CN206757298U - 一种烘干装置、光刻设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种烘干装置、光刻设备，涉及显示技术领域，用于降低烘干装置内的气体与外部空气接触的几率。该烘干装置包括具有传送开口的腔室壁、以及可关合所述传送开口的腔室门。烘干装置还包括位于腔室壁与所述腔室门所围成的腔室内的气体循环导向件，气体循环导向件设置于传送开口位置处的上侧和/或下侧；气体循环导向件包括抽风器件，抽风器件用于将由气体循环导向件的气体入口进入的气体抽送至气体循环导向件的气体出口，气体循环导向件用于将传送开口位置处的气体导向至腔室内。烘干装置可用于对光刻胶进行后烘工序。

Description

一种烘干装置、光刻设备

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种烘干装置、光刻设备。

背景技术

在制备薄膜晶体管(英文：Thin Film Transistor；简称：TFT)阵列基板的过程中，需要经过涂覆光刻胶(英文名称：Photoresist，英文简称：PR)、前烘、曝光、显影和后烘(Hard Bake)等光刻工序。其中，后烘工序用于在高温下蒸发光刻胶中的溶剂，并提高光刻胶图案与基板之间的密着性。

通常，在如图1a所示的烘干设备(英文名称：Oven)中进行上述后烘工序。在后烘工序中，光刻胶内部的亚克力与苯(英文名称：Benzene)等成分在高温环境下会气化，气化形成的气体与腔室(英文名称：Chamber)10内的热风一起循环。

如图1b所示，在打开腔室门20，以将基板30，例如玻璃基板(英文名称：Glass)通过搬运机器人40(英文名称：Robot)传入或移出至腔室10内时，腔室10内热风会向外流出，上述气化形成的气体也会向腔室10外渗出，当该气体与外界的冷空气接触时，会迅速形成凝华物50，该凝华物50贴附在腔室门20上下两侧的腔室壁11上。当烘干设备长期使用时，腔室门20上下两侧的腔室壁11上会集中出现凝华物50。这样一来，如图1c所示，在基板30的传输过程中，上述凝华物50易掉落在基板30上，使得后烘工序形成的光刻胶受到污染，进而降低了通过后烘工序形成的基板30的良率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种烘干装置、光刻设备，用于降低烘干装置内的气体与外部空气接触的几率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例的一方面，提供一种烘干装置，包括具有传送开口的腔室壁、以及可关合所述传送开口的腔室门，还包括：位于所述腔室壁与所述腔室门所围成的腔室内的气体循环导向件，所述气体循环导向件设置于所述传送开口位置处的上侧和/或下侧；所述气体循环导向件包括抽风器件，所述抽风器件用于将由所述气体循环导向件的气体入口进入的气体抽送至所述气体循环导向件的气体出口，所述气体循环导向件用于将所述传送开口位置处的气体导向至所述腔室内。

可选的，气体循环导向件还包括：设置在所述传送开口位置处上侧的第一气体循环管，所述第一气体循环管内设置有所述抽风器件；和/或，设置在所述传送开口位置处下侧的第二气体循环管，所述第二气体循环管内设置有所述抽风器件。

进一步的，所述第一气体循环管、所述第二气体循环管的出口尺寸小于入口尺寸。

可选的，所述第一气体循环管的出口朝向所述腔室的顶面，入口朝向所述腔室的底面；所述第二气体循环管的入口朝向所述腔室的顶面，出口朝向所述腔室的底面，或，所述第二气体循环管的入口朝向所述腔室的底面，出口背离具有所述传送开口的腔室侧壁。

可选的，所述第一气体循环管与所述第二气体循环管的入口宽度大于或等于所述传送开口高度的二分之一。

可选的，所述抽风器件为抽风风扇。

可选的，所述烘干装置还包括设置在所述腔室壁内的供热组件，所述供热组件包括导热件以及吹风风扇。

可选的，所述烘干装置还包括排风管道，所述腔室壁上设置有排风口，所述排风管道与所述排风口相连接。

可选的，所述烘干装置的一腔室壁上设置有多个传送开口，所述腔室门的个数为多个，所述一腔室门可关合一传送开口；其中，所述腔室壁与多个所述腔室门围成多个腔室。

本实用新型实施例的另一方面，提供一种光刻设备，包括如上所述的任一种烘干装置。

本实用新型实施例提供一种烘干装置、光刻设备，该烘干装置包括具有传送开口的腔室壁与可关合上述传送开口的腔室门，其中，上述腔室壁与腔室门围成腔室。该烘干装置还包括位于上述腔室内的气体循环导向件，该气体循环导向件设置在传送开口位置处的上侧和/或下侧，用于将传送开口位置处的气体导向至腔室内。进一步的，上述气体循环导向件包括抽风器件，该抽风器件用于将由气体循环导向件的气体入口进入的气体抽送至气体循环导向件的气体出口。

这样一来，采用上述烘干装置对光刻胶进行后烘时，当打开腔室门，将涂覆有光刻胶的基板通过搬运机器人由上述传送开口传入上述腔室内时，由于在传送开口位置的上侧(或者下侧、上下侧)设置有包括抽风器件的气体循环导向件，因此传送开口处的气体可以被抽风器件从气体循环导向件的气体入口抽送至气体出口，从而将传送开口处的气体导向至腔室内，进而减少了腔室内通过传送开口流向腔室外的气体的量，因此可以降低腔室内的气体与外界空气接触的几率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1a-1c为使用现有技术中的烘干设备进行后烘工序时，产生凝华物并对基板造成影响的过程示意图；

图2a-2c为本实用新型实施例提供的烘干装置的结构示意图一至三；

图3为图2a所示的烘干装置的具体结构示意图；

图4为图3所示的烘干装置中的第一气体循环管的结构示意图；

图5a为图2b所示的烘干装置的一种具体结构示意图；

图5b为图2b所示的烘干装置的另一种具体结构示意图；

图6为图2c所示的烘干装置的一种具体结构示意图；

图7为图2c所示的烘干装置的另一种具体结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的烘干装置的结构示意图四；

图9为本实用新型实施例提供的烘干装置的结构示意图五。

附图标记：

01-烘干装置；10-腔室；11-腔室壁；111-腔室侧壁；20-腔室门；21-气体循环导向件；211-抽风器件；30-基板；31-第一气体循环管；32-第二气体循环管；40-搬运机器人；50-凝华物；60-排风管道；61-排风口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供如图2a所示的一种烘干装置01，该烘干装置01包括具有传送开口A的腔室壁11、以及可关合上述传送开口A的腔室门20。其中，腔室壁11与腔室门20形成腔室10。

在此基础上，该烘干装置01还包括位于腔室10内的气体循环导向件21，气体循环导向件21用于将传送开口A位置处的气体导向至腔室10内。其中，气体循环导向件21可以如图2a所示，设置于传送开口A位置处的上侧；或者如图2b所示，气体循环导向件21设置于传送开口A位置处的下侧；又或者如图2c所示，气体循环导向件21设置于传送开口A位置处的上侧和下侧。

需要说明的是，本领域技术人员可以清楚的知道，上述传送开口A位置处的上侧是指腔室10内靠近腔室门20的一侧，且位于传送开口A位置上侧的位置。其中，所谓气体循环导向件21设置于靠近腔室门20的一侧可以是，气体循环导向件21设置在具有传送开口A的腔室侧壁111上，也可以是气体循环导向件21与腔室侧壁111之间具有间隙，本领域技术人员可以理解该间隙越小，气体循环导向件21对传送开口A处气体的导流作用的效果会越好，本实施例中只要相比于现有技术可起到阻碍腔室10内部气体外流的作用即可。另外，需要说明的是，位于传送开口A位置上侧的位置，并不限定气体循环导向件21的下端必须高于传送开口A的上边沿，只要不阻挡待基板30进入腔室10即可。同理，传送开口A位置处的下侧位置可参考该描述，此处不再赘述。

在此基础上，如图2a、图2b、或图2c所示，气体循环导向件21包括抽风器件211。其中，抽风器件211用于将由气体循环导向件21的气体入口进入的气体抽送至气体循环导向件21的气体出口，从而提高气体循环导向件21将传送开口A处的气体导向至腔室10内的能力。

