CN206742201U - 烘烤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种烘烤装置。该烘烤装置包括支架、加热板、支撑件、托杆、支撑板以及驱动部件；加热板具有多个贯穿加热板两个表面的穿设孔；加热板水平设在支架上，加热板的上表面连接有多个支撑件，相邻的支撑件之间具有间隔，多个支撑件与多个穿设孔均错位分布；支撑板设在加热板的下方，支撑板上连接有多个托杆，托杆的径向尺寸小于或者等于穿设孔的孔径，托杆的长度大于加热板的高度；多个托杆与多个穿设孔一一对应；驱动部件连接于支撑板以用于驱动支撑板升降运动，当支撑板朝向加热板移动时，多个托杆能分别对应插入到各个穿设孔内，且托杆的端部能够突出于加热板的上表面。该烘烤装置不易于产生静电且不易对玻璃基板产生损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及OLED生产加工领域，特别是涉及一种烘烤装置。
背景技术
目前OLED采用喷墨打印工艺，喷墨打印工艺中，玻璃基板经过清洗等前处理后，将功能层墨水打印在玻璃基板上后，需要对玻璃基板进行减压干燥，之后再进行烘烤。目前对玻璃基板进行烘烤的工艺是采用使用升降部件来承接玻璃基板，然后将玻璃基板放置在热板上，通过热板对玻璃基板进行加热，但是目前的烘烤工艺中，玻璃基板是与热板紧密接触的，玻璃基板与热板之间的空气稀薄甚至没有空气，一方面容易产生静电，另一方面在烘烤结束之后玻璃基板与热板很难分离，若升降部件强行分离，会导致玻璃基板受损。
实用新型内容
基于此，有必要提供一种不易于产生静电且不易对玻璃基板产生损伤的烘烤装置。
一种烘烤装置，包括支架、加热板、支撑件、托杆、支撑板以及驱动部件；所述加热板具有多个贯穿所述加热板两个表面的穿设孔；
所述加热板水平设在所述支架上，所述加热板的上表面连接有多个所述支撑件，相邻的所述支撑件之间具有间隔，多个所述支撑件与多个所述穿设孔均错位分布；
所述支撑板设在所述加热板的下方，所述支撑板上连接有多个所述托杆，所述托杆的径向尺寸小于或者等于所述穿设孔的孔径，所述托杆的长度大于所述加热板的高度与其中一个所述支撑件的高度之和；多个所述托杆与多个所述穿设孔一一对应；所述驱动部件连接于所述支撑板以用于驱动所述支撑板移动，当所述支撑板朝向所述加热板移动时，各个所述托杆能分别对应插入到各个所述穿设孔内，且所述托杆的端部能够突出于所述支撑件的上表面。
在其中一个实施例中，所述托杆的径向尺寸小于所述穿设孔的孔径。
在其中一个实施例中，所述支撑件的高度为0.2mm-0.3mm。
在其中一个实施例中，多个所述穿设孔在所述加热板上均匀分布；多个所述托杆在所述支撑板上均匀分布。
在其中一个实施例中，多个所述穿设孔在所述加热板上呈阵列分布。
在其中一个实施例中，多个所述支撑件在所述加热板的上表面均匀分布。
在其中一个实施例中，多个所述支撑件在所述加热板的上表面呈阵列分布。
在其中一个实施例中，所述支撑件的上表面与所述支撑件的侧壁圆滑过渡。
在其中一个实施例中，所述托杆呈圆柱形。
在其中一个实施例中，所述支撑件的径向截面呈圆形。
上述的烘烤装置，在加热板上设置了支撑件，支撑件能够支撑住玻璃基板，使得玻璃基板与加热板之间具有间隔，并且多个支撑件之间也具有间隔，使得玻璃基板与加热板之间充斥着空气，避免了玻璃基板上静电的产生，当托杆上升托住玻璃基板时，也易于将玻璃基板与加热板分离，不易对玻璃基板产生损伤。
附图说明
图1为一实施例烘烤装置侧面示意图；
图2为图1所示烘烤装置俯视示意图；
图3为图1所示烘烤装置与玻璃基板配合时侧面示意图。
附图标记说明
10、烘烤装置；100、加热板；110、穿设孔；200、支撑件；300、托杆； 400、支撑板；20、玻璃基板。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
参见图1及图2所示，本实施例涉及了一种烘烤装置10。该烘烤装置10包括支架(附图中未示出)、加热板100、支撑件200、托杆300、支撑板400以及驱动部件。进一步地，在本实施例中，驱动部件可以是驱动电机、伸缩气缸等，在附图中，未示出驱动部件。
参见图1及图2所示，加热板100具有多个贯穿加热板100两个表面的穿设孔110。优选地，多个穿设孔110在加热板100上均匀分布。
参见图1及图3所示，加热板100水平设在支架上，加热板100的上表面连接有多个支撑件200，相邻的支撑件200之间具有间隔。优选地，支撑件200 的径向截面呈圆形。
优选地，多个支撑件200在加热板100的上表面均匀分布。多个支撑件200 与多个穿设孔110均错位分布。多个穿设孔110在加热板100上呈阵列分布。多个支撑件200在加热板100的上表面呈阵列分布。
进一步地，参见图1及图2所示，支撑件200的高度为0.2mm-0.3mm。支撑件200的上表面与支撑件200的侧壁圆滑过渡。
参见图1及图2所示，支撑板400设在加热板100的下方，支撑板400上连接有多个托杆300，优选地，多个托杆300在支撑板400上均匀分布。进一步地，托杆300呈圆柱形。
托杆300的径向尺寸小于或者等于穿设孔110的孔径，进一步地，托杆300 的径向尺寸小于穿设孔110的孔径。托杆300的长度大于加热板100的高度与其中一个支撑件200的高度之和。多个托杆300与多个穿设孔110一一对应。
驱动部件连接于支撑板400以用于驱动支撑板400升降运动，当支撑板400 朝向加热板100移动时，多个托杆300能分别对应插入到各个穿设孔110内，且托杆300的端部能够突出于支撑件200的上表面。
参见图3所示，上述的烘烤装置10，在使用时，驱动部件驱动支撑板400 上升使得托杆300分别插入至穿设孔110内，托杆300的端部突出于支撑件200 的上表面后，接住来自上一工序的玻璃基板20，驱动部件驱动支撑板400下降使得托杆300分别从穿设孔110内抽出，玻璃基板20即可落在支撑件200的上表面上，加热板100即可进行对玻璃基板20进行加热。加热结束之后，驱动部件驱动支撑板400上升使得托杆300分别插入至穿设孔110内，托杆300的端部突出于支撑件200的上表面后，将玻璃基板20托住以与支撑件200分离，即完成加热烘烤的工序。
