CN206842507U - 一种单晶硅截断机的自动上料装置 - Google Patents
一种单晶硅截断机的自动上料装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206842507U CN206842507U CN201720624151.3U CN201720624151U CN206842507U CN 206842507 U CN206842507 U CN 206842507U CN 201720624151 U CN201720624151 U CN 201720624151U CN 206842507 U CN206842507 U CN 206842507U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- manipulator
- automatic charging
- support
- charging device
- clamping jaw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种单晶硅截断机的自动上料装置。该折弯装置包括支撑架、上料机械手装置和晶托组件；上料机械手装置的水平移动件包括安装在支撑架顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨、移动伺服电机、固定安装在移动伺服电机转动轴上的第一齿轮、以及与第一齿轮相齿合的第一齿条。该自动上料装置的上料机械手装置和晶托组件联合应用，能够完全实现机械手抓取后的连续化运输单晶硅，使单晶硅截断工艺的完全生产的机械化和自动化带来可能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅截断机的自动上料装置。
背景技术
单晶硅截断机是使用金刚线对硅棒进行切割加工的设备，该设备通过一根高速往复运转的金刚线，对硅棒进行截断、去头尾的一种加工技术。单晶硅切断机需要上下料装置来实现单晶硅截断前的上下料操作，现有技术一般采用人工上下料，因此，企业也在寻求设备可以代替人工繁重劳动以实现生产的机械化和自动化，这就促进了机械手的发展，采用自动上下料机械手能更好地实现与机械化和自动化的有机结合，但是现有单晶硅截断机的机械手不能完全实现机械手抓取后的连续化运输单晶硅，使单晶硅截断实现完全生产的机械化和自动化带来困难。
实用新型内容
为了解决现有技术中的单晶硅截断不能实现完全生产的机械化和自动化问题，本实用新型提供了一种单晶硅截断机的自动上料装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
一种单晶硅截断机的自动上料装置包括支撑架、上料机械手装置和晶托组件；上料机械手装置包括水平移动件和机械手夹紧件，其中，水平移动件包括安装在支撑架顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨、移动伺服电机、固定安装在移动伺服电机转动轴上的第一齿轮、以及与第一齿轮相齿合的第一齿条；机械手夹紧件包括固定在第一直线导轨上且能够沿第一直线导轨水平移动的机械手支架、安装在机械手支架上的夹爪固定板、安装在夹爪固定板上的夹爪伺服电机、固定安装在夹爪伺服电机转动轴上的第二齿轮、与第一齿轮相齿合的两条相向移动的第二齿条、安装在夹爪固定板两侧两条相互并行的第二直线导轨、以及安装在第二直线导轨上的夹爪机械手。
作为优选，水平移动件上包括起保护作用的风琴护罩；机械手夹紧件通过安装在第一直线导轨上的滑块横向移动；
第一直线导轨和第一齿条安装在支撑架顶部平台上，机械手支架固定在第一导轨的滑块上，移动伺服电机与齿轮相连并固定在机械手支架上，当伺服电机驱动第一齿轮转动时，带动机械手支架和机械手沿第一导轨方向平行移动。
夹爪机械手与夹爪固定板连接为一体，且两侧分别通过导轨滑块与第二导轨连接，第二齿条也安装在夹爪固定板上，当夹爪伺服电机驱动第二齿轮转动时，会同时带动两个第二齿条对中移动直至夹紧单晶硅棒。
晶托组件包括安装在支撑架底部平台的夹具底座、安装于夹具底座上的至少两套浮动支撑单元、以及安装在两套浮动支撑单元之间的滚筒组件，其中，浮动支撑单元包括锁紧气缸和锁紧气缸固定连接的支撑块；滚筒组件包括安装在夹具底座上的滚筒轴承固定座和在固定座之间的滚筒轴承。作为优选，每组浮动支撑单元通过支撑法兰与夹具底座固定连接，支撑法兰通过螺钉与夹具底座固定连接，所述支撑法兰与支撑块之间还设置有伸缩弹簧，浮动支撑单元能够达到支撑住单晶硅棒的目的；滚筒轴承固定座通过螺钉安装在夹具底座上，滚筒组件可以支撑单晶硅棒先后移动。
所述支撑架底部平台上还安装有第三直线导轨和密封防护的保护罩，所述晶托组件通过安装在第三直线导轨上的滑块横向移动。
与现有技术的单晶硅截断机的自动上料装置相比，本实用新型提供的自动上料装置的上料机械手装置和晶托组件联合应用，能够完全实现机械手抓取后的连续化运输单晶硅，使单晶硅截断工艺的完全生产的机械化和自动化带来可能。上料机械手装置既能实现机械手对单晶硅抓取，也能实现在单晶硅运输方向上的水平移动；晶托组件既能支撑住单晶硅棒，也能支撑单晶硅棒先后移动。
附图说明
图1为本实用新型所提供的单晶硅截断机的自动上料装置的结构示意图；
图2为本实用新型所提供的上料机械手装置的结构示意图；
图3为本实用新型所提供的水平移动件的结构示意图；
图4为本实用新型所提供的机械手夹紧件的结构示意图；
图5为本实用新型所提供的晶托组件的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型旨在提供一种单晶硅截断机的自动上料装置，以解决现有技术中的单晶硅截断不能实现完全生产的机械化和自动化问题。
为了使本领域技术人员能够更好的理解本实用新型，下面结合具体实施方式和附图对本实用新型作进一步的详细说明。
一种单晶硅截断机的自动上料装置包括支撑架1、上料机械手装置2和晶托组件4；上料机械手装置2包括水平移动件和机械手夹紧件，其中，水平移动件包括安装在支撑架1顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨21、移动伺服电机22、固定安装在移动伺服电机22转动轴上的第一齿轮23、以及与第一齿轮23相齿合的第一齿条24；机械手夹紧件包括固定在第一直线导轨21上且能够沿第一直线导轨水平移动的机械手支架31、安装在机械手支架31上的夹爪固定板32、安装在夹爪固定板32上的夹爪伺服电机33、固定安装在夹爪伺服电机33转动轴上的第二齿轮34、与第一齿轮相齿合的两条相向移动的第二齿条35、安装在夹爪固定板22两侧两条相互并行的第二直线导轨36、以及安装在第二直线导轨36上的夹爪机械手37。
在一种优选的实施例中，水平移动件上包括安装在水平移动件上方的起保护作用的风琴护罩25；机械手夹紧件通过安装在第一直线导轨上的滑块26横向移动。
在一种具体的实施方式中，晶托组件包括安装在支撑架底部平台的夹具底座41、安装于夹具底座41上的至少两套浮动支撑单元、以及安装在两套浮动支撑单元之间的滚筒组件，其中，浮动支撑单元包括锁紧气缸42和锁紧气缸固定连接的支撑块43；滚筒组件包括安装在夹具底座上的滚筒轴承固定座51和在固定座之间的滚筒轴承52；每组浮动支撑单元通过支撑法兰44与夹具底座固定41连接，支撑法兰44通过螺钉与夹具底座固定41连接，所述支撑法兰44与支撑块43之间还设置有伸缩弹簧45，浮动支撑单元能够达到支撑住单晶硅棒的目的；滚筒轴承固定座51通过螺钉安装在夹具底座41上，滚筒组件可以支撑单晶硅棒先后移动。
在另外一种具体的实施方式中，所述支撑架底部平台上还安装有第三直线导轨(未画出)和密封防护的保护罩45，所述晶托组件通过安装在第三直线导轨上的滑块横向移动。
以上对本实用新型所提供的一种自动上料装置进行了详细的介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法和中心思想。应当指出，对于本技术领域的一般技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
Claims (5)
1.一种单晶硅截断机的自动上料装置，其特征在于：包括支撑架、上料机械手装置和晶托组件；上料机械手装置包括水平移动件和机械手夹紧件，其中，水平移动件包括安装在支撑架顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨、移动伺服电机、固定安装在移动伺服电机转动轴上的第一齿轮、以及与第一齿轮相齿合的第一齿条；机械手夹紧件包括固定在第一直线导轨上且能够沿第一直线导轨水平移动的机械手支架、安装在机械手支架上的夹爪固定板、安装在夹爪固定板上的夹爪伺服电机、固定安装在夹爪伺服电机转动轴上的第二齿轮、与第一齿轮相齿合的两条相向移动的第二齿条、安装在夹爪固定板两侧两条相互并行的第二直线导轨、以及安装在第二直线导轨上的夹爪机械手。
2.如权利要求1所述的自动上料装置，其特征在于：水平移动件上还包括起保护作用的风琴护罩；机械手夹紧件通过安装在第一直线导轨上的滑块横向移动；夹爪机械手通过安装板和滑块安装在第二直线导轨上。
3.如权利要求1所述的自动上料装置，其特征在于：晶托组件包括安装在支撑架底部平台的夹具底座、安装于夹具底座上的至少两套浮动支撑单元、以及安装在两套浮动支撑单元之间的滚筒组件，其中，浮动支撑单元包括锁紧气缸和锁紧气缸固定连接的支撑块；滚筒组件包括安装在夹具底座上的滚筒轴承固定座和在固定座之间的滚筒轴承。
4.如权利要求3所述的自动上料装置，其特征在于：每组浮动支撑单元通过支撑法兰与夹具底座固定连接，支撑法兰通过螺钉与夹具底座固定连接，所述支撑法兰与支撑块之间还设置有伸缩弹簧；滚筒轴承固定座通过螺钉安装在夹具底座上。
5.如权利要求3所述的自动上料装置，其特征在于：所述支撑架底部平台上还安装有第三直线导轨和密封防护的保护罩，所述晶托组件通过安装在第三直线导轨上的滑块横向移动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720624151.3U CN206842507U (zh) | 2017-06-01 | 2017-06-01 | 一种单晶硅截断机的自动上料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720624151.3U CN206842507U (zh) | 2017-06-01 | 2017-06-01 | 一种单晶硅截断机的自动上料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206842507U true CN206842507U (zh) | 2018-01-05 |
Family
