CN206683816U - 一种水冷真空测量缓冲管 - Google Patents

一种水冷真空测量缓冲管 Download PDF

Info

Publication number
CN206683816U
CN206683816U CN201720399245.5U CN201720399245U CN206683816U CN 206683816 U CN206683816 U CN 206683816U CN 201720399245 U CN201720399245 U CN 201720399245U CN 206683816 U CN206683816 U CN 206683816U
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum
quick release
vacuum measurement
release hoop
separator tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201720399245.5U
Other languages
English (en)
Inventor
武海军
时刚
刘统青
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XI'AN CHUANGLIAN NEW ENERGY EQUIPMENT CO Ltd
Original Assignee
XI'AN CHUANGLIAN NEW ENERGY EQUIPMENT CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XI'AN CHUANGLIAN NEW ENERGY EQUIPMENT CO Ltd filed Critical XI'AN CHUANGLIAN NEW ENERGY EQUIPMENT CO Ltd
Priority to CN201720399245.5U priority Critical patent/CN206683816U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206683816U publication Critical patent/CN206683816U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

本实用新型提供了一种水冷真空测量缓冲管,包括安装在气路管道和真空测量规管之间的缓冲管本体,所述缓冲管本体包括螺旋缓冲管以及螺旋缓冲管延伸出的上延伸管路和下延伸管路,所述下延伸管路上设置有冷却管路;所述下延伸管路上设置有第一真空快卸卡箍,该第一真空快卸卡箍与气路管道连接;所述上延伸管路上设置有第二真空快卸卡箍,该第二真空快卸卡箍与真空测量规管连接。本实用新型真空测量缓冲管为螺旋结构,减缓了挥发物对真空测量规管的直冲和运动速度,冷却管路使挥发物凝结在螺旋缓冲管侧壁上,从而保护了真空测量规管。

Description

一种水冷真空测量缓冲管
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉真空测量技术领域,具体地涉及一种单晶炉真空测量用水冷真空测量缓冲管。
背景技术
在硅单晶炉生产过程中,需要在长晶过程中控制炉内压力维持在1300Pa左右,这就需要对真空进行测量,真空测量传感器一般直接安装在后端气路管道上,单晶生产过程中会产生大量挥发物,挥发物在抽走的过程中极易凝结在真空测量传感器内部的测量元件上,造成测量偏差和传感器损坏。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的主要目的是提供一种水冷真空测量缓冲管。
本实用新型采用的技术方案是:
一种水冷真空测量缓冲管,包括安装在气路管道和真空测量规管之间的缓冲管本体,所述缓冲管本体包括螺旋缓冲管以及螺旋缓冲管延伸出的上延伸管路和下延伸管路,所述下延伸管路上设置有冷却管路;所述下延伸管路上设置有第一真空快卸卡箍,该第一真空快卸卡箍与气路管道连接;所述上延伸管路上设置有第二真空快卸卡箍,该第二真空快卸卡箍与真空测量规管连接。
本实用新型真空测量缓冲管为螺旋结构,减缓了挥发物对真空测量规管的直冲和运动速度,冷却管路使挥发物凝结在螺旋缓冲管侧壁上,从而保护了真空测量规管。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
其中,各个部件的标记及名称如下:
气路管道1;螺旋缓冲管2;上延伸管路22;下延伸管路21;第一真空快卸卡箍31;第二真空快卸卡箍32;真空测量规管4;冷却管路5。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型,在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。
参照图1,本实用新型公开了一种水冷真空测量缓冲管,包括安装在气路管道1和真空测量规管4之间的缓冲管本体,所述缓冲管本体包括螺旋缓冲管2以及螺旋缓冲管2上延伸出的上延伸管路22和下延伸管路21,所述下延伸管路21上设置有冷却管路5;所述下延伸管路21上设置有第一真空快卸卡箍31,该第一真空快卸卡箍31与气路管道1连接;所述上延伸管路22上设置有第二真空快卸卡箍32,该第二真空快卸卡箍32与真空测量规管4连接。
本实用新型的水冷真空测量缓冲管安装在气路管道1和真空测量规管4之间,真空测量缓冲管4为一个带下部水冷管路5的螺旋缓冲管2,真空测量缓冲管为螺旋结构,减缓了挥发物对真空测量规管4的直冲和运动速度,冷却管路5使挥发物凝结在螺旋缓冲管2侧壁上,从而保护了真空测量规管4。
以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍,本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型实施例,在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (3)

1.一种水冷真空测量缓冲管,包括安装在气路管道(1)和真空测量规管(4)之间的缓冲管本体,其特征在于,所述缓冲管本体包括螺旋缓冲管(2)以及螺旋缓冲管(2)延伸出的上延伸管路(22)和下延伸管路(21),所述下延伸管路(21)上设置有冷却管路(5)。
2.根据权利要求1所述的水冷真空测量缓冲管,其特征在于,所述下延伸管路(21)上设置有第一真空快卸卡箍(31),该真空快卸卡箍(31)与气路管道(1)连接。
3.根据权利要求1所述的水冷真空测量缓冲管,其特征在于,所述上延伸管路(22)上设置有第二真空快卸卡箍(32),该真空快卸卡箍(32)与真空测量规管(4)连接。
CN201720399245.5U 2017-04-17 2017-04-17 一种水冷真空测量缓冲管 Expired - Fee Related CN206683816U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201720399245.5U CN206683816U (zh) 2017-04-17 2017-04-17 一种水冷真空测量缓冲管

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201720399245.5U CN206683816U (zh) 2017-04-17 2017-04-17 一种水冷真空测量缓冲管

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206683816U true CN206683816U (zh) 2017-11-28

Family

ID=60400438

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201720399245.5U Expired - Fee Related CN206683816U (zh) 2017-04-17 2017-04-17 一种水冷真空测量缓冲管

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206683816U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107976279A (zh) * 2017-12-15 2018-05-01 北京创昱科技有限公司 一种真空测量装置
CN108831818A (zh) * 2018-06-27 2018-11-16 江苏振华新云电子有限公司 电离规的保护装置
CN109443046A (zh) * 2018-12-13 2019-03-08 无锡锡源真空设备有限公司 真空计冷却器
CN112284604A (zh) * 2020-11-05 2021-01-29 南京沃天科技有限公司 一种耐高温压力变送器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107976279A (zh) * 2017-12-15 2018-05-01 北京创昱科技有限公司 一种真空测量装置
WO2019114243A1 (zh) * 2017-12-15 2019-06-20 北京创昱科技有限公司 真空测量装置
CN108831818A (zh) * 2018-06-27 2018-11-16 江苏振华新云电子有限公司 电离规的保护装置
CN108831818B (zh) * 2018-06-27 2021-01-05 江苏振华新云电子有限公司 电离规的保护装置
CN109443046A (zh) * 2018-12-13 2019-03-08 无锡锡源真空设备有限公司 真空计冷却器
CN112284604A (zh) * 2020-11-05 2021-01-29 南京沃天科技有限公司 一种耐高温压力变送器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206683816U (zh) 一种水冷真空测量缓冲管
CN106940215B (zh) 一种智能补偿内置式汽包液位测量装置
CN205067153U (zh) 水环境检测装置
CN102865951A (zh) 用于高速公路路基内部压力检测的压阻式传感器
CN100392362C (zh) 一种密封油罐液位变送器
CN202083421U (zh) 流量测量孔板及收集井流量测量节流装置
CN203585695U (zh) 一种风管组件及其测压装置
CN204679142U (zh) 一种导压式水位测量装置
CN206145345U (zh) 一种可检测温度以及介质流速的波纹管挤塑补偿器
CN202351154U (zh) 烧结混合料透气性检测装置
CN210883632U (zh) 一种用于立式储罐的虹吸式液位计量装置
CN104535128A (zh) 低压饱和湿气体流量精确计量方法
CN104142285A (zh) 一种用于测量贮油罐内原油参数的装置
CN102759494A (zh) 一种测量脱硫塔浆液密度的取源装置及方法
CN211137254U (zh) 一种用于波纹管的管道加工机
CN206438202U (zh) 一种多晶铸锭炉余料测量装置
CN207907976U (zh) 水晶加工车间用低位安装的温压补偿测量装置
CN206891531U (zh) 一种考虑温度变化的真空预压下地下水位测量装置
CN205898360U (zh) 一种小型化烟道压差测量装置
CN202770728U (zh) 一种测量脱硫塔浆液密度的取源装置
CN206802560U (zh) 真空探针台耐高压专用型焊接波纹管
CN201555784U (zh) 短探杆流体闭环式一体化在线液体密度测试变送器
CN206556730U (zh) 一种高精度钟罩式气体流量检测装置
CN110589277A (zh) 一种用于立式储罐的虹吸式液位计量装置
CN206876268U (zh) 一种投入式液位测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20171128

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee