CN206441704U - 用于劈裂工艺的分离设备的作用装置 - Google Patents

Abstract

一种用于劈裂工艺的分离设备的作用装置，包括：撞击部、连动结构以及与该撞击部相间隔设置的作用源，该连动结构具有相对的第一侧与第二侧，该第一侧连接动力源，以带动该撞击部位移，以于进行劈裂作业时，藉由该动力源带动该连动结构以令该撞击部位移而撞击该作用源，致使该作用源劈裂晶圆。

Description

用于劈裂工艺的分离设备的作用装置

技术领域

本实用新型关于一种分离设备，尤指一种可用于劈裂工艺的分离设备的作用装置。

背景技术

现有半导体工艺中，晶圆于制造完成后，会进行薄化工艺、切单工艺、封装工艺等，其中，切单工艺的方式繁多，例如：激光切割、机械切割、劈裂分离等。

如图1A及1B所示，现有劈裂式分离设备1包括：一机台本体(图略)、一设于该机台本体下侧的基座10、一设于该机台本体上侧的劈裂装置12、以及一设于该基座10上的贴膜13。

于进行劈裂作业时，先将一具有多个预切割道80的晶圆8黏贴于该贴膜 13上，再将该劈裂装置12的劈刀120对位于其中一预切割道80上，并利用该劈裂装置12的震动件121撞击该劈刀120，使该劈刀120碰触该晶圆8对应该预切割道80的背面位置A，以令该晶圆8沿该预切割道80裂开(如裂痕S)。之后重复上述该劈裂装置12的劈裂步骤，以于该晶圆8背面的直向与横向上劈裂各该预切割道80，使该晶圆8分离成多个晶粒8a。

现有劈裂装置12中，如图1C所示，该震动件121包括一内壁具有电磁线圈122a的壳体122、设于该壳体122中的击针121a、及套设于该击针121a 后端的弹簧123。于进行劈裂作业时，将该电磁线圈122a通电以带动该击针 121a向下锤击该劈刀120，同时带动该弹簧123产生形变。之后藉由该弹簧 123带动该击针121a回到初始位置。

然而，现有劈裂式分离设备中，该击针121a设于具有该电磁线圈122a 的壳体122中，且因该壳体122与该击针121a之间具有间隙t，因而不易控制该击针121a相对该壳体122的同心度，故当该击针121a透过该弹簧123 回到原始位置时，该击针121a容易倾斜(如第1D图所示)，致使后续该击针121a再次锤击该劈刀120时，该击针121a会与该壳体122发生摩擦，不仅会产生粉尘而污损该晶圆8，且会影响敲击力道而无法有效劈裂该晶圆8。

因此，如何克服现有技术的种种问题，实为一重要课题。

发明内容

为解决上述现有技术的问题，本实用新型遂提供一种用于劈裂工艺的分离设备的作用装置，以避免污损晶圆。

本实用新型遂揭露一种用于劈裂工艺的分离设备的作用装置，包括：撞击部；连动结构，其具有相对的第一侧与第二侧，该第一侧连接动力源，以带动该撞击部位移；以及作用源，其与该撞击部相间隔设置。

前述的作用装置中，该动力源为音圈马达。

前述的作用装置中，该作用源为物理供力结构，例如，该作用源是为劈刀。

前述的作用装置中，该撞击部为板体或杆体。

前述的作用装置中，该撞击部设于该动力源上。

前述的作用装置中，还包括该线性位移结构，其连接该连动结构。例如，该线性位移结构为滑轨结构或线性轴承结构。

由上可知，本实用新型的作用装置中，主要藉由该连动结构的第一侧连接该动力源，而非将该连动结构设于该动力源中，故相较于现有技术，该连动结构不会与该动力源发生摩擦，因而不会产生粉尘，进而避免污损晶圆的问题。

再者，藉由该线性位移结构连接该连动结构，使该连动结构于进行劈裂作业时不会发生倾斜，故相较于现有技术，本实用新型的作用装置能有效控制该连动结构的敲击力道，以有效劈裂晶圆。

