CN206952756U - 单面研磨机上盘传动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种单面研磨机上盘传动装置,只需采用内外两层套合轴加特制传扭装置的方式即可满足加工盘的升降、加压、旋转及加工盘对加工条件自适应平衡三个功能,用市场标准的旋转接头在传动组件的顶端形成流体回路。该传动装置结构简单,施压传扭轴截面积是原来中心轴的3倍,特制传扭装置即可传递扭矩又能自适应平衡加工盘,整体钢性大大加强,可以施压更大压力以达到提高加工效率的目的;标准旋转接头行程流体回路,而旋转接头与加工盘采用软连接的方式,该方式安装简单不会影响传动轴的整体刚性且运行可靠。
Description
技术领域
本实用新型涉及高精度研磨/抛光机,具体涉及一种单面研磨机上盘传动装置。
背景技术
研磨/抛光机在研磨抛光过程中,原传动组件为了实现加工盘的升降、加压、旋转及上盘自适应平衡四个功能,采用内外共三层套合轴的方式进行传动,后期为满足上盘的恒温要求又在中心轴与上盘间增加过渡用的旋转流体轴。该传动组件结构复杂,三层轴装配困难且最细中心轴既要承受压力又要传递旋转扭矩,中心轴很容易过载导致发热甚至是扭曲;旋转流体轴在实际使用过程中传扭不可靠,还很容易因为轴的精度及大扭矩转动引起流体泄露。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本实用新型提供一种单面研磨机上盘传动装置,只需采用内外两层套合轴加特制传扭装置的方式即可满足加工盘的升降、加压、旋转及加工盘对加工条件自适应平衡三个功能,用市场标准的旋转接头在传动组件的顶端形成流体回路。该传动装置结构简单,施压传扭轴截面积是原来中心轴的3倍,特制传扭装置即可传递扭矩又能自适应平衡加工盘,整体钢性大大加强,可以施压更大压力以达到提高加工效率的目的;标准旋转接头行程流体回路,而旋转接头与加工盘采用软连接的方式,该方式安装简单不会影响传动轴的整体刚性且运行可靠。
本实用新型的技术方案是:单面研磨机上盘传动装置,包括支撑套轴,所述支撑套轴能够固定于单面研磨机机架上;
包括传动轴,所述传动轴插入支撑套轴中心孔内;
包括传动齿轮,所述传动齿轮利用第一传扭键连接传动轴,带动传动轴旋转;
包括支撑板,所述支撑板固定套装于支撑套轴顶部;
包括轴承座,所述轴承座外侧套有与升降加压缸的伸缩杆固定连接的加压座,所述加压座外侧套有滑板,所述滑板上装有若干个直线轴承,每个直线轴承中心孔内穿有一根直线轴,所述直线轴底部固定于支撑套轴上,顶部固定于安装有升降加压缸的缸体安装板上;
所述轴承座内安装有第一轴承,传动轴顶部穿过第一轴承中心孔,能够相对轴承座旋转,随轴承座上下移动;
包括装有流体软管的旋转接头,所述流体软管自传动轴中心孔顶部插入底部伸出,所述旋转接头固定于传动轴顶部,加工盘固定于传动轴底部;
所述加工盘上设置有流体管接头,流体软管自传动轴底部伸出连接流体管接头。
进一步的,包括上传扭座、下传扭座和传扭轴;所述传扭轴为十字形结构,中心开孔,十字形结构的四个端部均套有第四轴承;所述上传扭座顶部利用第二传扭键固定连接于传动轴底部,上传扭座底部套于十字形结构一副相对的两个第四轴承上,使得上传扭座和传动轴能够相对左右摆动;所述下传扭座顶部套于十字形结构另一副相对的两个第四轴承上,下传扭座底部连接加工盘,使得下传扭座和传动轴能够相对前后摆动;流体软管自传动轴底部伸出,穿过传扭轴中心孔后连接流体管接头。
进一步的,所述传扭轴四个端部通过压盖压紧。
进一步的,所述滑板周向均匀的安装有4个直线轴承。
进一步的,所述支撑套轴中心孔顶端和底端与传动轴接触处分别装有第二轴承和第三轴承。
本实用新型的有益效果是:只需采用内外两层套合轴加特制传扭装置的方式即可满足加工盘的升降、加压、旋转及加工盘对加工条件自适应平衡三个功能,用市场标准的旋转接头在传动组件的顶端形成流体回路。该传动装置结构简单,施压传扭轴截面积是原来中心轴的3倍,特制传扭装置即可传递扭矩又能自适应平衡加工盘,整体钢性大大加强,可以施压更大压力以达到提高加工效率的目的;标准旋转接头行程流体回路,而旋转接头与加工盘采用软连接的方式,该方式安装简单不会影响传动轴的整体刚性且运行可靠。
附图说明
图1为单面研磨机上盘传动装置传动部分结构示意图;
图2为单面研磨机上盘传动装置传扭部分结构示意图;
图3为单面研磨机上盘传动装置传扭部分的截面图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1所示,单面研磨机上盘传动装置包括升降加压缸1、缸体安装板2、直线轴3、直线轴承6、加压座4、旋转接头5、轴承座7、滑板8、第一轴承9、传动轴10、传动齿轮11、第一传扭键12、第二轴承13、支撑板15、支撑套轴14、第三轴承16。将支撑套轴14固定在设备机架上,支撑板15、第二轴承13、传动齿轮11、第一传扭键12、直线轴3及直线轴承6依次安装在支撑套轴14上;第一轴承9及传动轴10依次装入轴承座7内后将旋转接头(装好接头及流体软管)装在传动轴10顶(软管经过传动轴中空部位从另一端伸出以便传输流体),将加压座4套在轴承座7上,把已经装好直线轴承6的滑板8套在加压座4上,对准加压座4对旋转接头5定子安装防转落定,防止定子随传动轴10一起旋转;把装好的传动轴10及加压座4(直线轴与直线轴承一一对其)插入支撑套轴14内,传动轴10可以在直线轴3高度范围内自由上下滑动,转动传动齿轮,传动轴能够一起旋转;将气缸安装板装在直线轴上端,升降加压缸1固定在缸体安装板2上,并将升降加压缸1与加压座固定,在气动作用下升降加压缸1拉着传动轴进行升降动作。
