CN206780703U - 一种单晶硅棒脱胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅棒脱胶装置，包括脱胶缸，脱胶缸上端左侧连接有弹性绳，弹性绳右端连接有过滤网，过滤网右端连接有牵引绳，牵引绳右端连接有牵引轮，牵引轮之间连接有牵引轴，牵引轴一端连接有牵引电机，过滤网下端设有喷水管，喷水管后端连接有分流管，分流管中部连接有引水管，引水管连接有加热器，脱胶缸底端内壁设有振动罩，脱胶缸底端外部设有超声波换能器，脱胶缸底端中部连接有出水口。本实用新型，实现着整个单晶硅棒在脱胶缸中的左右移动，同时通过喷水管喷出的高压热水加快了胶体从单晶硅棒上的脱离，实用性强，满足了单晶硅棒生产的需要，大大增加了切割后硅片的质量。

Description

一种单晶硅棒脱胶装置

技术领域

本实用新型涉及硅棒生产技术领域，具体是一种单晶硅棒脱胶装置。

背景技术

在电子元件的生产工艺中，我们会需要使用到单晶硅片，它是在通过滚磨、倒角后的单晶硅棒上切割出来的，而单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的，所述单晶硅棒是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。

由于在单晶硅棒或多晶硅块截断工艺时切割下来的硅棒长短不一，影响后续的整体切割工艺。所以在单晶硅棒开方前，单晶方棒或多晶硅块粘胶时，需要将两根短棒拼接成一根长棒，以提升切割出片率及切片效果。在单晶棒粘贴完成后，会有大量的胶体附着在单晶硅棒表面，若是不及时进行清除，会严重影响着切割够硅片的质量，因此，设计出一种可高效将单晶硅片上的胶体进行脱胶装置就变得十分必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒脱胶装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶硅棒脱胶装置，包括脱胶缸，所述脱胶缸上端左侧连接有弹性绳，弹性绳右端连接有过滤网，过滤网右端连接有牵引绳，牵引绳右端连接有牵引轮，所述牵引轮之间连接有牵引轴，牵引轴一端连接有牵引电机，所述过滤网下端设有喷水管，喷水管后端连接有分流管，分流管中部连接有引水管，引水管连接有加热器，所述脱胶缸底端内壁设有振动罩，所述脱胶缸底端外部设有超声波换能器，所述脱胶缸底端中部连接有出水口。

作为本实用新型进一步的方案：所述牵引电机为双转向步进电机。

作为本实用新型进一步的方案：所述超声波换能器连接有超声波发生器。

作为本实用新型进一步的方案：所述脱胶缸右侧上端连接有导向轮。

作为本实用新型进一步的方案：所述喷水管中部均匀设有喷水孔。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热器连接有进水管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

所述一种单晶硅棒脱胶装置，结构合理，设计新颖，通过设有的过滤网和牵引绳实现着整个单晶硅棒在脱胶缸中的左右移动，同时通过喷水管喷出的高压热水加快了胶体从单晶硅棒上的脱离，实用性强，满足了单晶硅棒生产的需要，大大增加了切割后硅片的质量。

附图说明

图1为一种单晶硅棒脱胶装置的结构示意图。

图2为一种单晶硅棒脱胶装置的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型实施例中，一种单晶硅棒脱胶装置，包括脱胶缸1，所述脱胶缸1右侧上端连接有导向轮4，用于对牵引绳11的作用移动起到限位导向作用，所述脱胶缸1上端左侧连接有弹性绳11，弹性绳11右端连接有过滤网2，过滤网2右端连接有牵引绳3，牵引绳3右端连接有牵引轮13，用于带动牵引绳13的转动，从而使得过滤网2左右来回移动，所述牵引轮13之间连接有牵引轴12，牵引轴12一端连接有牵引电机5，牵引电机5为双转向步进电机，从而使得牵引轴12来回双反向转动，所述过滤网2下端设有喷水管7，喷水管7后端连接有分流管9，喷水管7中部均匀设有喷水孔，分流管9中部连接有引水管14，引水管14连接有加热器15，从而对进入到脱胶缸1中的热水进行加热，加热器15连接有进水管，所述脱胶缸1底端内壁设有振动罩6，所述脱胶缸1底端外部设有超声波换能器10，从而使得振动罩6高频振动，超声波换能器10连接有超声波发生器，所述脱胶缸1底端中部连接有出水口8。

所述一种单晶硅棒脱胶装置，工作时，将需要脱胶的单晶硅棒放入到过滤网 2中，通过进水管的作用使得喷水管7喷出水，同时通过加热器15的作用对喷出的水进行加热，从而增加了脱胶效果，于此同时，往清洗缸1中加入乳酸，增加着单晶棒的脱胶速度，在单晶棒的脱胶过程中，通过牵引电机5使得过滤网2 来回移动，既使得硅胶棒之间相互碰撞增加脱胶效果，同时也使得脱胶后的胶体沉到脱胶缸1底端，于此同时，振动罩6在超声波换能器10的作用下高频振动，使得水中产生大量的气泡，大大增加了脱胶效果，待脱胶完成后，打开出水口8 将污水排出，整个过程操作简单，实用性强。本实用新型，结构合理，设计新颖，通过设有的过滤网2和牵引绳3实现着整个单晶硅棒在脱胶缸1中的左右移动，同时通过喷水管7喷出的高压热水加快了胶体从单晶硅棒上的脱离，实用性强，满足了单晶硅棒生产的需要，大大增加了切割后硅片的质量。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种单晶硅棒脱胶装置，包括脱胶缸(1)，其特征在于，所述脱胶缸(1)上端左侧连接有弹性绳(11)，弹性绳(11)右端连接有过滤网(2)，过滤网(2)右端连接有牵引绳(3)，牵引绳(3)右端连接有牵引轮(13)，所述牵引轮(13)之间连接有牵引轴(12)，牵引轴(12)一端连接有牵引电机(5)，所述过滤网(2)下端设有喷水管(7)，喷水管(7)后端连接有分流管(9)，分流管(9)中部连接有引水管(14)，引水管(14)连接有加热器(15)，所述脱胶缸(1)底端内壁设有振动罩(6)，所述脱胶缸(1)底端外部设有超声波换能器(10)，所述脱胶缸(1)底端中部连接有出水口(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒脱胶装置，其特征在于，所述牵引电机(5)为双转向步进电机。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒脱胶装置，其特征在于，所述超声波换能器(10)连接有超声波发生器。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒脱胶装置，其特征在于，所述脱胶缸(1)右侧上端连接有导向轮(4)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒脱胶装置，其特征在于，所述喷水管(7)中部均匀设有喷水孔。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒脱胶装置，其特征在于，所述加热器(15)连接有进水管。