CN206975397U - 激光除胶设备 - Google Patents

Abstract

一种激光除胶设备，包括除胶装置和与该除胶装置协同工作的自动光学检测装置，除胶装置包括激光器和吸附管，激光器的镜头和吸附管的吸附口聚拢到一起，自动光学检测装置包括探测镜头。本实用新型提供的激光除胶设备，通过在激光器周围环绕设置多个吸附管，在激光器发出激光对掩膜版上的胶体进行软化的同时，该多个吸附管同步吸附被软化的胶体，使得软化后的胶体迅速脱离掩膜版。这样，胶体在激光照射和吸附管的抽力吸附的共同作用下，可被容易地去除，进而减小了修复掩膜版的工作量。此外，吸附管的抽力吸附还可以避免被激光软化后的胶体在掩膜版上发生位置转移而需要激光器多次照射的情况，从而提高了生产效率。

Description

激光除胶设备

技术领域

本实用新型涉及面板制造技术领域，特别涉及一种激光除胶设备。

背景技术

在显示面板的制造过程中，制作IC芯片(Integrated Circuit，集成电路)是不可缺少的步骤。在制作IC芯片期间，掩膜版(Photo Mask)包含了整个硅片的芯片图形特征，是光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版上的任何缺陷都会对最终图形精度产生严重的影响，掩膜版质量的优劣直接影响光刻图形的质量。由此，在掩膜版被损坏后，需要进行修复。

在现有技术中，在修复掩膜版时，难以将掩膜版上的膜连同胶一起从掩膜版本体上一起剥离下来，甚至会造成有较多的胶体残留。这些残留的胶体难以被去除，造成修复掩膜版的工作量较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光除胶设备，以实现快速除去残留的胶体，进而减小修复掩膜版的工作量。

本实用新型解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。

本实用新型提供一种激光除胶设备，包括除胶装置，除胶装置包括激光器和吸附管，激光器的镜头和吸附管的吸附口聚拢到一起。

进一步地，还包括承载台，激光器的镜头和吸附管的吸附口处于承载台的同侧。

进一步地，设置有多个吸附管，多个吸附管环绕设置在激光器的周围。

进一步地，除胶装置还包括吸附泵，吸附泵通过连接管连接至吸附管。

进一步地，连接管为多个，每个吸附管通过一个连接管连接至吸附泵。

进一步地，连接管及吸附泵均为多个，每个吸附管通过一个连接管连接至一个吸附泵。

进一步地，激光除胶设备还包括支撑架，支撑架用于固定激光器及吸附管。

进一步地，激光除胶设备还包括与除胶装置协同工作的自动光学检测装置，自动光学检测装置包括探测镜头。

进一步地，自动光学检测装置还包括拍摄镜头。

本实用新型提供的激光除胶设备，通过在激光器周围环绕设置多个吸附管，在激光器发出激光对掩膜版上的胶体进行软化的同时，该多个吸附管同步吸附被软化的胶体，使得软化后的胶体迅速脱离掩膜版。这样，胶体在激光照射和吸附管的抽力吸附的共同作用下，可被容易地去除，进而减小了修复掩膜版的工作量。此外，吸附管的抽力吸附还可以避免被激光软化后的胶体在掩膜版上发生位置转移而需要激光器多次照射的情况，从而提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例中激光除胶设备的局部结构框图。

图2为本实用新型第一施例中激光除胶设备的局部结构示意图。

图3为本实用新型第二施例中激光除胶设备的局部结构框图。

图4为本实用新型第二施例中激光除胶设备的局部结构示意图。

具体实施方式

更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1为本实用新型第一实施例中激光除胶设备的局部结构框图，图2为本实用新型第一实施例中激光除胶设备的局部结构示意图。请参考图1和图2，本实施例提供一种激光除胶设备，包括除胶装置10和承载台11，该除胶装置10包括激光器12和吸附管13，激光器12和吸附管13均位于承载台11的同侧。本实施例中，该除胶装置10特别适用于去除掩膜版30上的胶体20。

请结合图2，吸附管13的吸附口靠近激光器12的镜头并朝向掩膜版30上的胶体20，激光器12用于软化掩膜版30上的胶体20，吸附管13用于吸附掩膜版30上软化后的胶体20。

本实施例中，激光除胶设备还包括吸附泵14，吸附泵14通过连接管15连接至吸附管13。吸附管13及连接管15均为多个，每个吸附管13通过一个连接管15连接至吸附泵14。在其他实施例中，吸附管13、连接管15及吸附泵14均为多个，每个吸附管13通过一个连接管15连接至一个吸附泵14。

