CN206692719U - 一种线性蒸发源和蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及蒸镀装置技术领域，公开一种线性蒸发源和蒸镀装置；其中，线性蒸发源包括：板状坩埚盖，坩埚盖的两个长边的边缘中，每个边缘上设有至少一对第一插孔；坩埚体，坩埚体开口的两个长边边沿分别设置有凸台，每个凸台上设有与坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔；当坩埚盖盖设于坩埚体上时，相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通；U型楔块，每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部以及位于第一端部和第二端部之间的连接部；连接部可弹性伸缩；第一端部和第二端部分别设有第一通孔和第二通孔；可插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内的插销。上述线性蒸发源的坩埚体和盖锅盖的封装和解封过程很快、效率很高。

Description

一种线性蒸发源和蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种线性蒸发源和蒸镀装置。

背景技术

线性蒸发源是现有OLED膜层蒸镀设备中常用的一种蒸发源，如图1所示，现有技术中的线性蒸发源，一般主要包括坩埚本体20和盖板10两部分、且坩埚本体20和盖板10之间一般采用沿盖板10边缘设置的多根螺丝30进行密封固定；由于每次向坩埚本体20内添加蒸镀材料时，都需要重新装卸螺丝30，而在螺丝30的拆装过程中，很容易出现螺丝30紧固的松紧度不一致的现象，如螺丝30拧的太松会影响线性蒸发源的气密性，螺丝30拧的过紧则容易导致螺丝30拧不出来或者脱扣断裂，因此，上述封装设计的拆装过程很费时、效率很低，进而，大大增加了坩埚加料过程的用时，严重影响了蒸镀设备的产能。

实用新型内容

本实用新型公开了一种线性蒸发源和蒸镀装置，用于提高线性蒸发源的拆装效率。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种线性蒸发源，包括：

坩埚盖，所述坩埚盖呈板状，且所述坩埚盖的两个长边的边缘中，每个边缘上设有至少一对第一插孔；

坩埚体，所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台，且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔；当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时，相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通；

至少两个U型楔块，每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部；其中，所述连接部可弹性伸缩；所述第一端部设有第一通孔，所述第二端部设有第二通孔，所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合；

至少两个插销，每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内；

当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时，所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔，以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧；且，当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时，所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。

上述线性蒸发源主要包括坩埚盖、坩埚体、U型楔块和插销四种结构，其中，坩埚盖和坩埚体的凸台上对应设有插孔结构(第一插孔和第二插孔)，U型楔块的第一端部和第二端部上设有轴心线重合的通孔(第一通孔和第二通孔)，U型楔块的第一端部和第二端部可从坩埚盖一侧同时贯穿坩埚盖上的一对第一插孔和坩埚体凸台上的一对第二插孔，并使第一端部的第一通孔和第二端部的第二通孔到达凸台背离坩埚盖的一侧；此时，可以通过插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内，以将U型楔块锁定，进而将坩埚盖和坩埚体固定连接；并且，由于此时第一端部和第二端部之间的连接部处于弹性拉伸状态，因此，通过U型楔块连接部的弹性恢复力可以使坩埚盖压紧于坩埚体上，进而实现坩埚盖和坩埚体之间的密封。上述线性蒸发源的封装设计中，由于U型楔块和插销的拆装过程简单一致，且无需进行松紧度的调节，所以上述线性蒸发源的拆装过程很快、效率很高。

优选地，每个所述插销具有杆部和沿杆部设置的至少一个插销部，每个插销部包括沿杆部方向依次设置的第一通孔部和第二通孔部；当所述插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内时，所述第一通孔部和第二通孔部可分别与所述第一通孔和第二通孔对应插合匹配。

优选地，每个U型楔块中，第一端部上设有用于使插销能够嵌入第一通孔内的第一嵌入口；第二端部上设有用于使插销能够嵌入第二通孔内的第二嵌入口；所述第一嵌入口和第二嵌入口沿所述第一通孔和第二通孔的轴心线方向对齐设置。

优选地，所述U型楔块中，第一通孔为螺纹孔，第二通孔为锥形孔；所述插销的插销部中，第一通孔部为螺纹部，第二通孔部为锥体部。

优选地，所述U型楔块中，锥形孔的顶部开口一端朝向螺纹孔一侧设置；所述插销的插销部中，锥体部的顶面一端朝向螺纹部一侧设置。

优选地，每个插销具有两个插销部，所述两个插销部之间的间距等于坩埚盖上相邻的两对第一插孔之间的间距；所述两个插销部中的第一通孔部和第二通孔部沿杆部的排列方向相同。

优选地，所述插销中，至少部分杆部的径向尺寸大于所述第一通孔部的径向尺寸、且大于所述第二通孔部的径向尺寸。

优选地，所述插销上的插销部与所述坩埚盖一个长边边缘上的第一插孔对一一对应，每相邻的两个插销部之间的间距等于与该两个插销部相对应的两对第一插孔之间的间距。

优选地，所述坩埚盖的两个长边边缘上的第一插孔对称设置。

一种蒸镀装置，包括上述任一技术方案中所述的线性蒸发源。

附图说明

图1为现有技术中一种线性蒸发源的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源沿其长边方向上的剖面结构示意图；

图3为图2中的线性蒸发源在装配过程中的剖面结构示意图；

图4为图2中的线性蒸发源的俯视结构示意图；

图5为图2中的线性蒸发源的在垂直于其长边方向上的剖面结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源中坩埚盖的俯视结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源的坩埚体的俯视结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源的U型楔块的剖面结构示意图；

图9为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源中U型楔块的第一端部的剖面结构示意图；

图10为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源中U型楔块的第二端部的剖面结构示意图；

图11为本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源的插销的结构示意图；

图12为本实用新型另一实施例提供的一种线性蒸发源沿其长边方向上的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图2～图12。

如图2～图8、图12所示，本实用新型实施例提供的一种线性蒸发源，该线性蒸发源包括：

坩埚盖1，该坩埚盖1呈板状，且该坩埚盖1的两个长边的边缘中，每个边缘上设有至少一对贯穿坩埚盖1的第一插孔11，每对第一插孔11中的两个第一插孔11相邻设置；

坩埚体2，该坩埚体2的开口边沿设有两个凸台21，该两个凸台21分别沿坩埚体2开口的两个长边边沿设置，且每个凸台21上设有与坩埚盖1上的第一插孔11一一对应的第二插孔22，该第二插孔22贯穿凸台21；当坩埚盖1盖设于坩埚体2上时，相互对应的第一插孔11和第二插孔22可以一一对齐相通；

至少两个U型楔块3，每个U型楔块3包括相对设置的第一端部31和第二端部32、以及位于第一端部31和第二端部32之间的连接部33；其中，连接部33可弹性伸缩；第一端部31设有第一通孔310，第二端部32设有第二通孔320，第一通孔310和第二通孔320的轴心线o重合；

至少两个插销4，每个插销4可同时插入U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320内；

当坩埚盖1盖设于坩埚体2上时，U型楔块3的第一端部31和第二端部32可分别插入坩埚盖1上的一对第一插孔11内，并可分别贯穿坩埚体2凸台21上与该对第一插孔11相对应的两个第二插孔22，以使第一通孔310和第二通孔320暴露于凸台21背离坩埚盖1的一侧；且，当每个插销4在凸台21背离坩埚盖1的一侧插入第一通孔310和第二通孔320内时，U型楔块3的连接部33处于拉伸形变的状态。

上述线性蒸发源主要包括坩埚盖1、坩埚体2、U型楔块3和插销4四种结构，其中，坩埚盖1和坩埚体2的凸台21上对应设有插孔结构(第一插孔11和第二插孔22)，U型楔块3的第一端部31和第二端部32上设有轴心线重合的通孔(第一通孔310和第二通孔320)，U型楔块3的第一端部31和第二端部32可从坩埚盖1一侧同时贯穿坩埚盖1上的一对第一插孔11和坩埚体2凸台21上的一对第二插孔22，并使第一端部31的第一通孔310和第二端部32的第二通孔320到达凸台21背离坩埚盖1的一侧；此时，可以通过插销4插入U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320内，以将U型楔块3锁定，进而将坩埚盖1和坩埚体2固定连接；并且，由于此时第一端部31和第二端部32之间的连接部33处于弹性拉伸状态，因此，通过U型楔块3连接部33的弹性恢复力可以使坩埚盖1压紧于坩埚体2上，进而实现坩埚盖1和坩埚体2之间的密封。上述线性蒸发源的封装设计中，由于U型楔块3和插销4的拆装过程简单一致，且无需进行松紧度的调节，所以上述线性蒸发源拆装过程很快、效率很高。

如图2、图3、图11和图12所示，一种具体的实施例中，本实用新型实施例提供的线性蒸发源中：

每个插销4可以具有杆部41和沿杆部41设置的至少一个插销部42，每个插销部42包括沿杆部41方向依次设置的第一通孔部421和第二通孔部422；

具体地，当插销4插入U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320内时，插销部42的第一通孔部421和第二通孔部422可分别与U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320对应插合匹配，即插销4的每个插销部42用于与一个U型楔块3的两个端部(第一端部31和第二端部32)相插接。

如图5、图8～图10所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，本实用新型实施例提供的线性蒸发源中，每个U型楔块3中，第一端部31上可以设有用于使插销4能够嵌入第一通孔310内的第一嵌入口311；第二端部32上可以设有用于使插销4能够嵌入第二通孔320内的第二嵌入口321；第一嵌入口311和第二嵌入口321沿第一通孔310和第二通孔320的轴心线o方向对齐设置，从而，插销4的杆部41能够同时从第一嵌入口311和第二嵌入口321嵌入第一通孔310和第二通孔320。

通过第一嵌入口311和第二嵌入口321，插销4可以从第一通孔310和第二通孔320的侧壁方向直接且同时嵌入第一通孔310和第二通孔320内；相对于将插销4的插销部42沿第一通孔310和第二通孔320的排列方向上依次插入第一通孔310和第二通孔320的插合方式，上述设置可以方便快速地实现插销4与U型楔块3之间的插合；并且，上述方式还可以避免当插销4中插销部42和杆部41的径向尺寸不同时，插销部42的第一通孔部421和第二通孔部422无法分别依次插入第一通孔310和第二通孔320、从而无法实现插销部42与第一通孔310和第二通孔320插合的问题。

在上述实施例的基础上，

如图2、图3、图8和图11所示，一种具体的实施例中，U型楔块3中，第一通孔310可以为螺纹孔3101，第二通孔320可以为锥形孔3201；相应地，插销4的插销部42中，第一通孔部421可以为螺纹部4211，第二通孔部422可以为锥体部4221。

第一通孔部421和第一通孔310采用螺纹配合的方式，可以使插销部42和与其插合的第一通孔310和第二通孔320之间实现准确对位；另外，由于锥体部4221和锥形孔3201这样的锥形结构两端大小不同，因此，通过锥体部4221和锥形孔3201两端的指向性可以便于快速找准插销4的插入和旋转方向，以便于快速实现插合。

如图2、图3、图8和图11所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，U型楔块3中，锥形孔3201的顶部开口一端(开口较小的一端)可以朝向螺纹孔3101一侧设置；相应地，插销4的插销部42中，锥体部4221的顶面一端(端面面积较小的一端)朝向螺纹部4211一侧设置。

锥形孔3201开口较小的一端朝向螺纹孔3101一侧设置，则插销部42将沿锥形孔3201指向螺纹孔3101的方向移动插合；进而，当将锥体部4221与锥形孔3201进行插合、螺纹部4211与螺纹孔3101进行插合时，设有锥形孔3201的第二端部32将受到锥体部4221作用的、作用方向指向螺纹孔3101一侧的作用力F₁，而设有螺纹孔3101的第一端部31将受到螺纹部4211作用的、作用方向指向锥形孔3201一侧的作用力F₂，即第一端部31的受力方向和第二端部32的受力方向相对设置；进而，通过旋转插销4进行插合紧固，可以实现使U型楔块3的第一端部31和第二端部32之间相互靠近，从而使U型楔块3的连接部33出现拉伸形变；因此，将插销4与U型楔块3插合锁定后，通过U型楔块3连接部33的弹性恢复力即可以使坩埚盖1压紧于坩埚体2上、实现坩埚盖1和坩埚体2之间的密封。

如图2～图4、图6和图11所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，每个插销4可以具有两个插销部42，该两个插销部42之间的间距等于坩埚盖1上相邻的两对第一插孔11之间的间距；即，每一个插销4可以用于同时与两个U型楔块3插合，从而同时锁定两个U型楔块3。

进一步地，该两个插销部42中的第一通孔部421和第二通孔部422沿杆部41的排列方向相同，即两个插销部42的锥体部4221和螺纹部4211沿杆部41的排列方向相同；这样可以保证两个插销部42相对于两个U型楔块3的插合方向相同，即两个插销部42可以同时插入两个U型楔块3中。

当然，本实施例中所公开的每个插销4的插销部42数量仅是一种具体实施例，并不是对于每个插销4的插销部42数量的限定，在实际应用中，可以根据U型楔块3的数量、以及插合操作的方便性角度出发，来设定每个插销4中插销部42的数量。

需要说明的是，由于每个U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320之间的距离、以及每个插销4中插销部42的第一通孔部421和第二通孔部422之间的距离都需要对应于坩埚盖1上的一对第一通孔310之间的距离；因此，为了U型楔块3、插销4以及每对第一通孔310之间的通用性，每个U型楔块3以及每个插销4的尺寸规格都可设置为完全相同，且每对第一通孔310之间的间距、以及每两对第一通孔310之间的间距也可以设置为完全相等。

如图12所示，另一种具体的实施例中，U型楔块3中，第一通孔310和第二通孔320的形状不限定，例如可以为比较通用的圆形通孔；相应地，插销4中，插销部42的第一通孔部421和第二通孔部422可以为圆柱体；并且，第一通孔部421和第二通孔部422的径向尺寸均小于至少部分杆部41的径向尺寸，即，至少部分杆部41的径向尺寸大于第一通孔部421以及第二通孔部422的径向尺寸。

上述插销4中，由于至少部分杆部41的径向尺寸大于第一通孔部421以及第二通孔部422的径向尺寸，从而，当在凸台21背离坩埚盖1一侧、将插销4的插销部42插入U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320内以将U型楔块3锁定时，径向尺寸较大的部分杆部41可以与凸台21相抵(即杆部41径向尺寸较大的部分与凸台21之间接触且存在相互作用力，如图12中的作用力F表示凸台21对尺寸较大的部分杆部41的作用力)，进而，杆部41可以将插销部42支撑起来、以使其与凸台21之间形成一定的间隙；从而，插销部42可以将设有第一通孔310的第一端部31和设有第二通孔320的第二端部32朝向背离凸台21一侧拉伸，从而可以导致U型楔块3的连接部33被拉伸变形，进而，当插销4将U型楔块3插合锁定后，U型楔块3连接部33的弹性恢复力即可以使坩埚盖1压紧于坩埚体2上、实现坩埚盖1和坩埚体2之间的密封。

如图6和图12所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，插销4上的插销部42与坩埚盖1一个长边边缘上的第一插孔11对一一对应，即，插销4上插销部42的数量与坩埚盖1一个长边边缘上的第一插孔11对数量相同，且每相邻的两个插销部42之间的间距等于与该两个插销部42相对应的两对第一插孔11之间的间距。进而，坩埚盖1和坩埚体2的一侧长边边缘可以仅通过一个插销4进行密封锁定，从而可以很大程度上减少结构件的数量、并提高安装的便捷性。

例如，如图5和图12所示，在用插销4插合锁定的过程中，只需将插销4中的插销部42与用于密封坩埚盖1和坩埚体2边缘的U型楔块3一一对应对位，然后，将插销4的每个插销部42沿与其对应的U型楔块3的嵌入口(第一嵌入口311和第二嵌入口321)插入该U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320内即可，安装过程简单、且效率很高。

如图2～图5、图12所示，在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，在实际应用中，坩埚盖1和坩埚体2的两侧长边边缘的密封锁定可以采用多种方式；例如，