附图说明

图1A为现有分离设备的剖面示意图；

图1B为图1A的局部放大示意图；

图1C为图1B的劈裂装置的放大侧视示意图；

图1D为图1C的实际情况的侧视示意图；

图2A为本实用新型的作用装置的第一实施例的侧视示意图；

图2B为本实用新型的作用装置的第二实施例的侧视示意图；

图3为本实用新型的作用装置的第三实施例的侧视示意图；

图4A为本实用新型的作用装置的第四实施例的立体示意图；以及

图4B为图4A的侧视剖面示意图。

其中，附图标记说明如下：

1 分离设备

10 基座

12 劈裂装置

120 劈刀

121 震动件

121a,301 击针

122,30a,40a 壳体

122a,300 电磁线圈

123,302 弹簧

13 贴膜

2a,2b,3 作用装置

20,30 动力源

200 定子

201 动子

21,31 线性位移结构

210 支撑座

211 线性滑座

22,42 连动结构

22a 第一侧

22b 第二侧

23 基座

24 作用源

25 撞击部

5 固定板

8 晶圆

8a 晶粒

80 预切割道

A 背面位置

d 间隔

S 裂痕

t 间隙

X,Y 箭头方向。

具体实施方式

以下藉由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技艺的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技艺的人士的了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如「上」、「第一」、「第二」及「一」等的用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，也当视为本实用新型可实施的范畴。

图2A为本实用新型的作用装置2a的第一实施例的侧视示意图。如图2A 所示，该作用装置2a包括：一基座23、一设于该基座23上的动力源20、一作用源24、一连动结构22以及一线性位移结构21。

所述的动力源20为音圈马达，其包含一定子200与一动子201，该动子 201连接该连动结构22，该定子200于通电后会作动该动子201。然而，有关该动力源20的种类繁多，并不限于上述。

所述的作用源24为物理供力结构，如劈刀或其它可分离晶圆的类似结构。

所述的连动结构22为杆架结构，其可依需求呈现各种外观结构，且具有相对的第一侧22a与第二侧22b，该第一侧22a连接该动力源20的动子201，而该第二侧22b具有一撞击部25。

于本实施例中，该撞击部25为板体，其与该作用源24之间具有间隔d。

所述的线性位移结构21连接该连动结构22，以令该连动结构22沿直线 (如图2A所示的箭头方向Y)位移。

于本实施例中，该线性位移结构21为滑轨结构，其包含一设于该第一侧 22a与该第二侧22b之间的支撑座210与一设于该支撑座210上的线性滑座 211，且该线性滑座211接合于该连动结构22上，使该连动结构22相对该线性滑座211直线滑移。

于进行分离作业时，以图1B所示的劈裂作业为例，先将该作用源24对位于其中一预切割道80上，再将该动力源20通电以令该动子201作动该连动结构22，使该撞击部25撞击该作用源24，致使该作用源24劈裂该晶圆8 而分离成多个晶粒8a。

本实用新型的作用装置2a藉由该连动结构22的第一侧22a连接该动力源20，而非将该连动结构22设于该动力源20中，故相较于现有技术，该连动结构22不会与该动力源20发生摩擦，因而不会产生粉尘，进而避免污损晶圆的问题。

再者，藉由该线性位移结构21的设计，该连动结构22于进行分离作业时不会发生倾斜，故相较于现有技术，本实用新型的作用装置2a能有效控制该撞击部25的敲击力道，以有效劈裂晶圆。

图2B为本实用新型的作用装置2b的第二实施例的侧视示意图。本实施例将该线性位移结构21与该连动结构22连接如图1C所示的震动件的结构，以改良现有技术的缺失。

如图2B所示，该线性位移结构21包含一固定于环境(如壁面或固定板 5)的支撑座210与一可滑移于该支撑座210上的线性滑座211，且该线性滑座211固接该连动结构22的第二侧22b。

于本实施例中，该动力源30包括一内壁具有电磁线圈300的壳体30a、设于该壳体30a中的击针301、及套设于该击针301后端的弹簧302，该电磁线圈300于通电后会作动该击针301，且该连动结构22的第一侧22a固接该击针301后端，而该击针301的前端一体设有如杆体的撞击部25。

