CN206924491U - 清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种清洗系统，清洗系统包括清洗槽、进液管、排液管以及清洗泵；清洗槽储放有清洗液；进液管一端连接于清洗槽，另一端连接于过滤器进口和出口其中之一的管路；排液管一端连接于过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于湿法刻蚀设备的废液排放管路；清洗泵设于进液管与清洗槽之间，以将清洗液由清洗槽泵入过滤器。本实用新型提出的清洗系统，在安装于湿法刻蚀设备中对过滤器进行清洗时，通过进液管和排液管将清洗槽与过滤器的进、出口管路连接起来，并利用清洗泵向过滤器泵入清洗液而对其进行清洗，使过滤器无需拆卸或更换，延长过滤器的使用寿命，降低设备成本。

Description

清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备

技术领域

本实用新型涉及适用于湿法刻蚀设备的清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备。

背景技术

参阅图1所示，其示出了一种现有湿法刻蚀设备的系统管路示意图。该现有湿法刻蚀设备的设计中，刻蚀药液流动路径为：药液槽400→供给泵500→过滤器100→刻蚀喷嘴600→玻璃基板。

药液和玻璃基板上的金属或非金属膜层反应后，会生成多种副产物，且部分副产物不溶于药液；同时，药液在对玻璃基板的冲洗过程中，会有少量光刻胶和异物粒子带入药液槽400中。由于上述不溶副产物、光刻胶、异物粒子均是无法被药液溶解的，在使用过程中会随药液再次喷洒到玻璃基板上，影响刻蚀效果(膜层残留等不良)。

过滤器100(Filter)的作用即是把以上物质进行过滤，使干净药液重新投入生产当中。因此，长时间使用后，过滤器100会被堵塞，药液流量达不到使用的目标值。目前常用的解决办法是直接进行更换新的过滤器。

实用新型内容

本实用新型的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种无需拆卸或更换过滤器就可对其进行清洗的清洗系统。

本实用新型的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述清洗系统的湿法刻蚀设备。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

根据本实用新型的一个方面，提供一种清洗系统，用于清洗湿法刻蚀设备的过滤器，其中，所述清洗系统包括清洗槽、进液管、排液管以及清洗泵；所述清洗槽储放有清洗液；所述进液管一端连接于所述清洗槽，另一端连接于所述过滤器进口和出口其中之一的管路；所述排液管一端连接于所述过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于所述湿法刻蚀设备的废液排放管路；所述清洗泵设于所述进液管与所述清洗槽之间，以将所述清洗液由所述清洗槽泵入所述过滤器。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述进液管上设有进液阀，以控制所述进液管的开启和关闭。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述进液阀为手动阀门。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述排液管上设有排液阀，以控制所述排液管的开启和关闭。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述排液阀为手动阀门。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述进液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配；和/或，所述排液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述进液管连接于所述过滤器出口的管路，所述排液管连接于所述过滤器进口的管路。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述湿法刻蚀设备包括清洗槽和反应池，所述清洗槽通过清洗管路连接至所述反应池，所述清洗管路上设有清洗泵；其中，所述清洗系统的清洗槽共用为所述湿法刻蚀设备的清洗槽，且所述清洗系统的清洗泵共用为所述清洗管路上的清洗泵；其中，所述进液管和所述排液管均连接于所述清洗管路，所述清洗管路上设有清洗阀。

根据本实用新型的其中一个实施方式，所述清洗阀为手动阀。

根据本实用新型的另一个方面，提供一种湿法刻蚀设备，包括药液槽、供给泵、过滤器、刻蚀喷嘴、清洗槽和反应池，所述药液槽通过管路连接于所述刻蚀喷嘴，所述供给泵和过滤器设于所述管路，所述刻蚀喷嘴对应于所述反应池，所述清洗槽通过清洗管路连接至所述反应池；其中，所述湿法刻蚀设备还包括上述实施方式中所述的清洗系统。

由上述技术方案可知，本实用新型提出的清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备的优点和积极效果在于：

本实用新型提出的清洗系统，在安装于湿法刻蚀设备中对过滤器进行清洗时，通过进液管和排液管将清洗槽与过滤器的进、出口管路连接起来，并利用清洗泵向过滤器泵入清洗液而对其进行清洗，使过滤器无需拆卸或更换，延长过滤器的使用寿命，降低设备成本。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本实用新型的优选实施方式的详细说明，本实用新型的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本实用新型的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是一种现有湿法刻蚀设备的系统管路示意图；

图2是根据一示例性实施方式示出的一种清洗系统的系统管路示意图；

图3是根据一示例性实施方式示出的一种湿法刻蚀设备的系统管路示意图。

其中，附图标记说明如下：

100.过滤器；

210.清洗槽；

220.进液管；

221.进液阀；

230.排液管；

231.排液阀；

240.清洗泵；

300.反应池；

310.清洗管路；

311.清洗阀；

400.药液槽；

500.供给泵；

600.刻蚀喷嘴。

具体实施方式

体现本实用新型特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本实用新型。

在对本实用新型的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本实用新型的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本实用新型的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本实用新型范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“一端”、“之间”等来描述本实用新型的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本实用新型的范围内。

清洗系统实施方式

参阅图2，图2中代表性地示出了能够体现本实用新型的原理的清洗系统的系统管路示意图。在该示例性实施方式中，本实用新型提出的清洗系统是以应用于湿法刻蚀设备(可配合参阅图3)中为例，进一步地，是以作为对湿法刻蚀设备的过滤器100进行清洗的清洗系统为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该清洗系统应用于其他设备，或应用于对其他装置进行清洗，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本实用新型提出的清洗系统的原理的范围内。

如图2所示，在本实施方式中，清洗系统主要包括清洗槽210、进液管220、排液管230以及清洗泵240。以下参考图2同时结合图3所示，对本实用新型提出的清洗系统的各主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。

如图2所示，在本实施方式中，清洗槽210储放有清洗液，该清洗液可以优选为去离子水。并且，当清洗系统应用于湿法刻蚀设备时，清洗系统的清洗槽210可以共用为湿法刻蚀设备的清洗槽(参见图3)，该清洗槽将在下述内容中详细说明，在此不予赘述。

如图2所示，在本实施方式中，进液管220一端连接于清洗槽210，另一端连接于过滤器100出口的管路，且排液管230一端连接于过滤器100进口的管路，另一端连接于湿法刻蚀设备的废液排放管路。清洗泵240设置在进液管220上，以提供动力而将清洗槽210中的清洗液泵出，清洗液经进液管220由清洗槽210流至过滤器100而对过滤器100进行清洗，再经排液管230由过滤器100流至废液排放管路进行回收处理和排放。通过上述结构设计，清洗液是由过滤器100出口流入，并由过滤器100入口流出，提供一种逆向清洗的功能，提升清洗液对过滤器100的清洗效果。在其他实施方式中，进液管220亦可连接于过滤器100进口的管路，且出液管亦可连接于过滤器100出口的管路，各管路的连接位置和布置方式可根据湿法刻蚀设备(或其他过滤器100所在设备)的管路构成和清洗需求灵活调整，并不以此为限。

如图2所示，在本实施方式中，进液管220上设有进液阀221，用于控制进液管220的开启和关闭，同时可调节进液管220中清洗液的流量。进一步地，该进液阀221可以优选为手动阀门，不必对湿法刻蚀设备的控制机构进行额外调整。在其他实施方式中，例如清洗较为频繁时，进液阀221亦可选用自动阀门，并可单独控制或接入湿法刻蚀设备的控制机构(增加相应的控制程序)中，并不以此为限。

如图2所示，在本实施方式中，排液管230上设有排液阀，用于控制排液管230的开启和关闭，同时可调节排液管230中清洗液的流量。进一步地，该排液阀可以优选为手动阀门，不必对湿法刻蚀设备的控制机构进行额外调整。在其他实施方式中，例如清洗较为频繁时，排液阀亦可选用自动阀门，可单独控制或接入湿法刻蚀设备的控制机构(增加相应的控制程序)中，并不以此为限。

