CN206810759U - 一种高纯硅生产线 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种高纯硅生产线,包括提纯设备和烘干设备,提纯设备包括基座、搅拌装置、清洗装置和过滤拦截装置,基座的上端设有搅拌装置,搅拌装置的上端设有清洗装置,所述清洗装置的出液口固定连接排出管的一端,排出管的另一端固定连接过滤拦截装置的入液口,排出管的上表面设有第一阀门,过滤拦截装置的上端设有水泵。该提纯设备能够对硅粉进行彻底的清洗、除杂和固液分离,以便提高产品的纯度和生产效率。另外,烘干设备的底座上设置有传送带,底座的上端右侧设有电机,底座的上端左侧设有微波干燥箱,底座的上端右侧设有电加热架,底座的右侧设有右延伸平台,该烘干设备以流水线的形式分层烘干,烘干效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及分离设备技术领域,具体为一种高纯硅生产线。
背景技术
硅粉是以硅块为原料制备而成的,广泛应用于各种高新技术产业。硅粉生产线的清洗的方法一般采用冲洗或泡洗,不仅清洁效率低下,清洗存在死角,清洗不够彻底,工人的劳动强度大,而且清洗的效果较差,清洗用的冲洗水较多,会造成水资源的大量浪费,清洗过后的硅粉与清洗水混合,会涉及到将混合物分离出来,常用的分离装置分离不够彻底,分离效率低下,尤其不利于生产出高纯硅。因此,需要对现有生产线进行改良。
实用新型内容
基于上述现有技术的不足,本实用新型提供一种高纯硅生产线,该高纯硅生产线能够对硅粉进行彻底的清洗、除杂、固液分离及烘干,以便提高产品的纯度和生产效率。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高纯硅生产线,包括提纯设备和烘干设备。
所述提纯设备包括基座、搅拌装置、清洗装置和过滤拦截装置,所述基座的上端设有搅拌装置,所述搅拌装置的上端设有清洗装置,所述清洗装置的出液口固定连接排出管的一端,所述排出管的另一端固定连接过滤拦截装置的入液口,所述排出管的上表面设有第一阀门,所述过滤拦截装置的上端设有水泵,所述水泵的进水口固定连接U型管的一端,所述U型管的另一端固定连接过滤拦截装置的出液口,所述水泵的出水口固定连接输送管的一端,所述输送管的另一端固定连接离心分离器的进液口,所述离心分离器位于基座的上表面,所述离心分离器的出液口固定连接分离排放管道的一端,所述分离排放管道的另一端固定连接重力分离器的进液口,所述分离排放管道的上表面设有第二阀门,所述重力分离器的出液口处设有排放管道,所述排放管道的上表面设有第三阀门。
所述烘干设备包括底座,所述底座的上端四角对称设有支柱,所述支柱的内侧均设有轴承套,所述轴承套的套内均设有转轴,两个转轴的表面套接传送带,所述底座的上端右侧设有电机,电机与右侧支柱对应设置,所述电机的输出轴通过联轴器固定连接转轴,且电机的输出轴与支柱的连接处设有轴承,所述底座的上端左侧设有微波干燥箱,所述底座的上端右侧设有电加热架,所述底座的右侧设有右延伸平台,所述右延伸平台的上端对称设有支撑柱,所述支撑柱的上端均固定连接平台的下表面,所述平台的上端设有开口,平台的上端开口处设有喷雾干燥箱,所述平台的上端一侧设有空气过滤器,所述空气过滤器的出气口通过管道连接旋风机的进风口,旋风机位于平台的上端,所述旋风机的上端设有加热器,所述旋风机的出风口固定连接U型管的一端,所述U型管的另一端与加热器的进风口相连,所述加热器的进风口固定连接加热管道的一端,所述加热管道的另一端固定连接喷雾干燥箱进气口。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述搅拌装置包括隔离圆筒室,所述隔离圆筒室的室内底端设有搅拌电机,所述搅拌电机的转轴和清洗装置内部的搅拌杆通过联轴器连接,搅拌电机的转轴与清洗装置底端连接处设有轴承,在搅拌杆的侧面均匀焊接有搅拌叶片,所述搅拌叶片与清洗装置的内部均存在间隙。