CN207067168U - 一种自由位置风速计 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种自由位置风速计，属于半导体制造技术领域，适用于检测涂胶机台的涂胶腔室腔里的气流状态，自由位置风速计包括：第一导轨，所述第一导轨的两端分别设置有第一固定装置和第二固定装置，所述第一固定装置和所述第二固定装置用以可拆卸地将所述第一导轨固定在所述涂胶腔室的内壁上；第二导轨，垂直且可滑动地设置于所述第一导轨上；固定支架，可滑动地设置于所述第二导轨上；风速传感器，水平设置于所述固定支架上。上述技术方案的有益效果是：能够快速准确的测量涂胶腔室内每一点的风速，方便工作人员及时调整涂胶腔室内气流状态，以保证涂胶机对晶圆进行涂胶时，晶圆表面具有均匀且厚度适宜的光刻胶涂层。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种适用于检测涂胶机台的涂胶腔室腔里的气流状态的自由位置风速计。
背景技术
在半导体器件制造过程中，光刻工艺是将掩膜版上的图案转移至晶圆表面的过程。光刻工艺包括的步骤有涂敷光刻胶、曝光以及显影。为了将光刻胶涂敷至晶圆的表面，需要使用涂胶机。传统的涂胶机具有一个涂胶腔室。一个晶圆卡盘设置在涂胶腔室内以固持晶圆。晶圆卡盘与一驱动装置相连，该驱动装置带动晶圆卡盘旋转。为了在晶圆的表面形成一层光刻胶涂层，驱动装置带动晶圆卡盘旋转。一个喷头移动到晶圆的上方并对准晶圆的中心，该喷头朝着晶圆的中心喷射光刻胶，光刻胶由晶圆的中心向外扩散至晶圆的边缘直到晶圆的整个表面被光刻胶涂层所覆盖。晶圆涂胶后旋转时甩出的光刻胶等杂质，掉落到晶圆上表面会造成晶圆质量问题，所以需要抽排气形成从上而下的气体流动，并保证涂胶腔室的微正压，防止外部颗粒进入腔体造成晶圆质量问题，因此要在涂胶腔室内设置有排气孔，实现涂胶腔室内的气体流动。为保证涂胶腔室内的气压稳定，涂胶腔室上还设置有供气装置。而在涂胶机在工作一段时间后，排气管道的管径会因光刻胶的阻塞而变小，影响涂胶腔室内的气流。
晶圆表面各处的气流的变化对最后形成光刻胶涂层的厚度影响很大，而且风速变化也会造成很多产品上的质量问题，因此需要定期对涂胶腔室内气流状态进行检测。现有的，涂胶腔室内向下进气风速的测量一般采用手持式匀速移动传感器读取数值，工作人员在测量时手产生的抖动和移动速度变化都会影响结果和判断；排气风速测量一般使用单一固定的风速传感，只能测量中心固定点风速，无法精确到每个点，尤其当三个排气管路的平衡被破坏时，没办法及时体现出来，以便工作人员分析处理。
发明内容
根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种能够快速准确的测量涂胶机的涂胶腔室内每一点的风速的自由位置风速计。本实用新型采用如下技术方案：
一种自由位置风速计，适用于检测涂胶机台的涂胶腔室里的气流状态，所述自由位置风速计包括：
第一导轨，所述第一导轨的两端分别设置有第一固定装置和第二固定装置，所述第一固定装置和所述第二固定装置用以可拆卸地将所述第一导轨固定在所述涂胶腔室的内壁上；
第二导轨，垂直且可滑动地设置于所述第一导轨上；
固定支架，可滑动地设置于所述第二导轨上；
风速传感器，水平设置于所述固定支架上。
较佳的，上述自由位置风速计中，所述第二固定装置通过一伸缩结构设置于所述第一导轨上。
较佳的，上述自由位置风速计中，所述伸缩结构包括：
设置于所述第一导轨内的第一滑槽；
连接所述第二固定装置并与所述第一滑槽适配的连接杆；
所述连接杆可滑动的连接于所述第一滑槽内。
较佳的，上述自由位置风速计中，所述第一固定装置和所述第二固定装置为磁铁吸盘。
较佳的，上述自由位置风速计中，还包括一第一刻度尺，所述第一刻度尺设置于所述第一导轨上。
较佳的，上述自由位置风速计中，还包括一第二刻度尺，所述第二刻度尺设置于所述第二导轨上。
较佳的，上述自由位置风速计中，还包括一第一水平仪，设置于所述第一导轨上；
所述第一水平仪设置于所述第一导轨未连接所述第二导轨的一个侧面上。
较佳的，上述自由位置风速计中，还包括一第二水平仪，设置于所述第二导轨上；
所述第二水平仪设置于所述第二导轨未连接所述固定支架的一个侧面上。
较佳的，上述自由位置风速计中，所述第二导轨通过一连接件设置于所述第一导轨上；
于所述第一导轨连接所述第二导轨的侧面上设置一第二滑槽；
所述连接件垂直设置于所述第二导轨的中部；
所述连接件未连接所述第二导轨的一端垂直于所述第一导轨滑动地设置于所述第二滑槽内。
较佳的，上述自由位置风速计中，于所述第二导轨背向所述第一导轨的侧面上设置一第三滑槽；
所述固定支架可滑动地设置于所述第三滑槽内。
上述技术方案的有益效果是：能够快速准确的测量涂胶腔室内每一点的风速，方便工作人员及时调整涂胶腔室内气流状态，以保证涂胶机对晶圆进行涂胶时，晶圆表面具有均匀且厚度适宜的光刻胶涂层。
附图说明
图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种自由位置风速计的主视图；
图2是本实用新型的较佳的实施例中，一种自由位置风速计的左视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
本实用新型的较佳的实施例中，如图1和图2所示，一种自由位置风速计，适用于检测涂胶机台的涂胶腔室里的气流状态，自由位置风速计包括：
第一导轨1，第一导轨上设置有第二滑槽11，第一导轨1的两端分别设置有第一固定装置12和第二固定装置13，第一固定装置12和第二固定装置用以可拆卸地将第一导轨1固定在涂胶腔室的内壁上；
第二导轨2，垂直地设置于第一导轨1上并可沿第二滑槽滑动11，第二导轨2与第一导轨1的连接处位于第二导轨2的中部，于第二导轨2背向第一导轨1的一面上设置有第三滑槽21；
固定支架3，垂直地设置于第二导轨2上并可沿第三滑槽21滑动；
风速传感器，设置于固定支架3上，进一步地，为避免风速传感器的检测点被第二导轨2或者固定支架3阻挡，风速传感器水平放置于固定支架3上。
本实施例中，如图1所示，第一导轨1为杆状，在第一导轨1的一个面的中部设置一个长条状的第二滑槽11，在使用自由位置风速计时，位于第一导轨1两端的第一固定装置12和第二固定装置13可拆卸地固定在涂胶腔室的内壁上，并且第一导轨1水平设置。第二导轨2为杆状，第二导轨2与第一导轨1垂直，第二导轨2设置于第一导轨1上并可沿第二滑槽11水平滑动，当第一导轨1水平设置时，第二导轨2竖直设置，第二导轨2背向第一导轨1的一面上设置有第三滑槽21，风速传感器固定在一个可沿第三滑槽21上下滑动的的固定支架3上。
上述技术方案中，风速传感器设置在可沿第二导轨2上下滑动的固定支架3上，第二导轨2可沿第一导轨1水平滑动，再通过调整第一导轨1在涂胶腔室内位置，使得风速传感器可活到涂胶腔室的任意位置，能够快速准确的测量涂胶腔室内每一点的风速。
本实用新型的较佳的实施例中，第二固定装置13通过一伸缩结构设置于第一导轨1上。
本实用新型的较佳的实施例中，上述伸缩结构包括：
设置于第一导轨1内的第一滑槽(未在图中标示)；
连接第二固定装置13并与第一滑槽适配的连接杆14；
连接杆14可滑动的连接于第一滑槽内。
上述技术方案中，为了方便安装，第一导轨1的长度要小于涂胶腔室的内径，因此在第一导轨1上设置上述伸缩结构，当连接杆14完全伸入到第一滑槽内时，方便将自由位置风速计移动到涂胶腔室内，在固定自由位置风速计时，先将第一固定装置12固定在涂胶腔室的内壁上，再调节连接杆14伸出第一滑槽的长度，使第二固定装置13能够固定在涂胶腔室的内壁上。
本实用新型的较佳的实施例中，第一固定装置12和第二固定装置13为磁铁吸盘。涂胶机的涂胶腔室的由金属制成，通过使用磁铁吸盘作为自由位置风速计的固定装置，方便安装和拆卸。
本实用新型的较佳的实施例中，还包括一第一刻度尺15，第一刻度尺15设置于第一导轨1上。
本实用新型的较佳的实施例中，还包括一第二刻度尺22，第一刻度尺22设置于第二导轨2上。
上述技术方案中，通过在第一导轨1上设置第一刻度尺15，在第二导轨2上设置第二刻度尺22，方便工作人员记录各测量位置坐标，结合在各测量位置检测到的风速建立数据库，提供给工作人员系统分析晶圆表面光刻胶涂层厚度与风速的关系，以便对涂胶腔室内的气流作出合适的调整。
本实用新型的较佳的实施例中，还包括一第一水平仪(未在图中标示)，设置于第一导轨1上；
第一水平仪设置于第一导轨1未连接第二导轨2的一个侧面上，避免影响第二导轨2在第一导轨1上滑动。
上述技术方案中，通过在第一导轨1上设置第一水平仪，可帮助工作人员快速的将第一导轨1水平的固定在涂胶腔室内。
本实用新型的较佳的实施例中，还包括一第二水平仪(未在图中标示)，设置于第一导轨2上；
第二水平仪设置于第二导轨2未连接固定支架3的一个侧面上，避免影响固定支架3在第二导轨2上滑动。
上述技术方案中，由于自由位置风速计在使用一段时间后第二导轨2与第一导轨1的连接部可能会出现磨损，导致第二导轨2与第一导轨1不垂直，影响自由位置风速计的使用；当第二导轨2与第一导轨1不垂直时，可通过第二水平仪和第一水平仪直观的显示，方便工作人员及时维护自由位置风速计。
本实用新型的较佳的实施例中，如图2所示，第二导轨2通过一连接件23设置于第一导轨1上；
连接件23垂直设置于第二导轨2的中部；
连接件23未连接第二导轨2的一端垂直于第一导轨1可滑动地设置于第二滑槽12内。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种自由位置风速计，适用于检测涂胶机台的涂胶腔室里的气流状态，其特征在于，所述自由位置风速计包括：
第一导轨，所述第一导轨的两端分别设置有第一固定装置和第二固定装置，所述第一固定装置和所述第二固定装置用以可拆卸地将所述第一导轨固定在所述涂胶腔室的内壁上；
第二导轨，垂直且可滑动地设置于所述第一导轨上；
固定支架，可滑动地设置于所述第二导轨上；
风速传感器，水平设置于所述固定支架上。
2.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，所述第二固定装置通过一伸缩结构设置于所述第一导轨上。
3.如权利要求2所述的自由位置风速计，其特征在于，所述伸缩结构包括：
设置于所述第一导轨内的第一滑槽；
连接所述第二固定装置并与所述第一滑槽适配的连接杆；
所述连接杆可滑动的连接于所述第一滑槽内。
4.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，所述第一固定装置和所述第二固定装置为磁铁吸盘。
5.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，还包括一第一刻度尺，所述第一刻度尺设置于所述第一导轨上。
6.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，还包括一第二刻度尺，所述第二刻度尺设置于所述第二导轨上。
7.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，还包括一第一水平仪，设置于所述第一导轨上；
所述第一水平仪设置于所述第一导轨未连接所述第二导轨的一个侧面上。
8.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，还包括一第二水平仪，设置于所述第二导轨上；
所述第二水平仪设置于所述第二导轨未连接所述固定支架的一个侧面上。
9.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，所述第二导轨通过一连接件设置于所述第一导轨上；
于所述第一导轨连接所述第二导轨的侧面上设置一第二滑槽；
所述连接件垂直设置于所述第二导轨的中部；
所述连接件未连接所述第二导轨的一端垂直于所述第一导轨滑动地设置于所述第二滑槽内。
10.如权利要求1所述的自由位置风速计，其特征在于，于所述第二导轨背向所述第一导轨的侧面上设置一第三滑槽；
所述固定支架可滑动地设置于所述第三滑槽内。
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| CN201720900808.4U CN207067168U (zh) | 2017-07-24 | 2017-07-24 | 一种自由位置风速计 |
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|---|---|---|---|---|
| CN108453698A (zh) * | 2018-05-16 | 2018-08-28 | 浙江大学 | 用于检测scr反应器内部情况的智能检测机器人 |
| CN108680763A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-10-19 | 安徽宸瑞节能环保科技工程有限公司 | 一种除尘器的气流分布测试装置及方法 |
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