CN206746190U - 空气滤网模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种空气滤网模块，其包含支撑框以及多个滤网单元。支撑框包含多个滤气通道。多个滤网单元叠合于支撑框的上方，每个滤网单元的滤气部对准对应的滤气通道，其中支撑框的上表面具有气密接合介面，且每个滤网单元的滤网框的下表面具有互补于支撑框的上表面的气密接合介面，使每个滤网单元的滤网框的下表面气密接合于对应的支撑框的上表面。借此，本实用新型的空气滤网模块，利用其气密接合介面，无需胶材即能垂直叠合滤网单元，并具有防止滤网单元左右偏移的定位作用。

Description

空气滤网模块

技术领域

本实用新型是关于一种空气滤网模块，特别是关于一种无尘室系统的空气滤网模块。

背景技术

半导体与光电产业都需要大区域的无尘室空间，借以将其生产线置于无尘室中，进而达到所需的工艺要求。

当无尘室系统的厂区日益庞大，其对应需求的空气过滤系统也逐渐庞大，且对过滤效果的要求也逐渐提高。

传统无尘室系统的厂区顶端前段的空气过滤系统大都以金属框架为基础，将滤气部填入金属框架中，再以胶体粘合确保气密。当滤气部使用一段时间失去效能后，再将金属框架与滤气部整体拆下，作后续的环保处理。

因金属框架加上的滤气部的重量往往已超出一个人能搬运的重量，且需从厂区顶端拆除及卸下也有安全上的疑虑。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种空气滤网模块，利用其气密接合介面，无需胶材即能垂直叠合滤网单元。

在本实用新型的一实施例中，一种空气滤网模块包含支撑框以及多个滤网单元。支撑框包含多个滤气通道。多个滤网单元叠合于支撑框的上方，每个滤网单元的滤气部对准对应的滤气通道，其中支撑框的上表面具有气密接合介面，且每个滤网单元的滤网框的下表面具有互补于支撑框的上表面的气密接合介面，使每个滤网单元的滤网框的下表面气密接合于对应的支撑框的上表面。

在本实用新型的一实施例中，每个滤网单元的滤网框的上表面具有相同于支撑框的上表面的气密接合介面。

在本实用新型的一实施例中，多个滤网单元以多个互补的气密接合介面垂直的叠合于支撑框的上方。

在本实用新型的一实施例中，当每个滤网单元的滤网框的下表面气密接合于对应的支撑框的上表面时，其截面具有凸出部以及凹陷部互补的接合。

在本实用新型的一实施例中，凸出部位于滤网单元的滤网框的下表面，且凹陷部位于支撑框的上表面。

在本实用新型的一实施例中，凸出部以及凹陷部位于气密接合介面的中间。

在本实用新型的一实施例中，凹陷部位于滤网单元的滤网框的下表面，且凸出部位于支撑框的上表面。

在本实用新型的一实施例中，凸出部以及凹陷部位于气密接合介面的中间。

在本实用新型的一实施例中，垂直叠合的多个滤网单元的滤气部包含不同的滤料。

在本实用新型的一实施例中，每个滤网单元的长度为800毫米、宽度为485毫米。

综上所述，本实用新型的空气滤网模块，利用其气密接合介面，无需胶材即能垂直叠合滤网单元，并具有防止滤网单元左右偏移的定位作用。

以下将以实施方式对上述的说明作详细的描述，并对本实用新型的技术方案提供更进一步的解释。

附图说明

为让本实用新型的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的说明如下：

图1是绘示依照本实用新型一实施例的一种空气滤网模块的立体图；

图2是绘示图1的部分102的放大图；

图3是绘示沿图1的3-3的剖面图；

图4是绘示依照本实用新型另一实施例的剖面图；

图5是绘示依照本实用新型再一实施例的剖面图；以及

图6是绘示依照本实用新型又一实施例的剖面图。

具体实施方式

为了使本实用新型的叙述更加详尽与完备，可参照所附的图式及以下所述各种实施例，图式中相同的号码代表相同或相似的元件。另一方面，众所周知的元件与步骤并未描述于实施例中，以避免对本实用新型造成不必要的限制。