ID=60798128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720624151.3U Active CN206842507U (zh) | 2017-06-01 | 2017-06-01 | 一种单晶硅截断机的自动上料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206842507U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108748749A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种晶硅单刀截断机 |
| CN109877984A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-06-14 | 天通日进精密技术有限公司 | 多段式半导体晶棒截断机 |
| CN110733852A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-01-31 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种单晶硅棒上料装置及料车 |
| CN114275527A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-04-05 | 宁夏共享机床辅机有限公司 | 一种带称重功能的移载装置 |
-
2017
- 2017-06-01 CN CN201720624151.3U patent/CN206842507U/zh active Active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108748749A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种晶硅单刀截断机 |
| CN109877984A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-06-14 | 天通日进精密技术有限公司 | 多段式半导体晶棒截断机 |
| CN109877984B (zh) * | 2019-03-27 | 2024-03-29 | 天通日进精密技术有限公司 | 多段式半导体晶棒截断机 |
| CN110733852A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-01-31 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种单晶硅棒上料装置及料车 |
| CN114275527A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-04-05 | 宁夏共享机床辅机有限公司 | 一种带称重功能的移载装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206842507U (zh) | 一种单晶硅截断机的自动上料装置 | |
| CN107791011B (zh) | 一种全纹螺柱自动化装配系统及方法 | |
| CN110444366A (zh) | 磁性材料自动充磁及检测装管一体机 | |
| CN104647489B (zh) | 复合本体自动打钉机 | |
| CN102122065B (zh) | 显微镜载玻片自动供给装置 | |
| CN109048339A (zh) | 一种齿轮滚针全自动组装设备 | |
| CN203380686U (zh) | 自动化机械加工系统用料道 | |
| CN105158676B (zh) | 精密电子产品基板功能自动检测装置 | |
| CN107039324B (zh) | 一种全自动管式pecvd上下料机及方法 | |
| CN109048268A (zh) | 一种齿轮滚针全自动组装生产方法 | |
| CN102183739A (zh) | 一种电能表在表箱与多表位工装板间的移载装置 | |
| CN103028999A (zh) | 自动化机械加工系统用料道 | |
| CN207242960U (zh) | 导光板双工位下料装置 | |
| CN107932158A (zh) | 工件搬运定位装置 | |
| CN110116905A (zh) | 物料搬运装置 | |
| US20180065222A1 (en) | Workpiece attachment/removal device | |
| CN205057329U (zh) | 一种壳体焊接生产设备 | |
| CN103787075A (zh) | 一种自动移载机构 | |
| CN106475842B (zh) | 一种自动送料和取料设备 | |
| CN104665135A (zh) | 饰件加工设备 | |
| CN205574978U (zh) | 一种物料搬运机器人 | |
| CN106553098A (zh) | 自动抓料机械手 | |
| CN206436243U (zh) | 一种机械手带动两台数控机床的生产线 | |
| CN105345202A (zh) | 一种线缆上锡机的输送机构 | |
| CN213005307U (zh) | 三轴桁架机械手 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |