CN211734532U - 一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉 - Google Patents
一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：包括传送浆、硅片承载舟、炉门、炉管、加热器、进气系统和抽气系统，所述炉门设在所述炉管的管口处，所述加热器设在所述炉管外管壁上，所述进气系统与所述炉管连通，所述抽气系统与所述炉管连通，所述传送浆设在所述炉门外侧，所述传送浆一次负载一个所述硅片承载舟传送入所述炉管，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二个以上，所述硅片承载舟内为均匀分布的硅片。采用多个硅片承载舟进炉管同时扩散的方式，大大提高晶硅太阳能电池扩散炉产量的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉。
背景技术
太阳能电池按照基体材料来区分，可分为非硅太阳能电池和硅基太阳能电池，其中硅基太阳能电池为光伏市场主流，以其制造工作简单，成本低，深受各电池制造商的青睐。硅基太阳能电池又分为多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池和硅基薄膜电池；多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池统称为晶体硅太阳能电池，占光伏市场总容量的90%左右。
p-n结是晶体硅太阳能电池的的心脏，因此在制备流程中，扩散工序显得尤为重要。扩散形成p-n结有三种工艺：三氯氧磷（POCl3）液态源扩散；喷涂磷酸水溶液后链式扩散；丝网印刷磷浆料后链式扩散；目前三氯氧磷（POCl3）液态源扩散是最普遍最有效的扩散手段。三氯氧磷（POCl3）液态源扩散需要借助扩散炉来进行，硅片插入石英舟，通过碳化硅浆负载，然后传送至扩散炉腔中；待关闭炉门后，开始进行三氯氧磷的扩散制备p-n结。为了降低制造成本，要求开发产能更高的扩散炉；但是由于碳化硅和石英舟均为脆性材料，负重能力有限，因此制约了高产能扩散炉的开发。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：传统太阳能电池扩散炉产能低的问题。
本实用新型解决该技术问题采用的技术方案是：
一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：包括传送浆、硅片承载舟、炉门、炉管、加热器、进气系统和抽气系统，所述炉门设在所述炉管的管口处，所述加热器设在所述炉管外管壁上，所述进气系统与所述炉管连通，所述抽气系统与所述炉管连通，所述传送浆设在所述炉门外侧，所述传送浆一次负载一个所述硅片承载舟传送入所述炉管，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二个以上，所述硅片承载舟内为均匀分布的硅片。
作为上述方案的改进，所述传送浆的材料为耐高温且超硬材质。
作为上述方案的改进，所述传送浆的材料为碳化硅。
作为上述方案的改进，所述硅片承载舟的材料为耐高温且表面光滑材质。
作为上述方案的改进，所述硅片承载舟的材料为石英。
作为上述方案的改进，所述硅片承载舟承载硅片数量为600-1500片。
作为上述方案的改进，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二至五个。
本实用新型的有益效果是：采用多个硅片承载舟进炉管同时扩散的方式，大大提高晶硅太阳能电池扩散炉产量的目的。
附图说明
图1是本实用新型实施例示意图
图中：1.传送浆，2.硅片承载舟，3. 硅片，4.炉门，5.加热器，6.炉管，7.进气系统，8.抽气系统。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉，包括传送浆1、硅片承载舟2、炉门4、炉管6、加热器5、进气系统7和抽气系统8，传送浆1一次负载一个硅片承载舟2进行传送，炉管6内腔长度为硅片承载舟2的三倍以上，可容纳三个硅片承载舟2同时进行扩散，硅片承载舟2内为均匀分布的硅片3。传送浆1的材料为碳化硅，硅片承载舟2的材料为石英，硅片承载舟2承载600片硅片3。
本实用新型可改变为多种方式对本领域的技术人员是显而易见的，这样的改变不认为脱离本实用新型的范围。所有这样的对所述领域技术人员显而易见的修改将包括在本权利要求的范围之内。
Claims (7)
1.一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：包括传送浆、硅片承载舟、炉门、炉管、加热器、进气系统和抽气系统，所述炉门设在所述炉管的管口处，所述加热器设在所述炉管外管壁上，所述进气系统与所述炉管连通，所述抽气系统与所述炉管连通，所述传送浆设在所述炉门外侧，所述传送浆一次负载一个所述硅片承载舟传送入所述炉管，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二个以上，所述硅片承载舟内为均匀分布的硅片。
2.如权利要求1所述的高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：所述传送浆的材料为耐高温且超硬材质。
3.如权利要求1所述的高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：所述传送浆的材料为碳化硅。
4.如权利要求1所述的高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：所述硅片承载舟的材料为耐高温且表面光滑材质。
5.如权利要求1所述的高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：所述硅片承载舟的材料为石英。
6.如权利要求1所述的高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：所述硅片承载舟承载硅片数量为600-1500片。
7.如权利要求1所述的高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：所述炉管容纳硅片承载舟数量为二至五个。
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| CN201922212805.3U CN211734532U (zh) | 2019-12-11 | 2019-12-11 | 一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉 |
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Publications (1)
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| CN211734532U true CN211734532U (zh) | 2020-10-23 |
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Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117038800A (zh) * | 2023-10-08 | 2023-11-10 | 南通大鹏光电有限公司 | 一种太阳能光伏电池制造用扩散炉 |
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2019
- 2019-12-11 CN CN201922212805.3U patent/CN211734532U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN117038800A (zh) * | 2023-10-08 | 2023-11-10 | 南通大鹏光电有限公司 | 一种太阳能光伏电池制造用扩散炉 |
| CN117038800B (zh) * | 2023-10-08 | 2023-12-15 | 南通大鹏光电有限公司 | 一种太阳能光伏电池制造用扩散炉 |
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