在实施方式与申请专利范围中，除非内文中对于冠词有所特别限定，否则一与该可泛指单一个或多个。

本文中所使用的约、大约或大致是用以修饰任何可些微变化的数量，但这种些微变化并不会改变其本质。在实施方式中若无特别说明，则代表以约、大约或大致所修饰的数值的误差范围一般是允许在百分之二十以内，优选地是在百分之十以内，而更佳地则是在百分五之以内。

本实用新型的技术实施例是一种空气滤网模块，其适用于各种垂直叠合的空气滤网模块。以下将搭配图式来说明空气滤网模块的具体实施方式。

请参照图1、图2，图1是绘示依照本实用新型一实施例的一种空气滤网模块的立体图；图2是绘示图1的部分102的放大图。空气滤网模块100包含支撑框106以及多个滤网单元110。支撑框106包含多个滤气通道104。多个滤网单元110叠合于支撑框106的上方以覆盖所有的滤气通道104(图中仅绘示一个滤网单元110)，每个滤网单元110的滤气部对准对应的滤气通道104。单个滤气通道104的上方可视需求叠合一个或两个以上的滤网单元110。滤网单元110垂直叠合于支撑框106时或多个滤网单元110彼此垂直叠合时，其垂直的接合面需要气密性良好，使得待过滤的气体全部通过滤气部过滤，而无法经接合面溢漏。

请参照图3，其绘示沿图1的3-3的剖面图。支撑框106的上表面具有气密接合介面，且每个滤网单元110的滤网框110a的下表面具有互补于支撑框106的上表面的气密接合介面，使每个滤网单元110的滤网框110a的下表面气密接合于对应的支撑框106的上表面。举例来说，支撑框106的上表面具有凸出部108(其余的上表面为平坦表面)，而每个滤网单元110的滤网框110a的下表面具有凹陷部110d(其余的下表面为平坦表面)。当凸出部108与凹陷部110d的形状彼此互补时，每个滤网单元110的滤网框110a的下表面接合于对应的支撑框106的上表面时，即可形成气密接合介面109。

当多个滤网单元110彼此垂直叠合时，彼此间也需要气密接合介面。举例来说，每个滤网单元110的滤网框110a的下表面具有凹陷部110d(其余的下表面为平坦表面)，而每个滤网单元110的滤网框110a的上表面具有凸出部110c(其余的上表面为平坦表面)。当凸出部110c与凹陷部110d的形状彼此互补时，每个滤网单元110的滤网框110a的上表面接合于另一个滤网单元110的滤网框110a的下表面时，也可形成气密接合介面。换言之，每个滤网单元110的滤网框110a的上表面具有相同于支撑框106的上表面的气密接合介面。

在本实用新型的实施例中，支撑框106需支撑多个滤网单元的重量，可为金属材质所制成，但并不以此为限。滤网单元110的滤网框110a为能支承其滤气部110b为考量，可为硬质塑胶材质所制成，但并不以此为限。当滤网单元110彼此垂直叠合或叠合于支撑框106的上表面时，借整体的重量即可使气密接合介面达到所需的气密要求，无需于介面接合时另施加胶材。在后续移除滤网单元110时，即可免除去除胶材的步骤。

当滤网单元110彼此垂直叠合或叠合于支撑框106的上表面时，每个滤网单元110的滤气部110b是对准对应的滤气通道104，或叠合的多个滤网单元110的滤气部110b彼此对准。换言之，叠合的多个滤网单元110的滤网框110a的内壁是垂直切齐，且与叠合的支撑框106的内壁垂直切齐。

在本实用新型的实施例中，滤气部110b经折叠成近似波浪状后，将其边缘以胶材粘贴于滤网框110a的内壁。滤气部110b可因需求填充不同的滤料，例如活性碳、氢氧化钾、碳酸钾、氧化铝或离子交换树脂等，但不限于此。