进一步地，在本实施方式中，进液管220的管径与过滤器100出口的管路的管径匹配，且排液管230的管径与过滤器100进口的管路的管径匹配。在其他实施方式中，进液管220和排液管230的管径亦可小于各自连接的过滤器100出口或进口的管路的管径，且优选为大于等于25A。再者，进液管220和排液管230的管径并不限于相等。

如图2和图3所示，在本实施方式中，当本实用新型提出的清洗系统应用于湿法刻蚀设备时，清洗系统的部分结构可以与湿法刻蚀设备的对应结构共用。例如，现有湿法刻蚀设备通常包括清洗槽210和反应池300，清洗槽210内储放有清洗液(例如去离子水)，清洗槽210通过清洗管路310连接至反应池300，清洗管路310上设有清洗泵240。现有湿法刻蚀设备利用清洗泵240提供动力，将清洗液经清洗管路310由清洗槽210泵至反应池300，以对例如玻璃基板的待刻蚀元件进行清洗。

承上，如图2和图3所示，在本实施方式中，清洗系统的清洗槽210可共用为湿法刻蚀设备的清洗槽，且清洗系统的清洗泵240共用为清洗管路310上的清洗泵。并且，清洗系统的进液管220和排液管230均连接于清洗管路310，清洗管路310上设有清洗阀311，以选择性地开启或关闭清洗槽210与反应池300之间的连接关系。

进一步地，该清洗阀311可以优选为手动阀门，不必对湿法刻蚀设备的控制机构进行额外调整。在其他实施方式中，例如清洗较为频繁时，进液阀221亦可选用自动阀门，并不以此为限。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的清洗系统仅仅是能够采用本发明原理的许多种清洗系统中的一个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的清洗系统的任何细节或清洗系统的任何部件。

湿法刻蚀设备实施方式

参阅图3，图3中代表性地示出了能够体现本实用新型的原理的湿法刻蚀设备的系统管路示意图。在该示例性实施方式中，本实用新型提出的湿法刻蚀设备是以对玻璃基板进行湿法刻蚀的设备为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该湿法刻蚀设备应用于对其他元件进行湿法刻蚀，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本实用新型提出的湿法刻蚀设备的原理的范围内。

如图3所示，在本实施方式中，本实用新型提出的湿法刻蚀设备主要包括药液槽400、供给泵500、过滤器100、刻蚀喷嘴600、清洗槽、反应池300和清洗系统。具体而言，药液槽400通过管路连接于刻蚀喷嘴600，供给泵500和过滤器100设于管路，刻蚀喷嘴600对应于反应池300，清洗槽210通过清洗管路310连接至反应池300。其中，上述的清洗系统采用本实用新型提出的清洗系统。另外，药液槽400、供给泵500、过滤器100、刻蚀喷嘴600、清洗槽210和反应池300等装置均可采用现有湿法刻蚀设备的设计。再者，连接于药液槽400与供给泵500之间、供给泵500与过滤器100之间以及过滤器100与刻蚀喷嘴600之间的各管路上均可设置阀门，以调节对应管路的开启和关闭，同时可调节对应管路的药液的流量。

进一步地，如图3所示，在本实施方式中，清洗槽共用为清洗系统的清洗槽210，且清洗系统的进液管220连接于清洗管路310，且清洗管路310上的清洗阀311具体是位于进液管220在清洗管路310的连接处与反应池300之间。

需说明的是，如图3所示，湿法刻蚀设备通常包括多组刻蚀喷嘴600和多过滤器100。本实施方式描述的内容是以清洗系统连接于其中一条管路上的过滤器100为例进行说明。容易理解的是，对于实际情况中的多组过滤器100，清洗系统可通过进液管220、排液管230等管路和相关阀件的变化，实现同时或选择性地对各过滤器100进行清洗，在此不予赘述。

基于上述结构设计，本实用新型提出的湿法刻蚀设备能够对玻璃基板进行刻蚀。实现上述刻蚀功能的药液流经路径大致为：药液槽400→供给泵500→过滤器100→刻蚀喷嘴600→反应池300。当需要清洗反应池300时，清洗系统的进液阀221关闭，且清洗管路310上的清洗阀311开启，清洗泵提供动力将清洗液经清洗管路310由清洗槽泵至反应池300。当需要清洗过滤器100时，清洗系统的进液阀221和排液阀开启，且清洗管路310上的清洗阀311关闭，清洗泵提供动力将清洗液经清洗管路310(一段)和进液管220由清洗槽泵至过滤器100，清洗液将过滤器100中的堵塞物冲出，并将过滤后的废液连同冲出的堵塞物，由排液管230排放至湿法刻蚀设备的废液排放管路进行回收处理和排放。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的湿法刻蚀设备仅仅是能够采用本发明原理的许多种湿法刻蚀设备中的一个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的湿法刻蚀设备的任何细节或湿法刻蚀设备的任何部件。

综上所述，本实用新型提出的清洗系统，在安装于湿法刻蚀设备中对过滤器进行清洗时，通过进液管和排液管将清洗槽与过滤器的进、出口管路连接起来，并利用清洗泵向过滤器泵入清洗液而对其进行清洗，使过滤器无需拆卸或更换，延长过滤器的使用寿命，降低设备成本。

以上详细地描述和/或图示了本实用新型提出的清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备的示例性实施方式。但本实用新型的实施方式不限于这里所描述的特定实施方式，相反，每个实施方式的组成部分和/或步骤可与这里所描述的其它组成部分和/或步骤独立和分开使用。一个实施方式的每个组成部分和/或每个步骤也可与其它实施方式的其它组成部分和/或步骤结合使用。在介绍这里所描述和/或图示的要素/组成部分/等时，用语“一个”、“一”和“上述”等用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等。术语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

虽然已根据不同的特定实施例对本实用新型提出的清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备进行了描述，但本领域技术人员将会认识到可在权利要求的精神和范围内对本实用新型的实施进行改动。

Claims (10)

1.一种清洗系统，用于清洗湿法刻蚀设备的过滤器，其中，所述清洗系统包括：

清洗槽，储放有清洗液；

进液管，一端连接于所述清洗槽，另一端连接于所述过滤器进口和出口其中之一的管路；

排液管，一端连接于所述过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于所述湿法刻蚀设备的废液排放管路；以及

清洗泵，设于所述进液管与所述清洗槽之间，以将所述清洗液由所述清洗槽泵入所述过滤器。

2.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述进液管上设有进液阀，以控制所述进液管的开启和关闭。

3.根据权利要求2所述的清洗系统，其特征在于，所述进液阀为手动阀门。

4.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述排液管上设有排液阀，以控制所述排液管的开启和关闭。

5.根据权利要求2所述的清洗系统，其特征在于，所述排液阀为手动阀门。

6.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述进液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配；和/或，所述排液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配。

7.根据权利要求1～6任一项所述的清洗系统，其特征在于，所述进液管连接于所述过滤器出口的管路，所述排液管连接于所述过滤器进口的管路。

8.根据权利要求1～6任一项所述的清洗系统，其特征在于，所述湿法刻蚀设备包括清洗槽和反应池，所述清洗槽通过清洗管路连接至所述反应池，所述清洗管路上设有清洗泵；

其中，所述清洗系统的清洗槽共用为所述湿法刻蚀设备的清洗槽，且所述清洗系统的清洗泵共用为所述清洗管路上的清洗泵；

其中，所述进液管和所述排液管均连接于所述清洗管路，所述清洗管路上设有清洗阀。

9.根据权利要求8所述的清洗系统，其特征在于，所述清洗阀为手动阀。

10.一种湿法刻蚀设备，包括药液槽、供给泵、过滤器、刻蚀喷嘴、清洗槽和反应池，所述药液槽通过管路连接于所述刻蚀喷嘴，所述供给泵和过滤器设于所述管路，所述刻蚀喷嘴对应于所述反应池，所述清洗槽通过清洗管路连接至所述反应池；其特征在于，所述湿法刻蚀设备还包括权利要求1-9任一项所述的清洗系统。