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述清洗装置包括清洗室,所述清洗室的外表面上端入料口处设有输料溜槽,所述清洗室的外表面中部设有观察口,所述清洗室的室内顶端通过连接杆设有喷头,所述清洗室的上端中心进液口处设有输液管,输液管的一端贯穿清洗室的室内顶壁并与喷头的入口相连。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述过滤拦截装置包括过滤箱,所述过滤箱位于基座的上表面,所述过滤箱的箱内底端设有沉淀池,所述过滤箱的箱内中部设有过滤网,所述过滤箱的前侧面设有观察窗,所述过滤箱的侧面出液口高度低于过滤网的高度。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述基座的上端设有控制开关组,所述控制开关组电连接外部电源,所述控制开关组电连接水泵、离心分离器、重力分离器和搅拌电机。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述微波干燥箱的箱内四侧面对称设有磁控管,所述微波干燥箱的两侧面均设有方型通孔,且方型通孔的高度与宽度均大于上下传送带的距离与宽度。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述电加热架的内部侧面及顶端均设有加热片,所述电加热架的两侧对称铰接隔热挡片,所述隔热挡片的底端与上端传送带均存在间隙。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述底座的上端右侧通过支撑柱设有出料溜槽,所述出料溜槽的上端低于下侧的传送带,所述出料溜槽的下端出口与喷雾干燥箱的入料口对应设置。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述底座的左侧设有左延伸平台,所述左延伸平台的上端设有物料提升机,所述物料提升机的两侧面设有挡板,所述物料提升机的上端设有输料溜槽,所述输料溜槽铰接有圆型支撑柱,所述输料溜槽的出料端高于上侧的传送带,且与上侧的传送带对应设置,所述左延伸平台的上端设有控制开关组,所述控制开关组电连接外部电源,所述控制开关组电连接电机、磁控管、加热片、物料提升机、空气过滤器、旋风机和加热器。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本高纯硅生产线能够根据需求对硅粉全方位清洗,通过搅拌电机运转,带动搅拌杆及搅拌叶片对硅粉的搅拌,同时喷头喷洒清洗水,做到对硅粉的彻底清洗,减小了工作量,保证了硅粉的生产质量,而且通过过滤拦截装置里过滤网过滤拦截和沉淀池的沉淀、离心分离器的离心分离和重力分离器的重力沉降的三重措施做到清洗后的固液分离,很大程度上提高了硅粉生产效率。另外,本高纯硅生产线可以根据生产需求,利用物料提升机将有机硅放在传送带上,电机驱动,转轴在轴承套上的转动,实现传送带带动有机硅原料经过微波干燥箱的微波干燥,电加热架里加热片的电加热,以及喷雾干燥箱里的喷雾干燥,实现以流水线的形式分层烘干,并且结构及操作简单,极大的降低施工人员的工作量,既保障了有机硅的产品质量,又提升了生产效率。
附图说明
图1为实施例中提纯设备的正面示意图。
图2为实施例中提纯设备的背面示意图。
图3为实施例中提纯设备的内部剖面示意图。
图4为实施例中提纯设备的过滤拦截装置内部示意图。
图5为实施例中烘干设备的正面示意图。
图6为实施例中烘干设备的背面示意图。
图7为实施例中烘干设备的电加热架内部示意图。
图8为实施例中烘干设备的微波干燥箱内部示意图。
图1-4中:1基座、2搅拌装置、3清洗装置、4排出管、5第一阀门、6过滤拦截装置、7水泵、8 U型管、9输送管、10离心分离器、11分离排放管道、12第二阀门、13重力分离器、14排放管道、15第三阀门、16控制开关组、21隔离圆筒室、22搅拌电机、23搅拌杆、24搅拌叶片、31输料溜槽、32输液管、33喷头、34观察口、35清洗室、61过滤箱、62沉淀池、63过滤网、64观察窗。