方式一，与坩埚体2和坩埚盖1的两侧长边边缘相插合的U型楔块3和插销4完全对称设置，即用于密封线性蒸发源的坩埚体2和坩埚盖1的两侧长边边缘的U型楔块3和插销4完全对称。此时，坩埚盖1和坩埚体2的两侧长边边缘的受力情况完全相同。

方式二，与坩埚体2和坩埚盖1的两侧长边边缘相插合的U型楔块3和插销4完全反向设置，即用于密封线性蒸发源的坩埚体2和坩埚盖1的两侧长边边缘的U型楔块3和插销4的插合方向完全相反。

方式三，用于密封线性蒸发源的坩埚体2和坩埚盖1的两侧长边边缘的U型楔块3和插销4中，每侧边缘的U型楔块3和插销4相对于该边缘的中点对称设置。

当然，上述方式一至方式三中描述的坩埚盖1和坩埚体2的两侧长边边缘的密封锁定方式仅是本实用新型实施例中列举的具体实施方式，并不是仅有的方式；由于本实用新型中的U型楔块3和插销4是具有一定通用性的独立结构，因此，其安装方式很多，在实际应用过程中，可以从安装便捷性和安装效率等多种角度进行选择安装方式。

本实用新型实施例还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括上述任一实施例中的线性蒸发源。

上述蒸镀装置中，线性蒸发源的坩埚盖/和坩埚体拆装过程很便捷、且拆装效率很高，因此，可以大大降低线性蒸发源加料过程的用时，进而，该蒸镀装置的产能较高。另外，该线性蒸发源的密封设计均匀且可靠性较高，不易出现密封太松以致蒸镀材料泄漏或者密封太紧以致坩埚体或坩埚盖损坏的问题；因此，上述蒸镀装置的可靠性较高。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：

坩埚盖，所述坩埚盖呈板状，且所述坩埚盖的两个长边的边缘中，每个边缘上设有至少一对第一插孔；

坩埚体，所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台，且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔；当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时，相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通；

至少两个U型楔块，每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部；其中，所述连接部可弹性伸缩；所述第一端部设有第一通孔，所述第二端部设有第二通孔，所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合；

至少两个插销，每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内；

当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时，所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔，以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧；且，当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时，所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

每个所述插销具有杆部和沿杆部设置的至少一个插销部，每个插销部包括沿杆部方向依次设置的第一通孔部和第二通孔部；

当所述插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内时，所述第一通孔部和第二通孔部可分别与所述第一通孔和第二通孔对应插合匹配。

3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，每个U型楔块中，第一端部上设有用于使插销能够嵌入第一通孔内的第一嵌入口；第二端部上设有用于使插销能够嵌入第二通孔内的第二嵌入口；所述第一嵌入口和第二嵌入口沿所述第一通孔和第二通孔的轴心线方向对齐设置。

4.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，

所述U型楔块中，第一通孔为螺纹孔，第二通孔为锥形孔；

所述插销的插销部中，第一通孔部为螺纹部，第二通孔部为锥体部。

5.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，

所述U型楔块中，锥形孔的顶部开口一端朝向螺纹孔一侧设置；

所述插销的插销部中，锥体部的顶面一端朝向螺纹部一侧设置。

6.根据权利要求5所述的线性蒸发源，其特征在于，每个插销具有两个插销部，所述两个插销部之间的间距等于坩埚盖上相邻的两对第一插孔之间的间距；所述两个插销部中的第一通孔部和第二通孔部沿杆部的排列方向相同。

7.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，所述插销中，至少部分杆部的径向尺寸大于所述第一通孔部的径向尺寸、且大于所述第二通孔部的径向尺寸。

8.根据权利要求7所述的线性蒸发源，其特征在于，所述插销上的插销部与所述坩埚盖一个长边边缘上的第一插孔对一一对应，每相邻的两个插销部之间的间距等于与该两个插销部相对应的两对第一插孔之间的间距。

9.根据权利要求1～8任一项所述的线性蒸发源，其特征在于，所述坩埚盖的两个长边边缘上的第一插孔对称设置。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的线性蒸发源。