CN206624934U - 金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，该装置包括呈上下层结构分布的两个工艺槽和位于每个工艺槽内的多个喷砂管组；每个工艺槽的侧边均安装有与对应工艺槽内对应喷砂管组相连接的喷砂管连接管路，搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的喷砂管组内，并由喷砂管组喷到对应的工艺槽内；该装置还包括混砂搅动机构和设置在安装在每个工艺槽内且位于每个喷砂管组的出口下方的移动拨架，混砂搅动机构与移动拨架驱动连接，混砂搅动机构驱动后，移动拨架带动对应的喷砂管组进行左右移动。本实用新型可以做到一条生产线同时生产多条线锯；同时，保证了混砂的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀设备领域，尤其涉及一种金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置。
背景技术
随着国家新能源战略计划的制定和实施及半导体行业的发展，尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大，对硅片的厚度不断降低，对切割精度越来越高，从而对金刚石线锯的生产设备要求也越来越高。金刚石线锯在生产时，镀金刚石工艺段在整个生产工艺流程中是非常至关重要的，金刚石微粉在母线上覆盖的颗料数及牢固性都直接影响着产品的品质。目前多数厂商在生产金刚石线锯时，它的混砂、喷砂装置多数都是使用埋砂法，它的工作原理是用输送泵把搅拌好的镀液输送到一立式锥形工艺槽内，母线从工艺槽锥底往上通过，在加以一定的直流电流，从而实现在母线上镀金刚石的功能。采用这种方法主要就是生产速度慢，一条生产线同时只能生产一条线锯，这样就加大了设备的投入成本，以不利于节能降耗。
发明内容
针对上述技术中存在的不足之处，本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，该装置可以提高生产速度，加大产能，且可以做到一条生产线同时生产多条线锯，在混砂均匀性方面都有很大的提升。
为实现上述目的，本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，包括呈上下层结构分布的两个工艺槽和位于每个工艺槽内的多个喷砂管组，每个喷砂管组均由多根前后分布且相互平行的喷砂管组成；每个工艺槽的侧边均安装有与对应工艺槽内对应喷砂管组相连接的喷砂管连接管路，搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的喷砂管组内，并由喷砂管组喷到对应的工艺槽内；该装置还包括混砂搅动机构和设置在安装在每个工艺槽内且位于每个喷砂管组的出口下方的移动拨架，所述混砂搅动机构与移动拨架驱动连接，混砂搅动机构驱动后，移动拨架带动对应的喷砂管组进行左右移动。
其中，每个工艺槽内壁上均安装有用于感应镀液在工艺槽内的位置的控制感应片；每个喷砂管连接管路上均安装有控制阀门。
其中，所述混砂搅动机构包括同步轮、同步带、传动马达和与每个移动拨架相连接的移动拨架滑块，所述传动马达与同步轮驱动连接，且所述同步轮通过同步带与移动拨架滑块驱动连接，所述传动马达工作后，驱动同步轮和同步带带动移动拨架滑块滑动，并带动每个移动拨架进行左右移动。
其中，所述混砂搅动机构还包括设置在上层工艺槽侧边的导向轴，所述移动拨架滑块位于导向轴的侧边，且沿着导向轴进行左右移动。
其中，每个移动拨架上均设置有多个呈前后分布的多个卡位，每个喷砂管均固定在对应的卡位内。
其中，每个喷砂管均包括内层管和外层管，所述内层管套接在内层管内；且每个内层管和每个内层管上均设置有相通的喷孔；搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的内层管，内层管内的镀液通过内层管的喷孔流入到外层管，再由外层管的喷孔喷出。
本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型提供的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，设置呈上下层结构分布的两个工艺槽，且在每个工艺槽内设置多个喷砂管组，每个喷砂管组由多个喷砂管组成；搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的喷砂管组内，并由喷砂管组喷到对应的工艺槽内；上述结构的改进，可以做到一条生产线同时生产4条、6条等多条线锯；同时，设置混砂搅动机构和在每个喷砂管组的出口下方设置有移动拨架位，工作时移动拨架会按照设定的速度及路径左右移动，目的是减少金刚石微粉在镀液里的下沉速度，从而更好的保证镀液的均匀性，进而在混砂均匀性方面有很大的提升。本实用新型提高生产速度，且加大了产能。
附图说明
图1为本实用新型的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置的结构图。
主要元件符号说明如下：
10、工艺槽 11、喷砂管组
111、喷砂管 12、喷砂管连接管路
13、混砂搅动机构 14、移动拨架
15、控制感应片 16、控制阀门
131、同步轮 132、同步带
133、传动马达 134、移动拨架滑块
135、导向轴 141、卡位
1111、内层管 1112、外层管。
具体实施方式
为了更清楚地表述本实用新型，下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。
请参阅图1，本实用新型提供的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，包括呈上下层结构分布的两个工艺槽10和位于每个工艺槽内的多个喷砂管组11，每个喷砂管组11均由多根前后分布且相互平行的喷砂管111组成；每个工艺槽10的侧边均安装有与对应工艺槽10内对应喷砂管11组相连接的喷砂管连接管路12，搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路12输送到对应的喷砂管组11内，并由喷砂管组11喷到对应的工艺槽10内；该装置还包括混砂搅动机构13和设置在安装在每个工艺槽10内且位于每个喷砂管组11的出口下方的移动拨架14，混砂搅动机构13与移动拨架14驱动连接，混砂搅动机构13驱动后，移动拨架14带动对应的喷砂管组11进行左右移动。由于设置两个工艺槽，且每个工艺槽内设置多个喷砂管组11，该图中每个工艺槽内有两个喷砂管组11，由此每个工艺槽内可同时放置多条线锯，由此实现了同一个工艺槽内多条线锯如4条、6条的同时生产。
相较于现有技术的情况，本实用新型提供的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，设置呈上下层结构分布的两个工艺槽，且在每个工艺槽内设置多个喷砂管组，每个喷砂管组由多个喷砂管组成；搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的喷砂管组内，并由喷砂管组喷到对应的工艺槽内；上述结构的改进，可以做到一条生产线同时生产4条、6条等多条线锯；同时，设置混砂搅动机构和在每个喷砂管组的出口下方设置有移动拨架位，工作时移动拨架会按照设定的速度及路径左右移动，目的是减少金刚石微粉在镀液里的下沉速度，从而更好的保证镀液的均匀性，进而在混砂均匀性方面有很大的提升。本实用新型提高生产速度，加大了产能，且安装维护方便。
在本实施例中，每个工艺槽10内壁上均安装有用于感应镀液在工艺槽内的位置的控制感应片15；每个喷砂管连接管路12上均安装有控制阀门16。控制感应片15可感应镀液在工艺槽内的水位，当达到一定的水位后，该控制感应片15感应到，并将感应信号发送给控制器进行处理，处理完成后控制混砂搅动机构开启工作。控制阀门16控制镀液的输送。
在本实施例中，混砂搅动机构13包括同步轮131、同步带132、传动马达133和与每个移动拨架相连接的移动拨架滑块134，传动马达133与同步轮131驱动连接，且同步轮131通过同步带132与移动拨架滑块134驱动连接，传动马达133工作后，驱动同步轮131和同步带132带动移动拨架滑块134滑动，并带动每个移动拨架14进行左右移动。混砂搅动机构13还包括设置在上层工艺槽侧边的导向轴135，移动拨架滑块134位于导向轴135的侧边，且沿着导向轴135进行左右移动。工作时移动拨架在混砂搅动机构的驱动下，会按照设定的速度及路径左右移动，目的是减少金刚石微粉在镀液里的下沉速度，从而更好的保证镀液的均匀性
在本实施例中，每个移动拨架14上均设置有多个呈前后分布的多个卡位141，每个喷砂管111均固定在对应的卡位141内。该结构的设计，使得喷砂管与移动拨架的固定结构更加稳定。
在本实施例中，每个喷砂管111均包括内层管1111和外层管1112，内层管套接在内层管内；且每个内层管和每个内层管上均设置有相通的喷孔；搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的内层管，内层管内的镀液通过内层管的喷孔流入到外层管，再由外层管的喷孔喷出。将喷砂管设计成内外层结构，进一步保证了镀液的均匀性。
以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例，但是本实用新型并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，其特征在于，包括呈上下层结构分布的两个工艺槽和位于每个工艺槽内的多个喷砂管组，每个喷砂管组均由多根前后分布且相互平行的喷砂管组成；每个工艺槽的侧边均安装有与对应工艺槽内对应喷砂管组相连接的喷砂管连接管路，搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的喷砂管组内，并由喷砂管组喷到对应的工艺槽内；该装置还包括混砂搅动机构和设置在安装在每个工艺槽内且位于每个喷砂管组的出口下方的移动拨架，所述混砂搅动机构与移动拨架驱动连接，混砂搅动机构驱动后，移动拨架带动对应的喷砂管组进行左右移动。
2.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，其特征在于，每个工艺槽内壁上均安装有用于感应镀液在工艺槽内的位置的控制感应片；每个喷砂管连接管路上均安装有控制阀门。
3.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，其特征在于，所述混砂搅动机构包括同步轮、同步带、传动马达和与每个移动拨架相连接的移动拨架滑块，所述传动马达与同步轮驱动连接，且所述同步轮通过同步带与移动拨架滑块驱动连接，所述传动马达工作后，驱动同步轮和同步带带动移动拨架滑块滑动，并带动每个移动拨架进行左右移动。
4.根据权利要求3所述的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，其特征在于，所述混砂搅动机构还包括设置在上层工艺槽侧边的导向轴，所述移动拨架滑块位于导向轴的侧边，且沿着导向轴进行左右移动。
5.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，其特征在于，每个移动拨架上均设置有多个呈前后分布的多个卡位，每个喷砂管均固定在对应的卡位内。
6.根据权利要求5所述的金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置，其特征在于，每个喷砂管均包括内层管和外层管，所述内层管套接在内层管内；且每个内层管和每个内层管上均设置有相通的喷孔；搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的内层管，内层管内的镀液通过内层管的喷孔流入到外层管，再由外层管的喷孔喷出。
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| CN201720293227.9U CN206624934U (zh) | 2017-03-24 | 2017-03-24 | 金刚石电镀设备上的混砂、喷砂装置 |
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| CN (1) | CN206624934U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108396358A (zh) * | 2018-06-04 | 2018-08-14 | 西安康控科尼电子科技有限公司 | 金刚线上砂设备的分层式上砂管道 |
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2017
- 2017-03-24 CN CN201720293227.9U patent/CN206624934U/zh active Active
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