CN207109139U - 一种分体式坩埚护板 - Google Patents
一种分体式坩埚护板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207109139U CN207109139U CN201720747176.2U CN201720747176U CN207109139U CN 207109139 U CN207109139 U CN 207109139U CN 201720747176 U CN201720747176 U CN 201720747176U CN 207109139 U CN207109139 U CN 207109139U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- backplate
- upper strata
- lower floor
- split
- gas outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种分体式坩埚护板，包括下层护板，所述下层护板上部设有出气口，分体式坩埚护板还包括上层护板，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。本实用新型具有结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体、光伏器件的制造设备领域，尤其涉及一种分体式坩埚护板。
背景技术
在多晶硅铸锭过程中，需要使用坩埚护板对石英坩埚进行保护，起到隔离污染作用。在实际使用过程中，需要将四块坩埚护板拼接固定在装有硅料的石英坩埚外侧，配合碳-碳盖板和碳-碳底板形成封闭的空间。
随着多晶铸锭技术的发展，铸锭的种类越来越多，主要包括：提纯锭、半熔高效多晶硅锭、全熔高效多晶铸锭和铸造单晶硅锭等。不同类型铸锭对坩埚高度要求也不一致，从而坩埚护板高度也要随之调整，导致现有的坩埚护板需要重新设计和购买，造成资源浪费。另一方面，在多晶铸锭过程中，由于坩埚质量或者装料细节等影响，在铸锭过程中会出现硅液溢流现象，容易导致坩埚护板全部损坏，造成铸锭成本大幅度增加。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本的分体式坩埚护板。
为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
一种分体式坩埚护板，包括下层护板，所述下层护板上部设有出气口，分体式坩埚护板还包括上层护板，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述下层护板下部设有溢流口。
所述下层护板左右两侧均设有螺栓孔，所述上层护板左右两侧及上部均设有螺栓孔。
所述下层护板的高度为60mm-600mm，所述上层护板的高度为60mm-600mm。
所述下层护板和上层护板的宽度为156 mm -1560mm。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型公开的分体式坩埚护板，在下层护板上卡接上层护板，从而可根据坩埚高度灵活调节护板的高度，同时下层护板的高度可灵活设置，在溢流时可避免造成大面积护板损坏；下层护板可采用现有的护板结构，上层护板可由现有的护板增设下凸部制成，无需做过多的结构改动，有利于节省原材料，降低生产成本；上层护板利用下凸部卡设于下层护板的出气口内，结构可靠、契合牢固，不易产生横向移动，且拆装方便快速。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型中的下层护板的结构示意图。
图3是本实用新型中的上层护板的结构示意图。
图中各标号表示：1、下层护板；2、出气口；3、上层护板；31、下凸部；4、溢流口；5、螺栓孔。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图1至图3所示，本实施例的分体式坩埚护板，包括下层护板1，下层护板1上部设有出气口2，分体式坩埚护板还包括上层护板3，上层护板3上部设有出气口2，上层护板3下部设有下凸部31，上层护板3的下凸部31卡设于下层护板1的出气口2内。由于在多晶铸锭过程中需要使用保护气体（如氩气）保护，所以必须在坩埚护板上开出气口2，使保护气体能够顺畅流通。其中，下层护板1上的出气口2可以为1个、2个或多个，上层护板3上的下凸部31对应设置即可；上层护板3上的出气口2也可以为1个、2个或多个。
本实用新型的分体式坩埚护板，在下层护板1上卡接上层护板3，从而可根据坩埚高度灵活调节护板的高度，同时下层护板1的高度可灵活设置，在溢流时可避免造成大面积护板损坏；下层护板3可采用现有的护板结构，上层护板可由现有的护板增设下凸部31制成，无需做过多的结构改动，有利于节省原材料，降低生产成本；上层护板3利用下凸部31卡设于下层护板4的出气口2内，结构可靠、契合牢固，不易产生横向移动，且拆装方便快速。
下层护板1下部设有溢流口4。在铸锭过程中常常会发生硅液溢流现象，溢流出的硅液可从溢流口4排出。本实施例中，溢流口4的数量为1个，在其他实施例中，也可为2个或多个。
本实施例中，下层护板1左右两侧均设有螺栓孔5，上层护板3左右两侧及上部均设有螺栓孔5。其中，下层护板1左右两侧的螺栓孔5、上层护板3左右两侧螺栓孔5便于使用时与相邻护板连接、固定，上层护板3上部的螺栓孔5便于与盖板连接、固定。
下层护板1的高度（图中上下方向的尺寸）为60mm-600mm，上层护板3的高度为60mm-600mm，两者的宽度（图中左右方向的尺寸）为156 mm -1560mm，便于与不同规格的坩埚匹配；护板的材料可采用碳碳石墨复合材料。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。