请参照图4，其绘示依照本实用新型另一实施例的剖面图。图4的实施例和图3的实施例主要的不同处在于：气密接合介面是设计于气密接合框107的上表面。因气密接合介面的设计并非现有，若要将具有气密接合介面的滤网单元叠合于不具有气密接合介面的支撑框106’上，在支撑框106’上即需要先设置具有气密接合介面的气密接合框107。增加气密接合框107的设计使本实用新型能应用至更多的传统的支撑框上。

请参照图5，其绘示依照本实用新型再一实施例的剖面图。在此实施例中，支撑框106的上表面具有凹陷部108’(其余的上表面为平坦表面)，而每个滤网单元110的滤网框110a’的下表面具有凸出部110d’(其余的下表面为平坦表面)。当凹陷部108’与凸出部110d’的形状彼此互补时，每个滤网单元110的滤网框110a’的下表面接合于对应的支撑框106的上表面时，即可形成气密接合介面109。

此外，每个滤网单元110的滤网框110a’的上表面也具有凹陷部110c’。换言之，每个滤网单元110的滤网框110a’的上表面具有相同于支撑框106的上表面的气密接合介面，使得多个滤网单元110能够垂直叠合。

请参照图6，其绘示依照本实用新型又一实施例的剖面图。图6的实施例和图5的实施例主要的不同处在于：气密接合介面是设计于气密接合框107’的上表面。因气密接合介面的设计并非现有，若要将具有气密接合介面的滤网单元叠合于不具有气密接合介面的支撑框106’上，在支撑框106’上即需要先设置具有气密接合介面的气密接合框107’。增加气密接合框107’的设计使本实用新型能应用至更多的传统的支撑框上。

在本实用新型的实施例中，上述凸出部(108、110c、110d’)以及凹陷部(110d、108’、110c’)均位于气密接合介面的中间。凸出部以及凹陷部除了作为气密接合介面之外，也有防止滤网单元110左右偏移的定位作用。

在本实用新型的实施例中，每个滤网单元的长度为800毫米、宽度为485毫米，但不局限于此。

综上所述，本实用新型的空气滤网模块，利用其气密接合介面，无需胶材即能垂直叠合滤网单元，并具有防止滤网单元左右偏移的定位作用。

虽然本实用新型已经以实施方式公开如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种变动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求所界定者为准。

Claims (10)

1.一种空气滤网模块，其特征在于，所述空气滤网模块包含：

支撑框，其包含多个滤气通道；以及

多个滤网单元，其叠合于所述支撑框的上方，每个所述滤网单元的滤气部对准对应的所述滤气通道，其中所述支撑框的上表面具有气密接合介面，且每个所述滤网单元的滤网框的下表面具有互补于所述支撑框的上表面的气密接合介面，使每个所述滤网单元的滤网框的下表面气密接合于对应的所述支撑框的上表面。

2.如权利要求1所述的空气滤网模块，其特征在于，每个所述滤网单元的滤网框的上表面具有相同于所述支撑框的上表面的气密接合介面。

3.如权利要求2所述的空气滤网模块，其特征在于，所述多个滤网单元以所述多个互补的气密接合介面垂直的叠合于所述支撑框的上方。

4.如权利要求1所述的空气滤网模块，其特征在于，当每个所述滤网单元的滤网框的下表面气密接合于对应的所述支撑框的上表面时，其截面具有凸出部以及凹陷部互补的接合。

5.如权利要求4所述的空气滤网模块，其特征在于，所述凸出部位于所述滤网单元的滤网框的下表面，且所述凹陷部位于所述支撑框的上表面。

6.如权利要求5所述的空气滤网模块，其特征在于，所述凸出部以及所述凹陷部位于所述气密接合介面的中间。

7.如权利要求4所述的空气滤网模块，其特征在于，所述凹陷部位于所述滤网单元的滤网框的下表面，且所述凸出部位于所述支撑框的上表面。

8.如权利要求7所述的空气滤网模块，其特征在于，所述凸出部以及所述凹陷部位于所述气密接合介面的中间。

9.如权利要求3所述的空气滤网模块，其特征在于，垂直叠合的所述多个滤网单元的滤气部包含不同的滤料。

10.如权利要求1所述的空气滤网模块，其特征在于，每个所述滤网单元的长度为800毫米、宽度为485毫米。