如图2所示,单面研磨机上盘传动装置包括上传扭座20、下传扭座21和传扭轴23;所述传扭轴23为十字形结构,中心开孔,十字形结构的四个端部均套有第四轴承24,并通过压盖18压紧;所述上传扭座20顶部利用第二传扭键17固定连接于传动轴10底部,上传扭座20底部套于十字形结构一副相对的两个第四轴承24上,使得上传扭座20和传动轴10能够相对左右摆动;所述下传扭座21顶部套于十字形结构另一副相对的两个第四轴承24上,下传扭座21底部连接加工盘19,使得下传扭座21和传动轴10能够相对前后摆动;流体软管自传动轴底部伸出,穿过传扭轴中心孔后连接流体管接头22。
通过改变升降加压缸上下腔压力让传动组件在气缸行程内上下滑动,取放工件时需要将加工盘升至最高处,加工时需将加工盘下降一直到压实工件上表面(下降高度小于气缸行程)。
设备运转前,在配方中设定各种参数(转速、压力、恒温要求),在设备加工时,马达根据配方中的要求给传动轴传递速度、缸体根据配方要求进行加压、旋转接头通过软管给加工盘组件中的流体腔输送流体将工件表面控制温度在一定范围内。当工件下表面的下盘有跳动时,特制的传扭轴上传扭座左右微量摆动、下传扭座前后微量摆动的摆动以达到加工盘与下盘一直平行的目的。
当下盘有磨损时,由于加工盘与下盘高度差小于缸体行程,此时加工盘在气缸作用下一直下降到能够压实工件再进行加工。此结构简单,传递压力、扭矩大,稳定性强。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (5)
1.单面研磨机上盘传动装置,其特征在于:包括支撑套轴(14),所述支撑套轴(14)能够固定于单面研磨机机架上;
包括传动轴(10),所述传动轴(10)插入支撑套轴(14)中心孔内;
包括传动齿轮(11),所述传动齿轮(11)利用第一传扭键(12)连接传动轴(10),带动传动轴(10)旋转;
包括支撑板(15),所述支撑板(15)固定套装于支撑套轴(14)顶部;
包括轴承座(7),所述轴承座(7)外侧套有与升降加压缸(1)的伸缩杆固定连接的加压座(4),所述加压座(4)外侧套有滑板(8),所述滑板(8)上装有若干个直线轴承(6),每个直线轴承(6)中心孔内穿有一根直线轴(3),所述直线轴(3)底部固定于支撑套轴(14)上,顶部固定于安装有升降加压缸(1)的缸体安装板(2)上;
所述轴承座(7)内安装有第一轴承(9),传动轴(10)顶部穿过第一轴承(9)中心孔,能够相对轴承座(7)旋转,随轴承座(7)上下移动;
包括装有流体软管的旋转接头(5),所述流体软管自传动轴中心孔顶部插入底部伸出,所述旋转接头(5)固定于传动轴(10)顶部,加工盘(19)固定于传动轴(10)底部;
所述加工盘(19)上设置有流体管接头(22),流体软管自传动轴底部伸出连接流体管接头(22)。
2.根据权利要求1所述的单面研磨机上盘传动装置,其特征在于:包括上传扭座(20)、下传扭座(21)和传扭轴(23);所述传扭轴(23)为十字形结构,中心开孔,十字形结构的四个端部均套有第四轴承(24);所述上传扭座(20)顶部利用第二传扭键(17)固定连接于传动轴(10)底部,上传扭座(20)底部套于十字形结构一副相对的两个第四轴承(24)上,使得上传扭座(20)和传动轴(10)能够相对左右摆动;所述下传扭座(21)顶部套于十字形结构另一副相对的两个第四轴承(24)上,下传扭座(21)底部连接加工盘(19),使得下传扭座(21)和传动轴(10)能够相对前后摆动;流体软管自传动轴底部伸出,穿过传扭轴中心孔后连接流体管接头(22)。
3.根据权利要求2所述的单面研磨机上盘传动装置,其特征在于:所述传扭轴(23)四个端部通过压盖(18)压紧。
4.根据权利要求1所述的单面研磨机上盘传动装置,其特征在于:所述滑板(8)周向均匀的安装有4个直线轴承(6)。
5.根据权利要求1所述的单面研磨机上盘传动装置,其特征在于:所述支撑套轴(14)中心孔顶端和底端与传动轴(10)接触处分别装有第二轴承(13)和第三轴承(16)。
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CN201720655480.4U CN206952756U (zh) | 2017-06-07 | 2017-06-07 | 单面研磨机上盘传动装置 |
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CN201720655480.4U Active CN206952756U (zh) | 2017-06-07 | 2017-06-07 | 单面研磨机上盘传动装置 |
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CN (1) | CN206952756U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113305734A (zh) * | 2021-06-02 | 2021-08-27 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种适用于硅片单面抛光的柔性研磨头 |
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