图5-8中:1底座、2支柱、3轴承套、4转轴、5传送带、6电机、7微波干燥箱、8方型通孔、9磁控管、10电加热架、11隔热挡片、12加热片、13左延伸平台、14物料提升机、15挡板、16输料溜槽、17圆型支撑柱、18右延伸平台、19支撑柱、20平台、21喷雾干燥箱、22空气过滤器、23旋风机、24加热器、25 U型管、26加热管道、27出料溜槽、28控制开关组。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的高纯硅生产线包括提纯设备和烘干设备。请参阅图1-4,所述提纯设备包括基座1、搅拌装置2、清洗装置3和过滤拦截装置6,基座1为上方设备提供支撑与安放场所的作用,搅拌装置2搅拌硅粉,做到硅粉与清洗水最大面积接触,搅动清洗,清洗装置3实现为硅粉清洗提供清洗场所,为清洗设备提供安放场所,过滤拦截装置6起到第一层过滤拦截分离的作用,基座1的上端设有搅拌装置2,搅拌装置2包括隔离圆筒室21,隔离圆筒室21的室内底端设有搅拌电机22,搅拌电机22运转,输出轴带动搅拌杆23及搅拌叶片23转动,搅拌电机22的转轴和清洗装置3内部的搅拌杆23通过联轴器连接,搅拌电机22的转轴与清洗装置3底端连接处设有轴承,在搅拌杆23的侧面均匀焊接有搅拌叶片24,搅拌叶片24转动,实现清洗室35内部的硅粉较大面积接触清洗水,搅拌叶片24与清洗装置3的内部均存在间隙,搅拌装置2的上端设有清洗装置3,清洗装置3包括清洗室35,清洗室35为上方设备提供安放场所,清洗室35的外表面上端入料口处设有输料溜槽31,输料溜槽31便于硅粉的倒入清洗室35,清洗室35的外表面中部设有观察口34,观察口34便于观察清洗室35内清洗状况,清洗室35的室内顶端通过连接杆设有喷头33,喷头33及时喷洒清洗水,清洗室35的上端中心进液口处设有输液管32,输液管32的一端贯穿清洗室35的室内顶壁并与喷头33的入口相连,清洗装置3的出液口固定连接排出管4的一端,排出管4的另一端固定连接过滤拦截装置6的入液口,过滤拦截装置6包括过滤箱61,过滤箱61为过滤设备提供安放场所,过滤箱61位于基座1的上表面,过滤箱61的箱内底端设有沉淀池62,经过第一次过滤拦截的混合物在沉淀池62沉淀处理,过滤箱61的箱内中部设有过滤网63,过滤网63起到第一层过滤拦截的作用,过滤箱61的前侧面设有观察窗64,观察窗64便于观察过滤箱61内部过滤情况,过滤箱61的侧面出液口高度低于过滤网63的高度,排出管4的上表面设有第一阀门5,第一阀门5实现对排出管4打开与关闭,过滤拦截装置6的上端设有水泵7,水泵7运转,将沉淀池62的混合物通过U型管8抽出,通过输送管9抽进离心分离器10内实现离心分离,水泵7的进水口固定连接U型管8的一端,U型管8的另一端固定连接过滤拦截装置6的出液口,水泵7的出水口固定连接输送管9的一端,输送管9的另一端固定连接离心分离器10的进液口,离心分离器10位于基座1的上表面,离心分离器10运转,实现固液离心分离,离心分离器10的出液口固定连接分离排放管道11的一端,分离排放管道11的另一端固定连接重力分离器13的进液口,分离排放管道11的上表面设有第二阀门12,第二阀门12调节分离排放管道11的打开与闭合,重力分离器13的出液口处设有排放管道14,重力分离器13实现固液重力沉降,经过多次分离后的固液物经过排放管道14分别排出到外界,排放管道14的上表面设有第三阀门15,第三阀门15调节排放管道14的打开与闭合,基座1的上端设有控制开关组16,控制开关组16调节各设备正常运转,控制开关组16电连接外部电源,水泵7、离心分离器10、重力分离器13和搅拌电机22均电连接控制开关组16,控制开关组16上设有用于控制水泵7、离心分离器10、重力分离器13和搅拌电机22的开关按钮。
在使用时:将硅粉通过输料溜槽31倒入清洗室35内,通过控制开关组16调节,搅拌电机22运转,输出轴带动搅拌杆23及搅拌叶片23转动,同时,喷头33及时喷洒清洗水,实现清洗室35内部的硅粉较大面积接触清洗水,搅拌清洗硅粉,操作者通过观察口34观察清洗室35内清洗状况,清洗完毕后的固液混合物,打开第一阀门5实现对排出管4打开,混合物流入过滤拦截装置6中,通过过滤网63实现第一层过滤拦截,经过第一次过滤拦截的混合物在沉淀池62沉淀处理,操作者通过观察窗64观察过滤箱61内部过滤情况,泵7运转,将沉淀池62的混合物通过U型管8抽出,通过输送管9抽进离心分离器10内实现离心分离,离心分离完毕后,打开第二阀门12调节分离排放管道11的打开,重力分离器13实现固液重力沉降,经过多次分离后的固液物经过排放管道14分别排出到外界,多次固液分离后,各设备恢复原样即可。
本实用新型能够根据需求对硅粉全方位清洗,通过搅拌电机22运转,带动搅拌杆23及搅拌叶片24对硅粉的搅拌,同时喷头33喷洒清洗水,做到对硅粉的彻底清洗,减小了工作量,保证了硅粉的生产质量,而且通过过滤拦截装置6里过滤网63的过滤拦截和沉淀池62的沉淀、离心分离器10的离心分离和重力分离器13的重力沉降的三重措施做到清洗后的固液分离,很大程度上提高了硅粉生产效率。
请参阅图5-8,所述烘干设备包括底座1,底座1为上方设备的安放提供场所,底座1的上端四角对称设有支柱2,支柱2为轴承套3的安放提供场所,也为电机6驱动转轴4及传输带5转动提供支撑平台,支柱2的内侧均设有轴承套3,轴承套3为转轴4的转动提供保障,轴承套3的套内均设有转轴4,转轴4转动,实现传送带5的转动,两个转轴4的表面套接传送带5,底座1的上端右侧设有电机6,电机6驱动,输出轴转动带动转轴4在轴承套3上的转动,实现传送带5带动有机硅原料运输,电机6与右侧支柱2对应设置,电机6的输出轴通过联轴器固定连接转轴4,且电机6的输出轴与支柱2的连接处设有轴承,底座1的上端左侧设有微波干燥箱7,微波干燥箱7为里面设备提供安放场所,微波干燥箱7的箱内四侧面对称设有磁控管9,磁控管9产生高频波,促使水分子高速轮摆运动,进而彼此相互摩擦产热散去,微波干燥箱7的两侧面均设有方型通孔8,方型通孔8便于传送带5承载原料进入微波干燥箱7内部干燥,且方型通孔8的高度与宽度均大于上下传送带5的距离与宽度,底座1的上端右侧设有电加热架10,电加热架10为上方设备提供安放场所,电加热架10的内部侧面及顶端均设有加热片12,加热片12运转,实现电加热,促使水分子蒸发散去,进而达到干燥的效果,电加热架10的两侧对称铰接隔热挡片11,隔热挡片11避免电加热架10内部热量过早过快散去,隔热挡片11的底端与上端传送带5均存在间隙,底座1的右侧设有右延伸平台18,右延伸平台18起到支撑平台的作用,右延伸平台18的上端对称设有支撑柱19,支撑柱19起到支撑平台20及上方设备的作用,支撑柱19的上端均固定连接平台20的下表面,平台20的上端设有开口,平台20的上端开口处设有喷雾干燥箱21,喷雾干燥箱21为喷雾干燥的实现提供场所,平台20的上端一侧设有空气过滤器22,空气过滤器22实现对外部抽进的气体过滤的作用,保障产品的生产质量,空气过滤器22的出气口通过管道连接旋风机23的进风口,旋风机23加快空气的流动,将过滤的空气抽进加热器24内加热处理,旋风机23位于平台20的上端,旋风机23的上端设有加热器24,加热器24运转,实现对空气加热处理,旋风机23的出风口固定连接U型管25的一端,U型管25起到输送空气的作用,U型管25的另一端与加热器24的进风口相连,加热器24的进风口固定连接加热管道26的一端,加热管道26起到输送加热的气体的作用,加热管道26的另一端固定连接喷雾干燥箱21进气口,底座1的上端右侧通过支撑柱设有出料溜槽27,出料溜槽27便于传送带5上原料顺利进入喷雾干燥箱21里,出料溜槽27的上端低于下侧的传送带5,出料溜槽27的下端出口与喷雾干燥箱21的入料口对应设置,底座1的左侧设有左延伸平台13,左延伸平台13为上方设备提供支撑的作用,左延伸平台13的上端设有物料提升机14,物料提升机14便于将原料传送至传送带5上,物料提升机14的两侧面设有挡板15,挡板15避免原料散落,物料提升机14的上端设有输料溜槽16,物料提升机14采用现有技术,输料溜槽16便于原料顺利落在传送带5上,输料溜槽16铰接有圆型支撑柱17,圆型支撑柱17起到输料溜槽16的作用,支撑输料溜槽16的出料端高于上侧的传送带5,且与上侧的传送带5对应设置,左延伸平台13的上端设有控制开关组28,控制开关组28调控各设备正常运转,控制开关组28电连接外部电源,电机6、磁控管9、加热片12、物料提升机14、空气过滤器22、旋风机23和加热器24均电连接控制开关组28,控制开关组28上设有与电机6、磁控管9、加热片12、物料提升机14、空气过滤器22、旋风机23和加热器24一一对应的开关按钮。
在使用时:将有机硅原料放在物料提升机14上,物料提升机14将原料通过输料溜槽16传送至传送带5上,在控制开关组28的调控下,电机6驱动,输出轴转动带动转轴4在轴承套3上的转动,实现传送带5带动有机硅原料运输,原料通过方型通孔8进入微波干燥箱7里,在磁控管9作用下,产生高频波,促使水分子高速轮摆运动,进而彼此相互摩擦产热散去,从而达到第一步烘干处理,之后传送带5带动有机硅原料运输至电加热架10内,加热片12运转,实现电加热,促使水分子蒸发散去,进而达到干燥的效果,之后通过出料溜槽27将原料从喷雾干燥箱21的入口放入,与此同时,空气过滤器22运转,实现对外部抽进的气体过滤的作用,旋风机23加快空气的流动,将过滤的空气抽进加热器24内加热处理,加热器24运转,实现对空气加热处理,热流空气通过加热管道26输送至喷雾干燥箱21中,与原料接触实现烘干处理,烘干的原料通过喷雾干燥箱21下端排放口排出,烘干完毕后,各设备恢复原样即可。
本实用新型根据生产需求,利用物料提升机14将有机硅放在传送带5上,电机6驱动,输出轴转动带动转轴4在轴承套3上的转动,实现传送带5带动有机硅原料经过微波干燥箱7的微波干燥,电加热架10里加热片12的电加热,以及喷雾干燥箱21里的喷雾干燥,实现以流水线的形式分层烘干,并且结构及操作简单,极大的降低施工人员的工作量,既保障了有机硅的产品质量,又提升了生产效率。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种高纯硅生产线,包括提纯设备和烘干设备,其特征在于:所述提纯设备包括基座、搅拌装置、清洗装置和过滤拦截装置,所述基座的上端设有搅拌装置,所述搅拌装置的上端设有清洗装置,所述清洗装置的出液口固定连接排出管的一端,所述排出管的另一端固定连接过滤拦截装置的入液口,所述排出管的上表面设有第一阀门,所述过滤拦截装置的上端设有水泵,所述水泵的进水口固定连接U型管的一端,所述U型管的另一端固定连接过滤拦截装置的出液口,所述水泵的出水口固定连接输送管的一端,所述输送管的另一端固定连接离心分离器的进液口,所述离心分离器位于基座的上表面,所述离心分离器的出液口固定连接分离排放管道的一端,所述分离排放管道的另一端固定连接重力分离器的进液口,所述分离排放管道的上表面设有第二阀门,所述重力分离器的出液口处设有排放管道,所述排放管道的上表面设有第三阀门;
所述烘干设备包括底座,所述底座的上端四角对称设有支柱,所述支柱的内侧均设有轴承套,所述轴承套的套内均设有转轴,两个转轴的表面套接传送带,所述底座的上端右侧设有电机,电机与右侧支柱对应设置,所述电机的输出轴通过联轴器固定连接转轴,且电机的输出轴与支柱的连接处设有轴承,所述底座的上端左侧设有微波干燥箱,所述底座的上端右侧设有电加热架,所述底座的右侧设有右延伸平台,所述右延伸平台的上端对称设有支撑柱,所述支撑柱的上端均固定连接平台的下表面,所述平台的上端设有开口,平台的上端开口处设有喷雾干燥箱,所述平台的上端一侧设有空气过滤器,所述空气过滤器的出气口通过管道连接旋风机的进风口,旋风机位于平台的上端,所述旋风机的上端设有加热器,所述旋风机的出风口固定连接U型管的一端,所述U型管的另一端与加热器的进风口相连,所述加热器的进风口固定连接加热管道的一端,所述加热管道的另一端固定连接喷雾干燥箱进气口。
