CN206619609U - 一种刻蚀槽支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，尤其为一种刻蚀槽支架，包括主支架、副支架以及安装块，所述主支架的两侧壁活动连接于刻蚀槽内侧壁上，所述副支架的两侧壁分别活动连接于刻蚀槽外侧壁和储液槽内侧壁上，所述刻蚀槽底壁以及储液槽底壁均固定有安装块，所述主支架远离安装槽一的一侧以及副支架远离安装槽二的一侧均开设有安装孔，所述齿条与齿轮相互啮合。本实用新型在使用过程中两根支架的所有卡点处磨损速度相当，大大节约了材料，而且主支架和副支架的水平高度可以自主进行调节，可以很好的延长主支架和副支架的使用寿命，并且可以预防因支架磨损带来的化学药品用量增加的问题，十分有效。

Description

一种刻蚀槽支架

技术领域

本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，具体为一种刻蚀槽支架。

背景技术

在制造太阳能电池板的过程中，刻蚀是一个必不可少的步骤，刻蚀主要就是指将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术，刻蚀槽内部安装有支架，刻蚀槽支架对水膜产品反应非常敏感，水平差异稍大或者稍有磨损就会导致硅片板上的水膜破裂甚至产品不良，刻蚀槽支架浸在刻蚀槽药液里的部分其磨损相对均匀，且短时间无明显差异。

但是现有技术中，刻蚀槽支架存在以下几点明显的缺陷：1、刻蚀槽支架在出槽处有10cm的长度是在刻蚀槽槽体之外的，没有药液浸润，磨损速度会成倍数增加，磨损后会导致硅片的水膜破裂，从而稀释刻蚀药液，造成药液使用量增加，增加成本；2、现有技术中，在刻蚀槽内部和外部的支架属于一体成型结构，当支架的内、外部任意一部分位置发生磨损，就难以满足生产需求，必须进行更换，非常浪费资源。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种刻蚀槽支架，以解决上述背景技术中提出的问题。所述的刻蚀槽支架具有可以使得在使用过程中两根支架的所有卡点处磨损速度相当，更换磨损支架时大大节约了材料，并且可以很好的延长主支架和副支架的使用寿命，并且可以预防因支架磨损带来的化学药品用量增加的问题，十分有效的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种刻蚀槽支架，包括主支架、副支架以及安装块，所述主支架的两侧壁活动连接于刻蚀槽内侧壁上，所述副支架的两侧壁分别活动连接于刻蚀槽外侧壁和储液槽内侧壁上，所述刻蚀槽底壁以及储液槽底壁均固定有安装块， 所述主支架远离刻蚀槽底壁的一侧开设有安装槽一，所述副支架远离储液槽底壁的一侧开设有安装槽二；

所述主支架远离安装槽一的一侧以及副支架远离安装槽二的一侧均开设有安装孔，所述安装孔内活动设置有顶块，所述顶块远离安装槽一一端开设有螺纹孔，所述螺纹孔中活动插设有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿安装孔下壁开设的插孔并固定于转动柱上，所述转动柱中部固定套设有齿轮，且所述转动柱转动插设于中心柱上，所述中心柱固定于基板上，所述基板固定于安装块上；

所述安装块内部开设有滑道，所述滑道中活动设置有滑块，所示滑块通过连接杆固定有齿条，所述齿条与齿轮相互啮合。

优选的，所述主支架靠近刻蚀槽底壁的一侧开设有配合槽。

优选的，所述齿条上还固定有牵引块。

优选的，所述安装孔上壁固定有套管，所述套管转动套设于顶块上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型将原有刻蚀槽支架在刻蚀槽侧壁位置处切开，使得一根支架分为主支架和副支架两根，分别安装在刻蚀槽内部和刻蚀槽以外的部分，这样在使用过程中两根支架的所有卡点处磨损速度相当，而且主支架和副支架中的任意一根磨损严重导致必须更换时，只需要更换主支架或者副支架其中损坏的一根，不要两根同时更换，大大节约了材料。

本实用新型中主支架和副支架的水平高度可以自主进行调节，通过基板的支撑作用，以及齿条和齿轮的啮合，当齿轮转动带动螺纹杆转动时，由于螺纹杆不能发生位移，所以顶块就会发生上下方向的位移，从而带动主支架或副支架完成高度的调节，可以很好的延长主支架和副支架的使用寿命，并且可以预防因支架磨损带来的化学药品用量增加的问题，十分有效。

附图说明

图1为原有刻蚀槽支架的结构示意图；

图2为本实用新型结构示意图；

图3为本实用新型中转动柱与顶块连接结构示意图；

图4为本实用新型中齿轮与齿条连接结构示意图。

图中：1主支架、2副支架、3刻蚀槽、4储液槽、5安装槽一、6安装槽二、7安装孔、71顶块、72螺纹杆、73套管、8安装块、81滑道、82滑块、83连接杆、9转动柱、91齿轮、92中心柱、93基板、10齿条、11插孔、12牵引块、13配合槽、14原有刻蚀槽支架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种刻蚀槽支架，包括主支架1、副支架2以及安装块8，主支架1的两侧壁活动连接于刻蚀槽3内侧壁上，副支架2的两侧壁分别活动连接于刻蚀槽3外侧壁和储液槽4内侧壁上，将原有刻蚀槽支架14一分为二，相互配合的主支架1和副支架2处于同一竖直面上，刻蚀槽3底壁以及储液槽4底壁均固定有安装块8，安装块8用来对主支架1和副支架2进行安装和支撑，主支架1远离刻蚀槽3底壁的一侧开设有安装槽一5，安装槽一5用来安装刻蚀槽3内部所需的滚轮，主支架1靠近刻蚀槽3底壁的一侧开设有配合槽13，配合槽13的设置是为了方便刻蚀槽3内腔底壁所需要放置的东西，例如用于刻蚀槽3内溶液循环的装置，副支架2远离储液槽4底壁的一侧开设有安装槽二6，安装槽二6也用来安装滚轮。

主支架1远离安装槽一5的一侧以及副支架2远离安装槽二6的一侧均开设有安装孔7，安装孔7均匀的分布在主支架1和副支架2的下端，安装孔7上壁固定有套管73，安装孔7内活动设置有顶块71，套管73转动套设于顶块71上，套管73内壁与顶块71外壁相互活动接触，套管73对顶块71提供一个更大的摩擦力，使得其更容易上升和下降，完成水平高度调节。

述顶块71远离安装槽一5一端开设有螺纹孔，螺纹孔开口向下，螺纹孔中活动插设有螺纹杆72，螺纹孔与螺纹杆72之间通过螺纹配合，在螺纹杆72在螺纹孔内转动时，使得顶块71可以实现上升和下降，螺纹杆72贯穿安装孔7下壁开设的插孔11并固定于转动柱9上，螺纹杆72通过转动柱9带动转动，转动柱9中部固定套设有齿轮91，齿轮91通过键连接的方式固定在转动柱9上，且转动柱9转动插设于中心柱92上，转动柱9在随着齿轮91一起转动时，以中心柱92为转动中心，中心柱92固定于基板93上，基板93不光起到对中心柱92安装固定的效果，还对整个支架起到支撑作用，基板93固定于安装块8上。

安装块8内部开设有滑道81，滑道81中活动设置有滑块82，滑块82可以在滑道81平滑的做水平运动，所示滑块82通过连接杆83固定有齿条10，齿条10与齿轮91相互啮合，当齿条10受到外力运动时，滑块82对齿条10进行运动方向上的限位，使齿条10只能在水平方向上做直线运动，从而带动齿轮91运动，完成上述顶块71的升降，齿条10上还固定有牵引块12，牵引块12的设置，使得齿条10更加容易接受外力，非常方便。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种刻蚀槽支架，包括主支架(1)、副支架(2)以及安装块(8)，其特征在于：所述主支架(1)的两侧壁活动连接于刻蚀槽(3)内侧壁上，所述副支架(2)的两侧壁分别活动连接于刻蚀槽(3)外侧壁和储液槽(4)内侧壁上，所述刻蚀槽(3)底壁以及储液槽(4)底壁均固定有安装块(8)，所述主支架(1)远离刻蚀槽(3)底壁的一侧开设有安装槽一(5)，所述副支架(2)远离储液槽(4)底壁的一侧开设有安装槽二(6)；

所述主支架(1)远离安装槽一(5)的一侧以及副支架(2)远离安装槽二(6)的一侧均开设有安装孔(7)，所述安装孔(7)内活动设置有顶块(71)，所述顶块(71)远离安装槽一(5)一端开设有螺纹孔，所述螺纹孔中活动插设有螺纹杆(72)，所述螺纹杆(72)贯穿安装孔(7)下壁开设的插孔(11)并固定于转动柱(9)上，所述转动柱(9)中部固定套设有齿轮(91)，且所述转动柱(9)转动插设于中心柱(92)上，所述中心柱(92)固定于基板(93)上，所述基板(93)固定于安装块(8)上；

所述安装块(8)内部开设有滑道(81)，所述滑道(81)中活动设置有滑块(82)，所示滑块(82)通过连接杆(83)固定有齿条(10)，所述齿条(10)与齿轮(91)相互啮合。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀槽支架，其特征在于：所述主支架(1)靠近刻蚀槽(3)底壁的一侧开设有配合槽(13)。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀槽支架，其特征在于：所述齿条(10)上还固定有牵引块(12)。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀槽支架，其特征在于：所述安装孔(7)上壁固定有套管(73)，所述套管(73)转动套设于顶块(71)上。