时采用刀片刮除和砂轮打磨方式，由于刀尖和砂轮均为较窄工具，在来回打磨时易有残留逆向膜，未能全部去除或去除效果不佳。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种靶材废料处理装置，能够有效去除靶材组合上的大量逆向膜。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种靶材废料处理装置，包括用于吊装托板的行车，位于行车的下方设置有靶材处理槽，所述靶材处理槽包括放置30％氢氧化钠溶液的化学溶剂槽和清水槽，所述清水槽上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器，所述清水槽的槽口处设置有高压喷气枪。

本实用新型通过化学反应将待处理靶材的逆向膜变成颗粒状，然后通过超声波振荡器将其清除，再通过高压喷气枪去除表面的液体，整个过程操作方便，避免人工刀片刮除和砂轮打磨费时费力，提高了靶材废料的处理效率，且其清除效果好。

优选地，所述靶材为铝-铜合金靶材。铝-铜合金中的铜不会与30％氢氧化钠溶液反应，从而有效降解靶材外部的逆向膜。

优选地，为了更好的将处理好的靶材表面液体清楚，保持靶材表面的洁净度，所述高压喷气枪交错分布在清水槽的槽口的两侧。

优选地，所述托板包括长方形结构的基板，所述基板的中部设置有放置靶材的放置槽，所述放置槽边缘设置有将靶材固定的夹持部，所述基板的四角处设置有吊环。通过吊环将托板吊起，然后通过行车将其搬运至靶材处理槽内，在这过程中通过夹持部将靶材固定在放置槽内，防止其搬运时脱落。

优选地，所述夹持部由垂直嵌入至基板上的内螺纹套筒和角形的螺杆组成，所述螺杆的一端设置有与内螺纹套筒相适配的外螺纹，所述螺杆的另一端的内侧为水平面。通过螺杆的上下调节能够将靶材接触，其内侧为水平面使得其与靶材表面能够充分接触，增强靶材的牢固性。当然，为了增加螺杆与靶材之间的摩擦力，可以在螺杆另一端的内侧粘附一层耐摩擦层(橡胶材料)或者直接套设在螺杆上的橡胶套，用于增强其与靶材表面的摩擦力，进而增强靶材在托板上的牢固性。

优选地，所述夹持部的数量至少三个，分布在放置槽的两侧。如夹持部的数量为三个，分别为A\B\C，其中A\B位于放置槽一侧的两端，C位于放置槽另一侧的中间位置；如果夹持部的数量为四个，则两两对称分布在放置槽的两侧两端。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的高压喷气枪的位置分布图；

图3为本实用新型的托板的俯视示意图。

图中：

1-靶材处理槽,11-清水槽；12-化学溶剂槽；2-超声波振荡器；3-高压喷气枪；4-行车；41-手持控制器；42-机载控制器；43-绕卷机构；44-钢丝绳；5-托板；51-基板；52-放置槽；53-吊环；54-夹持部。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例

参见附图1、图2和图3所示，本实施例中的一种靶材废料处理装置，包括靶材处理槽1，所述靶材处理槽1内设置有清水槽11和化学溶剂槽12，位于靶材处理槽1上方设置有行车4，所述行车4上设置有绕卷机构43，所述绕卷机构43上设置有钢丝绳44，所述行车上设置有机载控制器42，所述机载控制器42与手持控制器41相连，所述钢丝绳44的末端与放置靶材的托板5相连。具体可参见图3，所述托板5包括长方形结构的基板51，所述基板51的中部设置有放置靶材的放置槽52，位于放置槽52边缘设置有将靶材固定的夹持部54，所述夹持部54的数量为四个，对称分布在放置槽52的两侧，所述夹持部54由垂直嵌入至基板51上的内螺纹套筒和角形的螺杆组成，所述螺杆的一端设置有与内螺纹套筒相适配的外螺纹，所述螺杆的另一端的内侧为水平面，这样螺杆沿着内螺纹套筒旋转后能够将靶材固定住。所述基板51上设置有四个吊环53，并分布在基板51的四角处，钢丝绳44末端的吊钩能够叩入吊环53进而将托板5吊起，并沿着行车4的移动方向将其依次放置在化学溶剂槽12和清水槽11内。

本实施例中，待处理靶材的主体为铝材料、背板为铜材料制成，当期放置在化学溶剂槽12内进行浸泡半小时，其中化学溶剂槽12内的溶剂为浓度为30％的氢氧化钠溶液，当其与待处理靶材接触后会溶解铝表面的氧化铝覆盖层，并生成氢氧化铝，由于氢氧化钠和背板铜在浓度30％的情况下不反应，因此可以控制氢氧化钠溶液的浓度来达到化学除去铜表面的逆向膜的目的。当其浸泡完成后待处理靶材上的逆向膜呈颗粒状，可人工毛刷清除。通过行车4运送至清水槽11内，这时候打开位于清水槽11上的超声波振荡器2，通过超声波将待处理靶材上的颗粒状逆向膜脱离待处理靶材，然后将待处理靶材拉升至清水槽11的槽口处，通过位于清水槽11的槽口处的高压喷气枪3将待处理靶材吹去除液体，从而实现靶材废料处理。

如图2所示，由于待处理靶材的长度较长，所述高压喷气枪3交错分布在清水槽11的槽口的两侧，这样能够更好的吹除待处理靶材表面的液体。

本实施例中，高压喷气枪由外部气源供气，且位于两者相连的管路上设置有气控阀，现场人员可通过调节气控阀来控制高压喷气枪喷气作业。超声波振荡器、行车均与市电相连，使其能够正常运行，现场人员通过操作超声波振荡器上的按键来控制其超声波作业。

本实用新型通过行车将待处理靶材先后运送至化学溶剂槽、清水槽，通过化学反应将待处理靶材的逆向膜变成颗粒状，然后通过超声波振荡器将其清除，再通过高压喷气枪去除表面的液体，整个过程操作方便，避免人工刀片刮除和砂轮打磨费时费力，提高了靶材废料的处理效率，且其清除效果好。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种靶材废料处理装置，其特征在于：包括用于吊装托板(5)的行车(4)，位于行车(4)的下方设置有靶材处理槽(1)，所述靶材处理槽(1)包括放置30％氢氧化钠溶液的化学溶剂槽(12)和清水槽(11)，所述清水槽(11)上设置有能将槽体内液体震荡的超声波振荡器(2)，所述清水槽(11)的槽口处设置有高压喷气枪(3)。

2.根据权利要求1所述的靶材废料处理装置，其特征在于：所述靶材为铝-铜合金靶材。

3.根据权利要求1所述的靶材废料处理装置，其特征在于：所述高压喷气枪(3)交错分布在清水槽(11)的槽口的两侧。

4.根据权利要求1所述的靶材废料处理装置，其特征在于：所述托板(5)包括长方形结构的基板(51)，所述基板(51)的中部设置有放置靶材的放置槽(52)，所述放置槽(52)边缘设置有将靶材固定的夹持部(54)；所述基板(51)的四角处设置有吊环(53)。

5.根据权利要求4所述的靶材废料处理装置，其特征在于：所述夹持部(54)由垂直嵌入至基板(51)上的内螺纹套筒和角形的螺杆组成，所述螺杆的一端设置有与内螺纹套筒相适配的外螺纹，所述螺杆的另一端的内侧为水平面。

6.根据权利要求4所述的靶材废料处理装置，其特征在于：所述夹持部(54)的数量至少三个，分布在放置槽(52)的两侧。