Claims (5)
1.一种分体式坩埚护板，包括下层护板（1），所述下层护板（1）上部设有出气口（2），其特征在于：分体式坩埚护板还包括上层护板（3），所述上层护板（3）上部设有所述出气口（2），所述上层护板（3）下部设有下凸部（31），所述上层护板（3）的下凸部（31）卡设于所述下层护板（1）的出气口（2）内。
2.根据权利要求1所述的分体式坩埚护板，其特征在于：所述下层护板（1）下部设有溢流口（4）。
3.根据权利要求1或2所述的分体式坩埚护板，其特征在于：所述下层护板（1）左右两侧均设有螺栓孔（5），所述上层护板（3）左右两侧及上部均设有螺栓孔（5）。
4.根据权利要求1或2所述的分体式坩埚护板，其特征在于：所述下层护板（1）的高度为60mm-600mm，所述上层护板（3）的高度为60mm-600mm。
5.根据权利要求4所述的分体式坩埚护板，其特征在于：所述下层护板（1）和上层护板（3）的宽度为156 mm -1560mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720747176.2U CN207109139U (zh) | 2017-06-26 | 2017-06-26 | 一种分体式坩埚护板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720747176.2U CN207109139U (zh) | 2017-06-26 | 2017-06-26 | 一种分体式坩埚护板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207109139U true CN207109139U (zh) | 2018-03-16 |
Family
ID=61579078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720747176.2U Active CN207109139U (zh) | 2017-06-26 | 2017-06-26 | 一种分体式坩埚护板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207109139U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113699581A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-11-26 | 赛维Ldk太阳能高科技(新余)有限公司 | 铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法 |
-
2017
- 2017-06-26 CN CN201720747176.2U patent/CN207109139U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113699581A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-11-26 | 赛维Ldk太阳能高科技(新余)有限公司 | 铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101781712B (zh) | 流槽式在线除气装置 | |
| CN207109139U (zh) | 一种分体式坩埚护板 | |
| WO2012040987A1 (zh) | 非电渣重熔式洁净金属锭模 | |
| CN206425544U (zh) | 一种用于浇钢用的中间包 | |
| CN203437595U (zh) | 一种浇注系统 | |
| CN103464687A (zh) | 一种浇注系统及玻璃模具的新型铸造方法 | |
| CN109112619A (zh) | 一种坩埚保护装置 | |
| CN202181217U (zh) | 坩埚护板改良装置 | |
| CN209923410U (zh) | 一种高镍锍缓冷模具 | |
| CN209276674U (zh) | 一种异型多晶炉坩埚护板 | |
| CN202755004U (zh) | 一种水平渣罐隔离板 | |
| CN105328172A (zh) | 一种铝合金圆铸锭铸造分流盘 | |
| CN101845665A (zh) | 初凝多晶硅定向生长铸锭的铸造装置及其制作方法和应用 | |
| CN111136252A (zh) | 一种连铸中间包挡渣坝 | |
| CN202786502U (zh) | 一种多晶铸锭炉用组合盖板 | |
| CN108286070A (zh) | 一种铸锭用坩埚石墨护板 | |
| CN203663479U (zh) | 一种生产苯酚用分馏器 | |
| CN210966934U (zh) | 一种浇口新排布的管式板栅模具 | |
| CN214553266U (zh) | 一种用于耐火纤维材料生产线上的匀料出料槽 | |
| CN202072800U (zh) | 多晶硅铸锭炉坩埚侧板溢流结构 | |
| CN207806551U (zh) | 一种组合式钢锭模 | |
| CN102430728B (zh) | 一种多结晶器水平连铸中间包及利用其实施的连铸工艺 | |
| CN211339740U (zh) | 坩埚盖板与晶体硅铸锭设备 | |
| CN106825500A (zh) | 一种模具过滤装置及带该过滤装置的低压铸造模具 | |
| CN205152396U (zh) | 一种多晶铸造用底部籽晶保护装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |