CN206973584U - 工艺尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

一种工艺尾气处理装置，包括壳体和设置在所述壳体内的燃烧室，在所述壳体和燃烧室之间形成了内部空腔，所述工艺尾气处理装置还包括第一进气通道和排气通道，所述第一进气通道与所述内部空腔连通以向其内部导入冷却空气，所述排气通道与所述内部空腔连通以排出所述内部空腔的气体。工艺尾气处理装置通过调节流量调节阀按需通入冷却空气，有效地对装置内部进行降温。

Description

工艺尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及显示器制作领域，特别是涉及一种工艺尾气处理装置。

背景技术

半导体、显示行业等中，在面板制作期间会生成对人体具有毒性的气体，将此类有毒性的气体排出前，需要将毒性物质去除以保证工业生产安全。在现有技术中，通常将气体燃烧的方法来去气体内的毒性物质。然而，燃烧产生的高温气体、以及高温气体在排出的过程中会使整个装置内部的温度变高，加速了装置内部元器件的老化，甚至会导致安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种工艺尾气处理装置，其能按需通入冷却空气，有效地对装置内部进行降温。

本实用新型实施例提供一种工艺尾气处理装置，包括壳体和设置在所述壳体内的燃烧室，在所述壳体和燃烧室之间形成了内部空腔，所述工艺尾气处理装置还包括第一进气通道和排气通道，所述第一进气通道与所述内部空腔连通以向其内部导入冷却空气，所述排气通道与所述内部空腔连通以排出所述内部空腔的气体。本实用新型能在工艺尾气处理装置通入冷却空气，有效地对装置内部进行降温。

进一步地，所述第一进气通道内设有流量调节阀，所述流量调节阀用于调节进入所述内部空腔的冷却空气的量。

进一步地，所述燃烧室与所述排气通道连通。

进一步地，所述排气通道包括第一端部、第二端部和中间部，所述中间部连接在所述第一端部和所述第二端部之间，所述第一端部与所述内部空腔连通，所述第二端部是所述排气通道的出口端；所述燃烧室的出口与所述中间部连通。工艺尾气进入燃烧室燃烧后从排气通道排出；冷却空气经第一进通道进入壳体的内部空腔进行降温后再经排气通道排出，两股气流在排气通道混合进一步对燃烧后的气体进行降温，有效地降了整个工艺尾气处理装置内部的温度以及从工艺尾气处理装置排出的气体的温度。

进一步地，所述工艺尾气处理装置还包括温度检测装置，所述温度检测装置包括第一温度传感器，所述第一温度传感器设置在所述排气通道内并位于所述燃烧室的出口与所述第二端部之间。

进一步地，所述温度检测装置包括第二温度传感器，所述第二温度传感器设置在所述排气通道的第一端部。

进一步地，所述温度检测装置包括第三温度传感器，所述第三温度传感器设置在所述排气通道的第二端部。

进一步地，所述工艺尾气处理装置还包括第二进气通道；所述第二进气通道与所述燃烧室连通以导入所述工艺尾气。

进一步地，所述工艺尾气处理装置还包括助燃空气入口，所述助燃空气入口与所述燃烧室连通以导入助燃空气。

进一步地，所述第一进气通道内设有隔离网。

在本实用新型的工艺尾气处理装置中，使用了第一进气通道想内部空腔内通入冷空气，以给燃烧室降温，并且给排气通道降温，由此减缓了装置内部元器件的老化，使得装置能安全地运行较长时间。此外，通过在第一进气通道内设置流量调节阀，实现了按需通入冷却空气到壳体的内部空腔，因此在冷却空气的进气量较小时，无需设置大量的风机来维持排风端的负载，减少风机的使用数量，节省了动力设备成本；同时，冷却空气的进气量较小时还能提高排气通道内的排风动压，减少了含有固态粉尘的生成物在管道内堆积，提高设备稼动率，也节省了后期的维护成本。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的工艺尾气处理装置的结构示意图。

图2本实用新型较佳实施例的流量调节阀的结构示意图。

图3是沿图2的Ⅲ-Ⅲ线的剖视结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1为本实用新型较佳实施例的工艺尾气处理装置的结构示意图。如图1所示，工艺尾气处理装置100包括壳体101和设置在壳体内的燃烧室110。燃烧室110用于接收和燃烧工艺尾气。工艺尾气处理装置100还包括第一进气通道120和排气通道130，第一进气通道120与壳体101的内部空腔102连通，第一进气通道120用于导入冷却空气到内部空腔102内。第一进气通道120内设有流量调节阀150。排气通道130用于排出壳体101的内部空腔102的气体。

具体地，壳体101大致为六面立体结构，壳体101内部除了安置燃烧室110和部分管道外，还具有一定的空间，该空间即是指壳体101的内部空腔102。

燃烧室110用于燃烧工艺尾气以将有毒的工艺尾气分解成无害气体。工艺尾气是指在制作面板等制作工艺期间生成的对人体具有毒性的气体。

燃烧室110的内部空间与壳体101的内部空腔102之间通过燃烧室110的本体结构(例如，燃烧室壁)相互隔离。在燃烧室110燃烧工艺尾气时会将热量传递到壳体101的内部空腔102的空气中。

第一进气通道120与壳体101的内部空腔102连通，使得第一进气通道120导入的冷却空气进入壳体101的内部空腔102并在内部空腔102形成冷空气流，最后经排气通道130排出。在这个过程中，燃烧室110散发的热量被冷空气流带走，从而达到对内部空腔102的降温效果，进而减慢了装置内部元器件的老化，使得装置能安全地运行。冷却空气例如是降温后的外界空气。

本实施例中，第一进气通道120的入口处还配置有隔离网121以避免异物被吸入。

流量调节阀150设置在第一进气通道120内。流量调节阀150用于调节从第一进气通道120进入壳体101的内部空腔102的冷却空气的流量。

本实施例中，流量调节阀150是调节型电动蝶阀。如图2所示，流量调节阀150包括阀体151、流量调节板152、阀轴153和控制电机154。流量调节板152、阀轴153和控制电机154设置在阀体151内；阀轴153的一端连接流量调节板152，另一端连接控制电机154。控制电机154用于控制阀轴153转动并带动流量调节板152同步旋转。在工艺尾气处理装置100中，流量调节阀150的阀体151设置在第一进气通道120内。通过控制流量调节板152的旋转进而控制从第一进气通道120进入壳体101的内部空腔102的冷却空气的流量。

返回到图1，工艺尾气处理装置100还包括第二进气通道140。第二进气通道140与燃烧室110连通以导入工艺尾气。

工艺尾气处理装置100还包括助燃空气入口111，助燃空气入口111用于将助燃空气导入燃烧室110内以辅助有毒的工艺尾气的燃烧。

排气通道130包括第一端部131、第二端部132和中间部133，中间部133处于第一端部131和第二端部132之间。本实施例中，第一端部131和中间部133位于壳体101内，第二端部132位于壳体101外。

排气通道130用于排出壳体101的内部空腔102的气体。第一端部131与壳体101的内部空腔102连通，第二端部132是排气通道130的出口端，也是工艺尾气处理装置100的出口端。第二端部132与外界空气连通以将工艺尾气处理装置100的内部空腔102的气体排出至外界空气。本实施例中，排气通道130的第二端部132例如连接至厂务排风管道(图未绘示)，厂务排风管道处设有负压风机。负压风机可在工艺尾气处理装置100内部形成负压，从而将工艺尾气处理装置100内的气体抽出并通过厂务排风管道排至外界空气中。

本实施例中，排气通道130还用于将燃烧室110燃烧后的气体排出，但并不以此为限。在一个实施例中，燃烧室110的出口122与排气通道130的中间部133连通。在厂务排风管道处的负压风机的作用下，燃烧室110燃烧后的气体经燃烧室110的出口122至排气通道130的中间部133，再经第二端部132排出。结合前文描述可知，燃烧室110燃烧后的气体和内部空腔102出来的气体在排气通道130的中间部133混合。一般情况下，内部空腔102出来的气体要比燃烧室110燃烧后的气体的温度低，两者经混合后，相当于是内部空腔102出来的气体对燃烧室110燃烧后的气体进行降温。

工艺尾气处理装置100还包括温度检测装置。为了便于准确地控制经第一进气通道120供入的冷却空气的量，温度检测装置用于实时检测工艺尾气处理装置100内部不同位置的温度信息。再根据温度信息调节进入内部空腔102的冷却空气的流量。

如图1所示，温度检测装置包括第一温度传感器171。第一温度传感器171设置在排气通道130的中间部133内并位于燃烧室110的出口122与第二端部132之间。这样，第一温度传感器171能检测从燃烧室110排出的气体的温度和内部空腔102排出的气体经混合后的温度。

工艺尾气处理装置100还包括控制器(图未示)。控制器的输入端与第一温度传感器171连接，控制器的输出端与流量调节阀150连接，控制器接收第一温度传感器171发送的温度信息并根据接收的温度信息控制流量调节阀150运行。控制器控制流量调节阀150运行的方法为现有的成熟技术，例如，控制器预设有第一温度阈值T1和第二温度阈值T2，第一温度阈值T1低于第二温度阈值T2；还预设有与不同的温度区间对应的流量调节阀150的开度。当控制器接收的来自第一温度传感器171的温度信息介于第一温度阈值T1和第二温度阈值T2之间时，控制器使流量调节阀150具有第一开度，使得冷却空气具有第一流量；当控制器接收的来自第一温度传感器171的温度信息小于第一温度阈值T1时，控制器使流量调节阀150具有第二开度，使得冷却空气流量小于第一流量；当控制器接收的来自第一温度传感器171的温度信息大于第二温度阈值T2时，控制器使流量调节阀150具有第三开度，使得冷却空气流量大于第一流量。

具体来说，流量调节阀150的控制电机154与控制器相连。如图3所示，当第一温度传感器171检测的温度介于第一温度阈值T1和第二温度阈值T2之间时，控制器控制流量调节阀150的流量调节板152固定在45度开合角度(即流量调节板152位于半开合的位置，通过流量调节阀150的冷却空气流量为全开时的一半)。工艺尾气燃烧过程中会产生含有固态粉尘的生成物，负压风机运行在工艺尾气处理装置100内部形成负压通风，当通入工艺尾气处理装置100内的空气量较多时，排气通道130内的排风动压会变低，固态粉尘易粘附在管壁上，随着时间的推移会使排气通道130的内径逐渐变小甚至堵塞管道内部，降低了整个设备稼动率。然而，在实用新型的工艺尾气处理装置中，在冷却空气流入量降低的情况下，排气通道130内的排风动压相应地提升，气体在排气通道130的流速增大，有效地减少了固态粉尘在排气通道130内沉积。其次，当通入工艺尾气处理装置100内的空气量下降时，排风端的负载也可作相应的下调，降低了风机的使用数量，节省了动力设备成本。

当第一温度传感器171检测的温度低于第一温度阈值T1时，控制器控制流量调节阀150的流量调节板152的开合角度变为小于45度(如朝图中所示的顺时针方向旋转，甚至完全闭合)，当第一温度传感器171检测的温度高于第二温度阈值T2时，控制器控制流量调节阀150的流量调节板152的开合角度大于45度(如朝图中所示的逆时针方向旋转，甚至完全打开)，提高冷却空气的流入量，降低了工艺尾气处理装置100内部的温度以及从工艺尾气处理装置100内排出的气体的温度，减缓了工艺尾气处理装置10周边的设备元器件老化速度，保证安全生产。

优选地，温度检测装置进一步包括第二温度传感器172。第二温度传感器172设置排气通道130的第一端部131内，第二温度传感器172用于检测从内部空腔102排出的空气的温度。控制器结合第一温度传感器171检测的温度信息和第二温度传感器172检测的温度信息控制流量调节阀150运行。

更优选地，温度检测装置进一步包括第三温度传感器173。第三温度传感器173设置在排气通道130的第二端部132。第三温度传感器173用于辅助检测排气通道130排出的气体的温度，在第一温度传感器171失灵时也起到备用的作用。本实施例中，排气通道130与厂务排风管道相连通，气体流经厂务排风管道排出外界空气过程中会进行二次处理，厂务排风端会设置一些工艺尾气侦测点用于监控工艺尾气是否完全被处理，若从排气通道130排出的气体的温度过高，可能会损坏侦测点的侦测元器件，二次处理系统根据第二温度传感器172检测的温度信息判断从排气通道130排出的气体是否会损坏侦测点的侦测元器件，当温度过高时采取保护措施，保证特气侦测点正常工作。

其它实施例中，还可在第一进气通道120设置温度传感器检测冷却空气的温度，以及在燃烧室110设置耐高温的温度传感器直接检测燃烧室110内的温度。

温度检测装置用于检测工艺尾气处理装置内部的温度信息，控制器根据至少一个温度信息控制流量调节阀150的开合程度以控制进入壳体101的内部空腔102的冷却空气的流量，工艺尾气处理装置100能自动按需通入冷却空气，有效地对装置内部进行降温。

在工艺尾气处理装置100内，工艺尾气和助燃空气进入燃烧室110燃烧后从排气通道130排出(如图1实心箭头所示)。冷却空气经第一进通道120进入壳体101的内部空腔102后对内部空腔102进行降温后再经排气通道130排出(如图1中空心箭头所示)，两股气流在排气通道130混合进一步对燃烧室110燃烧后的气体进行降温，有效地降了整个工艺尾气处理装置100内部的温度以及从工艺尾气处理装置100排出的气体的温度。流量调节阀150设置在第一进气通道120内，流量调节阀150调节从第一进气通道120进入壳体101的内部空腔102的冷却空气的流量。本实用新型的工艺尾气处理装置100按需通入冷却空气，因此在冷却空气的进气量较小时，无需设置大量的风机来维持排风端的负载，减少风机的使用数量，节省了动力设备成本；同时，冷却空气的进气量较小时还能提高排气通道130内的排风动压，减少了含有固态粉尘的生成物在管道内堆积，提高设备稼动率，也节省了后期的维护成本。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，包括壳体(101)和设置在所述壳体(101)内的燃烧室(110)，在所述壳体(101)和燃烧室(110)之间形成了内部空腔(102)，所述工艺尾气处理装置(100)还包括第一进气通道(120)和排气通道(130)，所述第一进气通道(120)与所述内部空腔(102)连通以向其内部导入冷却空气，所述排气通道(130)与所述内部空腔(102)连通以排出所述内部空腔(102)的气体。

2.根据权利要求1所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述第一进气通道(120)内设有流量调节阀(150)，所述流量调节阀(150)用于调节进入所述内部空腔(102)的冷却空气的量。

3.根据权利要求1所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述燃烧室(110)与所述排气通道(130)连通。

4.根据权利要求3所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述排气通道(130)包括第一端部(131)、第二端部(132)和中间部(133)，所述中间部(133)连接在所述第一端部(131)和所述第二端部(132)之间，所述第一端部(131)与所述内部空腔(102)连通，所述第二端部(132)是所述排气通道(130)的出口端；所述燃烧室(110)的出口(122)与所述中间部(133)连通。

5.根据权利要求4所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述工艺尾气处理装置(100)还包括温度检测装置，所述温度检测装置包括第一温度传感器(171)，所述第一温度传感器(171)设置在所述排气通道(130)内并位于所述燃烧室(110)的出口(122)与所述第二端部(132)之间。

6.根据权利要求5所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述温度检测装置包括第二温度传感器(172)，所述第二温度传感器(172)设置在所述排气通道(130)的第一端部(131)。

7.根据权利要求5所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述温度检测装置包括第三温度传感器(173)，所述第三温度传感器(173)设置在所述排气通道(130)的第二端部(132)。

8.根据权利要求1所述的工艺尾气处理装置，其特征在于，所述工艺尾气处理装置(100)还包括第二进气通道(140)；所述第二进气通道(140)与所述燃烧室(110)连通以导入所述工艺尾气。

9.根据权利要求1所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述工艺尾气处理装置(100)还包括助燃空气入口(111)，所述助燃空气入口(111)与所述燃烧室(110)连通以导入助燃空气。

10.根据权利要求1所述的工艺尾气处理装置(100)，其特征在于，所述第一进气通道(120)内设有隔离网(121)。