需要说明的是，当气体循环导向件21仅包括抽风器件211时，抽风器件211的进风侧为上述气体循环导向件21的气体入口，出风侧为上述气体循环导向件21的气体出口。本实用新型对抽风器件的结构不做限定，只要通过抽风器件21可以将气体循环导向件21的气体入口进入的气体抽送至气体循环导向件21的气体出口，以为腔室10内的气体循环提供动力，从而减少传送开口A处的气体向腔室10外流动。示例的，如图3所示，上述抽风器件211可以为抽风风扇。

基于此，烘干装置01包括具有传送开口A的腔室壁11和可关合上述传送开口A的腔室门20，其中，腔室壁11与腔室门20围成腔室10。该烘干装置01还包括位于上述腔室10内的气体循环导向件21，气体循环导向件21包括抽风器件211，抽风器件211将气体循环导向件21的气体入口处的空气抽送至气体出口。

这样一来，采用上述烘干装置01对光刻胶进行烘干时，如图2a所示，当打开腔室门20，将涂覆有光刻胶的基板30通过搬运机器人40由上述传送开口A传入上述腔室10内时，由于在传送开口A位置的上侧(或者下侧、上下侧)设置有包括抽风器件211的气体循环导向件21，因此传送开口A处的气体可以被抽风器件211从气体循环导向件21的气体入口抽送至气体出口，从而将传送开口A处的气体导向至腔室10内，进而减少了腔室10内通过传送开口A流向腔室10外的气体的量，因此可以降低腔室10内的气体与外界空气接触的几率。

在此基础上，当腔室10内的热风流向腔室10外时，为了保证腔室10保持后烘工序所需的温度，需要提高烘干装置01的运行功率以提供热量，从而增加了烘干装置01的运行费用。本实用新型实施例提供的烘干装置01，可以降低腔室10内的热风流向腔室10外的几率，因此降低了烘干装置01的热量流失，从而降低了烘干装置01的运行费用。

此外，当腔室10内的气体与外界空气相接触时，会产生凝华物50，该凝华物50会对烘干装置01造成污染，为了避免该凝华物50对基板30造成污染，影响通过后烘工序形成的基板30的良率，需要经常对烘干装置01进行清洗，在该过程中会消耗一定的时间与劳动力，从而降低了烘干装置01的产能。

由于本实用新型提供的烘干装置01可以降低腔室10内的气体与外界空气接触的几率，因此可以减少凝华物50的产生，从而减少凝华物50对烘干装置01造成的污染，并提高通过后烘工序形成的基板的良率。此外，还可以减少清洗烘干装置01的时间以及劳动力的使用，从而可以提高烘干装置01的产能。

当然，本实用新型实施例提供的烘干装置01除了可以进行光刻胶的后烘工序，还可以应用于其他烘干工序，例如对光刻胶的前烘工序，或者对制作阵列基板中的其他膜层进行固化，此处仅以烘干装置01用于进行光刻胶的后烘工序进行说明，当应用于其他工序时，有益效果的分析可以参考上述描述，此处不再赘述。

以下结合气体循环导向件21的设置位置，对气体循环导向件21的结构进行具体的举例说明。

例如，气体循环导向件21包括设置在传送开口A位置处上侧的，如图3所示的第一气体循环管31，第一气体循环管31内设置有抽风器件211。

需要说明的是，上述第一气体循环管31的入口为气体循环导向件21的气体入口，出口为气体循环导向件21的气体出口。

此外，腔室10内的热气流通常处于上升状态，因此腔室10内的气体在靠近传送开口A一侧的流动方向为：由腔室10的底面D指向顶面C。在此基础上，为了有助于将传送开口A处的气体吸入第一气体循环管31内，如图3所示，第一气体循环管31的出口朝向腔室10的顶面C，入口朝向腔室10的底面D。

基于此，当打开腔室门20时，第一气体循环管31内的抽风器件211将传送开口A处的气体抽送至第一气体循环管31中，上述气体被第一气体循环管31导入至腔室10内。

在此基础上，根据伯努利原理可知，在一管道中，气体在管径细的部分的流动速度大于管径粗的部分的流动速度，且流动速度快的部分的压力较小，从而在同一管道内，气体会由管径粗的一端向管径细的一端流动。

