CN206562471U - 一种电镀机及其隔膜支撑件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种电镀机及其隔膜支撑件，涉及半导体生产技术领域，隔膜支撑件包括由多个正六边形环依次相连组成单层蜂窝型板，相邻的所述正六边形环均呈共边排列，正六边形环的中空部分构成电解液的通过开口，正六边形环的内钝角为120°，正六边形环的外锐角为60°。本实用新型采用蜂巢型结构的隔膜支撑件，中心点的支撑比现有设计更有力，且蜂巢式力学结构更稳定，可以满足提升需求；蜂巢型结构中相邻六边型的边交叉点为受力强点，隔膜支撑件的受力强点分布均匀，能有效增加支撑强度。

Description

一种电镀机及其隔膜支撑件

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，特别是涉及一种电镀机及其隔膜支撑件。

背景技术

诸如半导体装置的微电子装置通常是制造在基板或晶圆上和/或制造在所述基板或晶圆中。在典型制造工艺中，一或多层金属或其他导电材料是形成在电镀机中的晶圆上。电镀机可具有保持在电解液收容槽中的电解液浴，其中一或多个阳极在所述电解液收容槽中。晶圆本身可被保持在盖体中的转子中，所述盖体可移动到电解液收容槽中以便处理以及移动离开电解液收容槽以便装卸。转子上的接触环通常具有大量接触指，所述接触指与晶圆产生电接触。隔膜可位于电解液收容槽中且在阳极和晶圆之间。隔膜允许某些离子通过，而阻止其他分子通过，改进的电镀结果和性能。

在许多电镀机中，隔膜是经由机械支撑件支撑在盖体和底部上。隔膜材料被浸湿时可能显著地膨胀。由于电解液收容槽中的液体压力，导致隔膜材料伸展。如果隔膜没有被支撑，那么隔膜可能倾向于下垂，影响阳极与电镀液的接触面积。

现有技术中公开了一种隔膜支撑件，如图1所示，该隔膜支撑件呈雪花片状，具有数个间隔开的径向臂和在所述径向壁之间的楔形通过开口，隔膜安装于该隔膜支撑件的上侧。但是该隔膜支撑件因自身设计原因，在晶圆作业的高温环境下常常发生形变，而导致隔膜往下坠落。因此，需要频繁的更换隔膜支撑件，而且拆装过程中，可能导致隔膜损坏，增加经济成本。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种电镀机及其隔膜支撑件，用于解决现有技术中隔膜支撑件容易发生形变，导致隔膜下垂的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种用于电镀机的隔膜支撑件，所述隔膜支撑件包括由多个正六边形环依次相连组成单层蜂窝型板，相邻的所述正六边形环均呈共边排列，所述正六边形环的中空部分构成电解液的通过开口，所述正六边形环的内钝角为120°，所述正六边形环的外锐角为60°。

于本实用新型的一实施方式中，所述隔膜支撑件厚度为0.1-0.5mm。

于本实用新型的一实施方式中，所述正六边形环的边宽为0.5-0.9mm。

于本实用新型的一实施方式中，所述正六边形环的边长为50-60mm。

于本实用新型的一实施方式中，所述单层蜂窝型板由聚醚醚酮材质构成。

于本实用新型的一实施方式中，所述单层蜂窝型板由全氟烷氧基树脂材质构成。

本实用新型还公开一种电镀机，包括：电解液收容槽；隔膜，设置于所述电解液收容槽中，以将所述电解液收容槽分割成上、下两个腔室；如上述所述的用于电镀机的隔膜支撑件，设置于所述隔膜下侧；盖体，其设置于所述电解液收容槽的上侧，其具有用于移动晶圆的转子，以适于所述盖体可将晶圆放置于所述电解液收容槽中。

于本实用新型的一实施方式中，所述隔膜的周边覆盖于所述隔膜支撑件的周边上，且且所述隔膜的周边、所述隔膜支撑件的周边均由所述电解液收容槽的周边密封和/或夹持元件进行夹紧。

于本实用新型的一实施方式中，所述隔膜支撑件呈向下凹形。

如上所述，本实用新型的电镀机及其隔膜支撑件，具有以下有益效果：

本实用新型采用蜂巢型结构的隔膜支撑件，中心点的支撑比现有设计更有力，且蜂巢式力学结构更稳定，可以满足提升需求；蜂巢型结构中相邻六边型的边交叉点为受力强点，隔膜支撑件的受力强点分布均匀，能有效增加支撑强度。

附图说明

图1为现有技术中隔膜支撑件的结构示意图。

图2为本实用新型的电镀机的结构剖视图。

图3为本实用新型的隔膜支撑件的结构示意图。

元件标号说明

1 电镀机

11 电解液收容槽

12 盖体

13 隔膜

14 上腔室

15 下腔室

16 隔膜支撑件

17 周边密封

18 晶圆

161 正六边形环

162 通过开口

163 边缘

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图2至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图2所示，本实用新型提供一种电镀机1，包括：电解液收容槽11、隔膜13、隔膜支撑件16和盖体12。隔膜13设置于电解液收容槽11中，以将电解液收容槽11分割成上腔室14、下腔室15两个部分，下腔室15包含在隔膜13下方的一或多个阳极和阳极电解液，上腔室14包含阴极电解液；隔膜支撑件16设置于隔膜13下侧，从下方支撑隔13，隔膜13和隔膜支撑件16的边缘可经由周边密封17和/或夹持元件夹紧；盖体12具有用于移动晶圆18的转子，盖体12通过转子可将晶圆18放置于电解液收容槽11中。

隔膜支撑件16可以由柔性材质构成，比如薄塑料材料，作为示例，薄塑料材料为全氟烷氧基树脂材质(PFA)或聚醚醚酮(PEEK)。隔膜支撑件16的板厚度控制在0.1-0.5mm。作为示例，隔膜支撑件16的板厚度为0.4mm。

如图3所示，隔膜支撑件16包括由多个正六边形环161依次相连组成单层蜂窝型板以及设置于单层蜂窝型板周围的边缘163，相邻的正六边形环161均呈共边排列，正六边形环161的中空部分构成电解液的通过开口162，正六边形环161的内钝角为120°，正六边形环161的外锐角为60°。正六边形环161在隔膜13上的任一点至任何下部支撑表面的最大尺寸可以降低。隔膜支撑件16呈向下凹形，使得隔膜支撑件16更加接近且均匀地符合隔膜13的所需形状和位置，使得隔膜13可被保持在隔膜支撑件16之上的位置，避免隔膜13显著地下垂或折叠。

正六边形环161的边宽为0.5-0.9mm；作为示例，正六边形环161的边宽为0.7mm。正六边形环161的边长为50-60mm；作为示例，正六边形环161的边长为57.8mm。

边缘163可设计成圆形、椭圆形、方形等形状。作为示例，边缘163呈圆形，如图所示。

如上所述，本实用新型采用蜂巢型结构的隔膜支撑件，中心点的支撑比现有设计更有力，且蜂巢式力学结构更稳定，可以满足提升需求；蜂巢型结构中相邻六边型的边交叉点为受力强点，隔膜支撑件的受力强点分布均匀，能有效增加支撑强度。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (9)

1.一种用于电镀机的隔膜支撑件，其特征在于，所述隔膜支撑件包括由多个正六边形环依次相连组成的单层蜂窝型板，相邻的所述正六边形环均呈共边排列，所述正六边形环的中空部分构成电解液的通过开口，所述正六边形环的内钝角为120°，所述正六边形环的外锐角为60°。

2.如权利要求1所述的用于电镀机的隔膜支撑件，其特征在于，所述隔膜支撑件厚度为0.1-0.5mm。

3.如权利要求1所述的用于电镀机的隔膜支撑件，其特征在于，所述正六边形环的边宽为0.5-0.9mm。

4.如权利要求1所述的用于电镀机的隔膜支撑件，其特征在于，所述正六边形环的边长为50-60mm。

5.如权利要求1所述的用于电镀机的隔膜支撑件，其特征在于，所述单层蜂窝型板由聚醚醚酮材质构成。

6.如权利要求1所述的用于电镀机的隔膜支撑件，其特征在于，所述单层蜂窝型板由全氟烷氧基树脂材质构成。

7.一种电镀机，其特征在于，包括：

电解液收容槽；

隔膜，设置于所述电解液收容槽中，以将所述电解液收容槽分割成上、下两个腔室；

如权利要求1至6任一所述的用于电镀机的隔膜支撑件，设置于所述隔膜下侧；

盖体，其设置于所述电解液收容槽的上侧，其具有用于移动晶圆的转子，以适于所述盖体可移动将晶圆放置于所述电解液收容槽中。

8.如权利要求7所述的电镀机，其特征在于，所述隔膜的周边覆盖于所述隔膜支撑件的周边上，且所述隔膜的周边、所述隔膜支撑件的周边均由所述电解液收容槽的周边密封和/或夹持元件进行夹紧。

9.如权利要求7所述的电镀机，其特征在于，所述隔膜支撑件呈向下凹形。