如图1所示，除胶装置10还包括第一控制器11，第一控制器11与激光器12及吸附泵14电性连接，该第一控制器11用于控制激光器12的激光强度及吸附泵14的吸附力。

请结合图1，激光除胶设备还包括用于确定掩膜版30上胶体20的位置及图像信息的自动光学检测装置40。该自动光学检测装置40与除胶装置10协同工作，该自动光学检测装置40包括探测镜头41、拍摄镜头42和第二控制器43。该第二控制器43分别与探测镜头41和拍摄镜头42电性连接，以接收并分析探测镜头41和拍摄镜头42采集的数据信息，并且基于这些信息来控制探测镜头41和拍摄镜头42的动作。本实施例中，第二控制器43还与第一控制器11电性连接。

请结合图1和图2，本实施例中，吸附管13为两个，两个吸附管13连接至一个吸附泵14，并且通过支撑架50固定连接至激光器12的两侧。在其他实施例中，吸附管13可以为一个或者两个以上，每个吸附管13可以连接至一个吸附泵14。

当需要清除掩膜版30上的胶体20时，将掩膜版30放置在承载台11上，自动光学检测装置40的第二控制器43控制探测镜头41在掩膜版30上移动，获取胶体20的位置信息后，第二控制器43根据该位置信息控制拍摄镜头42移动至胶体20的上方并获取该胶体20的图像信息。第二控制器43将获取到的掩膜版30上胶体20的位置及图像信息传送至第一控制器11，该第一控制器11依据接收到的上述信息控制激光器12移动至胶体20上方。在第一控制器11控制激光器12移动至胶体20上方并开始发射激光时，第一控制器11同步控制吸附泵14开始工作，吸附管13开始吸附。当掩膜版30上的胶体20被激光软化后，吸附管13立即将软化后的胶体20吸附，避免软化后的胶体20在掩膜版30上发生位置转移。

图3为本实用新型第二施例中激光除胶设备的局部结构框图，图4为本实用新型第二施例中激光除胶设备的局部结构示意图。请结合图3和图4，本实施例中，吸附管13为四个，四个吸附管13分布在激光器12的周围，本实施例还包括的其他部件及其连接和控制关系请参第一实施例。

当激光器12对掩膜版30上的胶体20发射出激光时，四个吸附管13开始吸附被激光器12软化的胶体20。因为吸附管13分布在激光器12的四周，可以避免距离吸附管13较远的胶体20无法被吸附管13及时吸附，具有更高的效率和可靠性。另外，每个吸附管13分别连接至一个吸附泵14，每个吸附泵14的压力可以被第一控制器11单独控制，第一控制器11可以根据胶体20的位置信息控制每个吸附泵14的压力，即控制离胶体20较近的吸附泵14有较大的吸附力，控制离胶体20较远的吸附泵14有较小的吸附力，不仅可以全方位避免掩膜版30上的胶体20在被激光照射后发生位置转移，而且可以充分利用电能，避免做无用功。

本实用新型提供的激光除胶设备，通过在激光器12周围环绕设置多个吸附管14，在激光器12发出激光对掩膜版30上的胶体20进行软化的同时，该多个吸附管14同步吸附被软化的胶体20，使得软化后的胶体20迅速脱离掩膜版30。这样，胶体20在激光照射和吸附管14的抽力吸附的共同作用下，可被容易地去除，进而减小了修复掩膜版的工作量。此外，吸附管14的抽力吸附还可以避免被激光软化后的胶体20在掩膜版30上发生位置转移而需要激光器多12次照射的情况，从而提高了生产效率。

在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。

在不冲突的情况下，本文中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种激光除胶设备，其特征在于，包括除胶装置(10)，所述除胶装置(10)包括激光器(12)和吸附管(13)，所述激光器(12)的镜头和所述吸附管(13)的吸附口聚拢到一起。

2.如权利要求1所述的激光除胶设备，还包括承载台(11)，所述激光器(12)的镜头和所述吸附管(13)的吸附口处于所述承载台(11)的同侧。

3.如权利要求1所述的激光除胶设备，其特征在于，设置有多个吸附管(13)，所述多个吸附管(13)环绕设置在所述激光器(12)的周围。

4.如权利要求1所述的激光除胶设备，其特征在于，所述除胶装置(10)还包括吸附泵(14)，所述吸附泵(14)通过连接管(15)连接至所述吸附管(13)。

5.如权利要求4所述的激光除胶设备，其特征在于，所述连接管(15)为多个，每个吸附管(13)通过一个所述连接管(15)连接至所述吸附泵(14)。

6.如权利要求4所述的激光除胶设备，其特征在于，所述连接管(15)及所述吸附泵(14)均为多个，每个吸附管(13)通过一个所述连接管(15)连接至一个所述吸附泵(14)。

7.如权利要求1所述的激光除胶设备，其特征在于，所述激光除胶设备还包括支撑架(50)，所述支撑架(50)用于固定所述激光器(12)及所述吸附管(13)。

8.如权利要求1所述的激光除胶设备，其特征在于，所述激光除胶设备还包括与所述除胶装置(10)协同工作的自动光学检测装置(40)，所述自动光学检测装置(40)包括探测镜头(41)。

9.如权利要求8所述的激光除胶设备，其特征在于，所述自动光学检测装置(40)还包括拍摄镜头(42)。