结合上述，可选的，上述第一气体循环管31的出口尺寸小于入口尺寸。这样一来，气体在第一气体循环管31的出口处的流动速度大于入口处的流动速度，因此气体在第一气体循环管31中的流动更舒畅，从而增加第一气体循环管31对传送开口A处的气体的吸引力。

需要说明的是，上述出口尺寸小于入口尺寸是指，第一气体循环管31的出口的截面积小于入口的截面积。本实用新型对第一气体循环管31的出口尺寸小于入口尺寸的设置方式不做限定。示例的，如图4所示，第一气体循环管31的出口长度N和入口长度I相等时，第一气体循环管31的出口宽度H小于入口宽度L，以使得出口尺寸小于入口尺寸。

或者例如如图5a所示，气体循环导向件21包括设置在传送开口A位置处下侧的第二气体循环管32，第二气体循环管32内设置有抽风器件211。

在此基础上，可选的，如图5a所示，第二气体循环管32的入口朝向腔室10的顶面C，出口朝向腔室10的底面D。

在此情况下，当打开腔室门20时，第二气体循环管32内的抽风器件211将传送开口A处的气体抽送至第二气体循环管32中，上述气体被第一气体循环管32导入至腔室10内。

又或者可选的，如图5b所示，第二气体循环管32的入口朝向腔室10的底面D，出口背离具有传送开口A的腔室侧壁111。

在此情况下，由于第二气体循环管32的出口背离具有传送开口A的腔室侧壁111，因此由第二气体循环管32出口流出的气体向背离传送开口A的一侧流动，进而使得传送开口A处的气体向背离传送开口A的一侧流动，从而可以减少由传送开口A流出腔室10的气体。

在此基础上，第二气体循环管32的出口尺寸小于入口尺寸，其有益效果与第一气体循环管31为该结构时相同，此处不再赘述。

此外，气体循环导向件21可以如图6所示，包括设置在传送开口A位置处上侧的第一气体循环管31，以及设置在传送开口A位置处下侧的第二气体循环管32，其中，第一气体循环管31与第二气体循环管32内均设置有抽风器件211。

可选的，如图6所示，第一气体循环管31、第二气体循环管32的出口尺寸小于入口尺寸，其有益效果分析可以参考第一气体循环管31为该结构时的有益效果相同，此处不再赘述。

在此情况下，当如图6所示，第一气体循环管31的出口朝向腔室10的顶面C，入口朝向腔室10的底面D；第二气体循环管32的入口朝向腔室10的底面D，出口背离具有传送开口A的腔室侧壁111时，在打开腔室门20，将涂覆有光刻胶的基板30由传送开口A移入腔室10时，基板30将传送开口A分为上下两部分，此时，传送开口A上部的气体由位于第一气体循环管31内的抽风器件211抽送至第一气体循环管31的出口，从而将该气体导入至腔室10内；由第二气体循环管32出口流出的气体向背离传送开口A的一侧流动，进而使得位于传送开口A下部的气体向背离传送开口A的一侧流动，从而将传送开口A下部的气体导入至腔室10内。

当如图7所示，第一气体循环管31的出口朝向腔室10的顶面C，入口朝向腔室10的底面D；第二气体循环管32的入口朝向腔室10的顶面C，出口朝向腔室10的底面D时，此时与图6上述结构的工作原理不同的是，传送开口A下部的气体由位于第二气体循环管31内的抽风器件211抽送至第二气体循环管32的出口，从而将该气体导入至腔室10内。

此外，本实用新型对第一气体循环管31以及第二气体循环管32的设置数目不做限定。为了尽可能多的阻挡腔室10内的气体外流，示例的，可以在腔室10中，设置沿传送开口A的上边沿排列的多个第一气体循环管31，和/或沿传送开口A的下边沿排列的多个第二气体循环管32，其中，全部或部分第一气体循环管31与第二气体循环管32中设置有抽风风扇。

又示例的，在腔室10内设置一个第一气体循环管31与一个第二气体循环管32。此时，第一气体循环管31的长边沿传送开口A的上边沿设置，第一气体循环管31的长边的长度N可以大于或等于传送开口A的上边沿的二分之一；进一步可选的，可以大于或等于传送开口A的上边沿的3/4；进一步可选的，可以与传送开口A的上边沿长度相等。第二气体循环管32的设置方式可参考第一气体循环管31，此处不再赘述。

在此基础上，为了提高气体循环导向件21将传送开口A处的气体导向至腔室10内的能力，优选的，如图7所示，第一气体循环管31与第二气体循环管32的入口宽度L大于或等于传送开口A的高度M的二分之一。在此情况下，当基板30将传送开口A分为上下两部分时，第一气体循环管31与第二气体循环管32可以尽可能多的将传送开口A上、下部的气体导入至腔室10内。

在此基础上，可选的，烘干装置01还包括设置在腔室壁11内的供热组件，供热组件包括导热件以及吹风风扇。在此情况下，在烘干装置01开启时，加热导热件，吹风风扇将导热件的热量吹向腔室10内，以使得腔室10内的温度达到后烘工序所需的温度。示例的，上述导热件可以为导热丝。

此外，在对光刻胶进行后烘工序时，且随着腔室10内温度的不断提高，腔室10的压力也会越来越大，从而不利于保证光刻胶进行后烘工序后的良率。

结合上述，为了保证腔室10的温度和压力处于有利于进行后烘工序的范围内，如图8所示，烘干装置01还包括排风管道60，腔室壁11上设置有排风口61，排风管道60与排风口61相连接。在此情况下，在烘干装置01的使用过程中，腔室10内的热风可以通过排风口61由排风管道60排出腔室10外，从而使得腔室10内的温度和压力始终保持在一合理范围内。

此外，为了提高上述烘干装置01的工作效率，可选的，如图9所示，烘干装置01的一腔室壁11上设置有多个传送开口A，且烘干装置01具有多个腔室门20。其中，一腔室门20可关合一传送开口A，上述腔室壁11与多个腔室门20围成多个腔室10。在此情况下，当采用上述烘干装置01对光刻胶进行烘干时，可以在多个腔室10中对多个涂覆有光刻胶的基板30分别进行后烘工序，从而提高了烘干装置01的工作效率。

本实用新型实施例提供一种光刻设备，包括如上所述的烘干装置01，具有与前述实施例提供的烘干装置01相同的结构和有益效果，由于前述实施例已经对该烘干装置01的结构和有益效果进行了详细的描述，此处不再赘述。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种烘干装置，包括具有传送开口的腔室壁、以及可关合所述传送开口的腔室门，其特征在于，还包括：位于所述腔室壁与所述腔室门所围成的腔室内的气体循环导向件，所述气体循环导向件设置于所述传送开口位置处的上侧和/或下侧；

所述气体循环导向件包括抽风器件，所述抽风器件用于将由所述气体循环导向件的气体入口进入的气体抽送至所述气体循环导向件的气体出口，所述气体循环导向件用于将所述传送开口位置处的气体导向至所述腔室内。

2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述气体循环导向件还包括：设置在所述传送开口位置处上侧的第一气体循环管，所述第一气体循环管内设置有所述抽风器件；

和/或，设置在所述传送开口位置处下侧的第二气体循环管，所述第二气体循环管内设置有所述抽风器件。

3.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于，所述第一气体循环管、所述第二气体循环管的出口尺寸小于入口尺寸。

4.根据权利要求2或3所述的烘干装置，其特征在于，所述第一气体循环管的出口朝向所述腔室的顶面，入口朝向所述腔室的底面；

所述第二气体循环管的入口朝向所述腔室的顶面，出口朝向所述腔室的底面，或，所述第二气体循环管的入口朝向所述腔室的底面，出口背离具有所述传送开口的腔室侧壁。

5.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于，所述第一气体循环管与所述第二气体循环管的入口宽度大于或等于所述传送开口高度的二分之一。

6.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述抽风器件为抽风风扇。

7.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述烘干装置还包括设置在所述腔室壁内的供热组件，所述供热组件包括导热件以及吹风风扇。

8.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述烘干装置还包括排风管道，所述腔室壁上设置有排风口，所述排风管道与所述排风口相连接。

9.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述烘干装置的一腔室壁上设置有多个传送开口，所述腔室门的个数为多个，所述一腔室门可关合一传送开口；

其中，所述腔室壁与多个所述腔室门围成多个腔室。

10.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的烘干装置。