当该电磁线圈300作动该击针301时，由于该线性滑座211会沿该支撑座210直线滑动(如箭头方向X)而使该连动结构22仅能直线位移，故该连动结构22能控制该击针301稳定可靠地直线位移而不会倾斜。

因此，相较于现有技术，当该击针301透过该弹簧302回到原始位置时，该击针301不会倾斜，故后续该击针301再次锤击该作用源24时，该连动结构22与该击针301不会与该壳体30a发生摩擦，因而不会产生粉尘，进而避免污损晶圆的问题，且能有效控制该撞击部25的敲击力道，以有效劈裂晶圆。

图3为本实用新型的作用装置3的第三实施例的侧视示意图。本实施例与上述实施例的差异在于该线性位移结构31为线性轴承结构。

如图3所示，该连动结构22为杆体，其穿设该线性位移结构31，使该连动结构22可相对该线性位移结构31直线位移。

于本实施例中，将该线性位移结构31与该连动结构22配合如图1C所示的震动件的结构，以改良现有技术的缺失。例如，该动力源30包括一内壁具有电磁线圈300的壳体30a、设于该壳体30a中的击针301、及套设于该击针301后端的弹簧302，该电磁线圈300于通电后会作动该击针301，且该连动结构22的第一侧22a固接该击针301后端，而该击针301的前端一体设有如杆体的撞击部25。

当该电磁线圈300作动该击针301时，由于该连动结构22仅能沿该线性位移结构31直线滑动(如箭头方向X)，故该连动结构22能控制该击针301 稳定可靠地直线位移而不会倾斜。

因此，相较于现有技术，当该击针301透过该弹簧302回到原始位置时，该击针301不会倾斜，故后续该击针301再次锤击该作用源24时，该连动结构22与该击针301不会与该壳体30a发生摩擦，因而不会产生粉尘，进而避免污损晶圆的问题，且能有效控制该撞击部25的敲击力道，以有效劈裂晶圆。

图4A及4B为本实用新型的作用装置的第四实施例的示意图。本实施例与第三实施例的差异在于该线性位移结构与该动子的制作方式。

如图4A及4B所示，该连动结构42为杆体，其与该击针301一体制成为同一杆件，以令该杆件穿设该线性位移结构31，且该杆件与该线性位移结构31装设于壳体40a中，其中，该线性位移结构31为线性轴承结构，且该撞击部25伸出该壳体40a。

同理地，当动力源(如第二实施例的电磁线圈埋设于该壳体40a中)作动该击针301时，该连动结构42能控制该撞击部25稳定可靠地直线位移而不会倾斜。因此，该击针301不会与壳体发生摩擦，因而不会产生粉尘，进而避免污损晶圆的问题。

另外，应可理解地，有关该线性位移结构的种类繁多，其可依需求设计，并不限于上述。

综上所述，本实用新型的作用装置中，主要藉由该连动结构的第一侧连接该动力源，而非将该连动结构设于该动力源中，故该连动结构不会与该动力源发生摩擦，因而不会产生粉尘，进而避免污损晶圆的问题。

再者，藉由该线性位移结构连接该连动结构，使该连动结构于进行劈裂作业时不会发生倾斜，故本实用新型的作用装置能有效控制该连动结构的敲击力道，以有效劈裂晶圆。

上述实施例是用以例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟习此项技艺的人士均可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本实用新型的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (8)

1.一种用于劈裂工艺的分离设备的作用装置，其特征为，该作用装置包括：

撞击部；

连动结构，其具有相对的第一侧与第二侧，该第一侧连接动力源，以带动该撞击部位移；以及

作用源，其与该撞击部相间隔设置。

2.如权利要求1所述的作用装置，其特征为，该动力源为音圈马达。

3.如权利要求1所述的作用装置，其特征为，该作用源为物理供力结构。

4.如权利要求3所述的作用装置，其特征为，该作用源为劈刀。

5.如权利要求1所述的作用装置，其特征为，该撞击部为板体或杆体。

6.如权利要求1所述的作用装置，其特征为，该撞击部设于该动力源上。

7.如权利要求1所述的作用装置，其特征为，该作用装置还包括线性位移结构，其连接该连动结构。

8.如权利要求7所述的作用装置，其特征为，该线性位移结构为滑轨结构或线性轴承结构。