CN207134329U - 一种光伏硅片石英扩散炉系统 - Google Patents
一种光伏硅片石英扩散炉系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207134329U CN207134329U CN201720902882.XU CN201720902882U CN207134329U CN 207134329 U CN207134329 U CN 207134329U CN 201720902882 U CN201720902882 U CN 201720902882U CN 207134329 U CN207134329 U CN 207134329U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- diffusion furnace
- quartz
- quartzy
- furnace
- quartzy diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种光伏硅片石英扩散炉系统，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，排废管连接过渡接液瓶的进口，过渡接液瓶的出口连接接液瓶。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体制造工艺领域，特别涉及一种光伏硅片石英扩散炉系统。
背景技术
申请号为CN201521039652.2的专利文件，提到“在晶体硅太阳能电池制造过程中，硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体，在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说，先将硅片插在石英舟上，然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中，通入含有扩散源的气体，在高温条件下扩散源与硅片发生反应，实现扩散过程从而形成PN结。”
该文件公开了“一种太阳能硅片扩散装置，包括石英舟、设于石英舟与进气口之间的气流汇集装置，石英舟由两个支撑板和设于支撑板之间的多个石英棒构成支撑结构，且石英棒上开有多个用于放置硅片的刻槽，其特征在于：石英棒采用中空式结构，支撑板上开有多个与各个石英棒相通的通孔；石英棒上位于相邻刻槽间还开有散气孔，且散气孔与石英棒贯通；气流汇集装置为一具有汇流孔的挡板式结构，汇流孔出口端朝向石英舟，且支撑板上通孔的投影均位于汇流孔的出口端内”。
上述技术方案的目的是“一是通过带汇流孔的气流汇集装置汇集气流，使气流快速流入石英舟上的石英棒内并从散气孔处吹向硅片，有效提高了扩散源的利用率，也可以进一步增加传输距离，从而提高单炉扩散的产量，降低生产成本；二是通过中空石英棒和开设在石英棒上的散气孔，将扩散源充分且均匀地分布在硅片之间的空间区域，可以显著提高硅片扩散均匀性，从而提高了太阳能电池转换效率，同时也大大提高了扩散源的利用，节约了生产成本；三是可以通过散气孔在石英棒上的开孔位置分布，来控制气流的方向，使扩散源气流更加均匀分布在硅片所在的范围内，根据生产需求灵活设置，实用性强”。然而，实践中，这种石英扩散炉工作时，除了考虑气流的汇流问题，还要考虑其他因素，例如石英扩散炉的后续工艺环节的连接问题。
实用新型内容
本实用新型提供了一种光伏硅片石英扩散炉系统，以解决石英扩散炉的后续工艺环节的连接问题。
一种光伏硅片石英扩散炉系统，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，
石英舟用于承载光伏硅片，
石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，
保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，
喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，
挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，
石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，
排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，
排废管连接过渡接液瓶的进口，过渡接液瓶的出口连接接液瓶。过渡接液瓶的接头是套管结构，过渡接液瓶的截面为圆形。
TC管即测温管，TC是英文thermocouple的缩写。
本实用新型针对现有的光伏硅片石英扩散炉后续工艺环节的连接问题，现有技术无法保证过渡接液瓶的各对球头球碗完全匹配及通配，容错率低且加工成本较高。本实用新型改为套管结构接头，加工难度低且大大降低了加工成本，且能保证密封度的要求。
附图说明
通过参考附图阅读下文的详细描述，本实用新型示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本实用新型的若干实施方式，其中：
图1是本实用新型石英扩散炉结构侧视示意图。
图2是本实用新型中过渡接液瓶的主视图。
图3是本实用新型中过渡接液瓶的侧视图。
1——喷淋管，2——石英舟，3——挡板，4——保温桶，5——石英炉门，6——进气口，7——排废管，8——TC管，9——过渡接液瓶，10——接液瓶。
具体实施方式
如图1所示，一种光伏硅片石英扩散炉系统，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管。
石英舟用于承载光伏硅片。石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用。保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用。喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷。挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流。石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气。排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶。
排废管连接过渡接液瓶的进口，过渡接液瓶的出口连接接液瓶。过渡接液瓶的接头是套管结构，过渡接液瓶的截面为圆形。
值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本实用新型创造的精神和原理，但是应该理解，本实用新型并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本实用新型旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。
Claims (3)
1.一种光伏硅片石英扩散炉系统，其特征在于，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，
石英舟用于承载光伏硅片，
石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，
保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，
喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，
挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，
石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，
排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，
排废管连接过渡接液瓶的进口，过渡接液瓶的出口连接接液瓶。
2.如权利要求1所述光伏硅片石英扩散炉系统，其特征在于，过渡接液瓶的接头是套管结构。
3.如权利要求2所述光伏硅片石英扩散炉系统，其特征在于，过渡接液瓶的截面为圆形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720902882.XU CN207134329U (zh) | 2017-07-24 | 2017-07-24 | 一种光伏硅片石英扩散炉系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720902882.XU CN207134329U (zh) | 2017-07-24 | 2017-07-24 | 一种光伏硅片石英扩散炉系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207134329U true CN207134329U (zh) | 2018-03-23 |
Family
ID=61639454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720902882.XU Active CN207134329U (zh) | 2017-07-24 | 2017-07-24 | 一种光伏硅片石英扩散炉系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207134329U (zh) |
-
2017
- 2017-07-24 CN CN201720902882.XU patent/CN207134329U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207097785U (zh) | 一种密封加强的均匀喷淋光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN205398771U (zh) | 一种太阳能电池用硅片扩散炉 | |
| CN206116442U (zh) | 一种连续通过式太阳能电池片扩散装置 | |
| CN207165529U (zh) | 一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN105543976B (zh) | 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置 | |
| CN207134329U (zh) | 一种光伏硅片石英扩散炉系统 | |
| CN203871351U (zh) | 一种均匀扩散硼扩散炉反应气的结构 | |
| CN203049077U (zh) | 用于多晶硅铸锭炉的圆周径向型热交换台 | |
| CN207091559U (zh) | 一种隔热加强的光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN207091560U (zh) | 一种具有多测温区的光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN207091552U (zh) | 一种多测温区隔热加强光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN103633190B (zh) | 晶体硅太阳能电池的硼扩散装置及方法 | |
| CN207121657U (zh) | 一种用于光伏硅片石英扩散炉的SiC桨 | |
| CN207109152U (zh) | 一种密封加强的光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN207091561U (zh) | 一种均匀喷淋的光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN203866406U (zh) | 一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构 | |
| CN207091558U (zh) | 一种光伏硅片石英扩散炉 | |
| CN204265894U (zh) | 长晶工艺能源回收装置 | |
| CN206783818U (zh) | 一种单晶炉翻板水冷结构 | |
| CN206628499U (zh) | 气体匀流组件及片材表面处理装置 | |
| CN211734532U (zh) | 一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉 | |
| CN209584420U (zh) | 一种多晶炉内载气导流装置 | |
| CN207610519U (zh) | 烘干炉风箱结构 | |
| CN205774928U (zh) | 一种硅片高温扩散设备 | |
| CN205152399U (zh) | 一种扩散炉用石英管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 201507, No. 3312, Ting Wei Road, Cao Jing Town, Shanghai, Jinshan District Patentee after: Shanghai Qiang Hua Industrial Limited by Share Ltd Address before: 201507, No. 3312, Ting Wei Road, Cao Jing Town, Shanghai, Jinshan District Patentee before: Shanghai strong China Industrial Co., Ltd. |