CN206382286U - 晶圆清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆清洗机，包括清洗罐以及与清洗罐可形成密封盖合的上盖，还包括设于清洗罐内用于固定晶圆的固定盘，用于存放乙醇的乙醇箱体，用于存放清洗液的清洗液箱体以及若干管道；上盖设有排气口，清洗罐内安装有超声波震板，上盖的内侧面设有向清洗罐内喷淋清洗液的喷嘴，清洗液箱体的排液口通过设有的管道与喷嘴连接；清洗罐底部设有排液口，乙醇箱体的排液口通过管道与清洗罐的进液口连接，清洗罐的底部设有压缩空气的进气管，进气管内设有加热器以及检测进气管内气体温度的测温探头。它的优点是结合清洗液和超声波对晶圆表面的污垢进行清洗，能够快速干净的清洗晶圆表面的污垢，再通过热空气将晶圆烘干处理，提高了晶圆的清洗效率和速度，同时还能对晶圆进行烘干，工艺简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗技术领域，尤其是一种晶圆清洗机。
背景技术
晶圆表面常残留有污垢，除去其表面污垢的方法是通过人工清洗，这种方法不但清洗不干净，同时效率低下；同时清洗完之后，还需要另外的工序对晶圆进行烘干处理。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种晶圆清洗机。
本实用新型的一种技术方案：
一种晶圆清洗机，包括清洗罐以及与清洗罐可形成密封盖合的上盖，还包括设于清洗罐内用于固定晶圆的固定盘，用于存放乙醇的乙醇箱体，用于存放清洗液的清洗液箱体以及若干管道；上盖设有排气口，清洗罐内安装有超声波震板，上盖的内侧面设有向清洗罐内喷淋清洗液的喷嘴，清洗液箱体的排液口通过设有的管道与喷嘴连接；清洗罐底部设有排液口，乙醇箱体的排液口通过管道与清洗罐的进液口连接，清洗罐的底部设有压缩空气的进气管，进气管内设有加热器以及检测进气管内气体温度的测温探头。
一种优选方案是喷嘴为圆锥形喷嘴。
一种优选方案是乙醇箱体的排液口依次设有磁力泵和过滤器。
一种优选方案是晶圆清洗机还包括用于检测清洗罐内压力的压力表。
一种优选方案是晶圆清洗机还包括用于检测清洗液箱体内液位高度的液位感应器。
一种优选方案是晶圆清洗机还包括加液管，加液管分别与清洗液箱体进液口和清洗罐的进液口连接。
一种优选方案是清洗液箱体的排液口与喷嘴之间设有清洗泵。
一种优选方案是乙醇箱体设有乙醇加液口和乙醇排出口。
一种优选方案是晶圆清洗机还包括用于控制上盖开启和关闭的升降气缸。
综合上述技术方案，本实用新型的有益效果：结合清洗液和超声波对晶圆表面的污垢进行清洗，能够快速干净的清洗晶圆表面的污垢，再通过热空气将晶圆烘干处理，提高了晶圆的清洗效率和速度，同时还能对晶圆进行烘干，工艺简单。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图对本实用新型做进一步描述。
如图1所示，图1中箭头表示液体的流向。
一种晶圆清洗机，包括清洗罐100以及与清洗罐100可形成密封盖合的上盖101，还包括设于清洗罐100内用于固定晶圆的固定盘，用于存放乙醇的乙醇箱体102，用于存放清洗液的清洗液箱体103以及若干管道；上盖101设有排气口105，排气口105也可设于清洗罐100的侧壁，清洗罐 100内安装有超声波震板106，上盖101的内侧面设有向清洗罐100内喷淋清洗液的喷嘴107，清洗液箱体103的排液口通过设有的管道与喷嘴107连接；清洗罐100的底部设有排液口，乙醇箱体102的排液口通过管道与清洗罐100的进液口连接，清洗罐100的底部设有压缩空气的进气管113，进气管113内设有加热器115以及检测进气管113内气体温度的测温探头114。
如图1所示，晶圆通过固定盘固定于清洗罐100内，上盖101与清洗罐100密封盖合，通过设有的管道向清洗罐10内加入清洗液，当清洗罐10 内的清洗液加到一定程度，关闭该管道，同时开启超声波震板106，超声波震板106发出超声波并对晶圆表面的污垢进行清洗，当清洗完后，开启清洗罐100底部的排液口，将清洗罐100内部的清洗液放干，之后，清洗液箱体103向喷嘴107输送清洗液，喷嘴107将清洗液喷向晶圆表面对晶圆进一步清洗，清洗后的液体从清洗罐100的排液口排出，之后，乙醇箱体 102的排液口向清洗罐100内部输送乙醇，进气管113向清洗罐100内输送热气体，热气体将晶圆表面的水汽以及乙醇带着，达到对晶圆进行烘干的效果。
具体地，如图1所示，喷嘴107为圆锥形喷嘴107。喷嘴107与清洗液箱体103通过设有的管道连接，清洗液箱体103与喷嘴107之间的管道设有清洗泵112和阀门，以便快速的将清洗液箱体103内的清洗液输送至喷嘴107。
如图1所示，乙醇箱体102与清洗罐100通过设有的管道连接，且乙醇箱体102与清洗罐100之间的管道依次设有磁力泵109，阀门和过滤器 108。以便快速的将乙醇箱体102内的乙醇输送至清洗罐100内。乙醇箱体 102设有乙醇加液口117和乙醇排出口118。
如图1所示，晶圆清洗机还包括用于检测清洗罐100内压力的压力表 110。晶圆清洗机还包括用于检测清洗液箱体103内液位高度的液位感应器 111。
如图1所示，晶圆清洗机还包括加液管116，加液管116分别与清洗液箱体103的进液口和清洗罐100的进液口连接。以便及时补充清洗液箱体 103和清洗罐100内的清洗液。同时为了能重复利用清洗罐100流出来的清洗液和乙醇，在清洗罐100的排液口分别设有管道与清洗液箱体103和乙醇箱体102连接，并通过开关控制管道的导通和关闭。在清洗液箱体103 底部还设有一个清洗液循环利用装置，循环利用装置包括过滤装置和循环泵，管道和阀门；清洗液循环利用装置对清洗液箱体103内的清洗液过滤后重复利用。
如图1所示，晶圆清洗机还包括用于控制上盖101开启和关闭的升降气缸。升降气缸控制上盖101与清洗罐100密封盖合。
以上是本实用新型的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种晶圆清洗机，包括清洗罐以及与清洗罐可形成密封盖合的上盖，其特征在于，还包括设于清洗罐内用于固定晶圆的固定盘，用于存放乙醇的乙醇箱体，用于存放清洗液的清洗液箱体以及若干管道；所述上盖设有排气口，所述清洗罐内安装有超声波震板，所述上盖的内侧面设有向清洗罐内喷淋清洗液的喷嘴，所述清洗液箱体的排液口通过设有的管道与喷嘴连接；所述清洗罐底部设有排液口，所述乙醇箱体的排液口通过管道与清洗罐的进液口连接，所述清洗罐的底部设有压缩空气的进气管，所述进气管内设有加热器以及检测进气管内气体温度的测温探头。
2.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述喷嘴为圆锥形喷嘴。
3.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述乙醇箱体的排液口依次设有磁力泵和过滤器。
4.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括用于检测清洗罐内压力的压力表。
5.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括用于检测清洗液箱体内液位高度的液位感应器。
6.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括加液管，所述加液管分别与清洗液箱体进液口和清洗罐的进液口连接。
7.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述清洗液箱体的排液口与喷嘴之间设有清洗泵。
8.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述乙醇箱体设有乙醇加液口和乙醇排出口。
9.如权利要求1所述的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括用于控制上盖开启和关闭的升降气缸。
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