2.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述搅拌装置包括隔离圆筒室,所述隔离圆筒室的室内底端设有搅拌电机,所述搅拌电机的转轴和清洗装置内部的搅拌杆通过联轴器连接,搅拌电机的转轴与清洗装置底端连接处设有轴承,在搅拌杆的侧面均匀焊接有搅拌叶片,所述搅拌叶片与清洗装置的内部均存在间隙。
3.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述清洗装置包括清洗室,所述清洗室的外表面上端入料口处设有输料溜槽,所述清洗室的外表面中部设有观察口,所述清洗室的室内顶端通过连接杆设有喷头,所述清洗室的上端中心进液口处设有输液管,输液管的一端贯穿清洗室的室内顶壁并与喷头的入口相连。
4.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述过滤拦截装置包括过滤箱,所述过滤箱位于基座的上表面,所述过滤箱的箱内底端设有沉淀池,所述过滤箱的箱内中部设有过滤网,所述过滤箱的前侧面设有观察窗,所述过滤箱的侧面出液口高度低于过滤网的高度。
5.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述基座的上端设有控制开关组,所述控制开关组电连接外部电源,所述控制开关组电连接水泵、离心分离器、重力分离器和搅拌电机。
6.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述微波干燥箱的箱内四侧面对称设有磁控管,所述微波干燥箱的两侧面均设有方型通孔,且方型通孔的高度与宽度均大于上下传送带的距离与宽度。
7.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述电加热架的内部侧面及顶端均设有加热片,所述电加热架的两侧对称铰接隔热挡片,所述隔热挡片的底端与上端传送带均存在间隙。
8.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述底座的上端右侧通过支撑柱设有出料溜槽,所述出料溜槽的上端低于下侧的传送带,所述出料溜槽的下端出口与喷雾干燥箱的入料口对应设置。
9.根据权利要求1所述的高纯硅生产线,其特征在于:所述底座的左侧设有左延伸平台,所述左延伸平台的上端设有物料提升机,所述物料提升机的两侧面设有挡板,所述物料提升机的上端设有输料溜槽,所述输料溜槽铰接有圆型支撑柱,所述输料溜槽的出料端高于上侧的传送带,且与上侧的传送带对应设置,所述左延伸平台的上端设有控制开关组,所述控制开关组电连接外部电源,所述控制开关组电连接电机、磁控管、加热片、物料提升机、空气过滤器、旋风机和加热器。
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CN113353938A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-09-07 | 湖北麦格森特新材料科技有限公司 | 一种高纯硅的提纯工艺方法 |
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Granted publication date: 20171229 Termination date: 20190520 |
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