上述的烘烤装置10，在加热板100上设置了支撑件200，支撑件200能够支撑住玻璃基板20，使得玻璃基板20与加热板100之间具有间隔，并且多个支撑件200之间也具有间隔，使得玻璃基板20与加热板100之间充斥着空气，避免了玻璃基板20上静电的产生，当托杆300上升托住玻璃基板20时，也易于将玻璃基板20与加热板100分离，不易对玻璃基板20产生损伤。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种烘烤装置，其特征在于，包括支架、加热板、支撑件、托杆、支撑板以及驱动部件；所述加热板具有多个贯穿所述加热板两个表面的穿设孔；
所述加热板水平设在所述支架上，所述加热板的上表面连接有多个所述支撑件，相邻的所述支撑件之间具有间隔，多个所述支撑件与多个所述穿设孔均错位分布；
所述支撑板设在所述加热板的下方，所述支撑板上连接有多个所述托杆，所述托杆的径向尺寸小于或者等于所述穿设孔的孔径，所述托杆的长度大于所述加热板的高度与其中一个所述支撑件的高度之和；多个所述托杆与多个所述穿设孔一一对应；所述驱动部件连接于所述支撑板以用于驱动所述支撑板移动，当所述支撑板朝向所述加热板移动时，各个所述托杆能分别对应插入到各个所述穿设孔内，且所述托杆的端部能够突出于所述支撑件的上表面。
2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述托杆的径向尺寸小于所述穿设孔的孔径。
3.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述支撑件的高度为0.2mm-0.3mm。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的烘烤装置，其特征在于，多个所述穿设孔在所述加热板上均匀分布；多个所述托杆在所述支撑板上均匀分布。
5.根据权利要求4所述的烘烤装置，其特征在于，多个所述穿设孔在所述加热板上呈阵列分布。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的烘烤装置，其特征在于，多个所述支撑件在所述加热板的上表面均匀分布。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的烘烤装置，其特征在于，多个所述支撑件在所述加热板的上表面呈阵列分布。
8.根据权利要求1-3任意一项所述的烘烤装置，其特征在于，所述支撑件的上表面与所述支撑件的侧壁圆滑过渡。
9.根据权利要求1-3任意一项所述的烘烤装置，其特征在于，所述托杆呈圆柱形。
10.根据权利要求1-3任意一项所述的烘烤装置，其特征在于，所述支撑件的径向截面呈圆形。
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| CN201720541861.XU Active CN206742201U (zh) | 2017-05-16 | 2017-05-16 | 烘烤装置 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109166966A (zh) * | 2018-08-10 | 2019-01-08 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示器件的制备方法及有机发光显示器件 |
| CN109390256A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-02-26 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种晶圆烘烤装置及方法 |
| CN109727541A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-05-07 | 广州林恩静电科学技术应用有限公司 | 平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置 |
| CN111451110A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-07-28 | Tcl华星光电技术有限公司 | 烘烤设备及其操作方法 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109166966A (zh) * | 2018-08-10 | 2019-01-08 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示器件的制备方法及有机发光显示器件 |
| CN109390256A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-02-26 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种晶圆烘烤装置及方法 |
| CN109727541A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-05-07 | 广州林恩静电科学技术应用有限公司 | 平板显示产品静电失效的两步分离解决方法及应用及装置 |
| CN111451110A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-07-28 | Tcl华星光电技术有限公司 | 烘烤设备及其操作方法 |
| CN111451110B (zh) * | 2020-04-09 | 2022-05-03 | Tcl华星光电技术有限公司 | 烘烤设备的操作方法 |
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