CN206341444U - 一种预加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种预加热器，包括石英绝缘罩以及设置在石英绝缘罩上的防爆接线盒；石英绝缘罩由若干石英绝缘管构成，相邻石英绝缘管之间通过石英绝缘法兰连接，石英绝缘罩内安装有石英轴及围绕在石英轴周围呈圆周分布的若干高温合金电阻丝，石英绝缘罩的底部设有锥形部，锥形部内设有用于与高温合金电阻丝相连并形成回路的接线头，防爆接线盒一端通过高温引线与外部的电源插头相连，另一端与高温合金电阻丝相连。本实用新型中接触多晶硅部分为石英绝缘罩以及石英材料组成的锥形部，严格防止了微量金属元素渗透到多晶硅产品中，保证电子级多晶硅的品质，大大提高了预加热器寿命和还原炉内洁净度。
Description
技术领域
本实用新型涉及加热技术领域，具体涉及到一种预加热器。
背景技术
目前，目前国内外多晶硅生产中，大多采用改进西门子法，改良西门子法利用氢还原三氯氢硅的方式生产多晶硅。三氯氢硅的还原是在超低碳的不锈钢或镍基合金制成的水冷炉壁还原炉内进行，通过氢将三氯氢硅还原成硅；国内生产多晶硅还原炉启动时硅芯击穿大致分两种：一种是用高电压将还原炉内硅芯击穿；另一种是使用预加热器对还原炉内部加热至400～500 摄氏度，使硅芯温度升高，电阻急聚下降，再施加电压击穿。国内还原炉预加热器通常使用电加热管电阻加热方式，设备可靠，但是加热效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种预加热器，以解决现有预加热器由于自身因素造成的还原炉清洁度低进而影响产品品质以及加热效率不高的问题。
为达上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：提供一种预加热器，包括石英绝缘罩以及设置在石英绝缘罩上的防爆接线盒；石英绝缘罩由若干石英绝缘管构成，相邻石英绝缘管之间通过石英绝缘法兰连接，石英绝缘罩内安装有石英轴及围绕在石英轴周围呈圆周分布的若干高温合金电阻丝，石英绝缘罩的底部设有锥形部，锥形部内设有用于与高温合金电阻丝相连并形成回路的接线头，防爆接线盒一端通过高温引线与外部的电源插头相连，另一端与高温合金电阻丝相连。
优选的，防爆接线盒的顶部设有安装台，安装台的顶部设置有高温吊环。
优选的，石英绝缘罩的顶部设有石英法兰，防爆接线盒通过螺钉固定在石英法兰上。
优选的，每个高温合金电阻丝安装于石英管或者金属管内。
优选的，高温合金电阻丝的表面涂覆有抗氧化层。
优选的，石英绝缘罩的直径为100~600mm，长度为3000~8000mm，发热区域的长度为2000~7500mm。
优选的，石英绝缘罩分别与锥形部和石英法兰焊接，锥形部由石英材料构成。
综上所述，本实用新型具有以下优点：
1、本实用新型中接触多晶硅部分为石英绝缘罩以及石英材料组成的锥形部，严格防止了微量金属元素渗透到多晶硅产品中，保证电子级多晶硅的品质，大大提高了预加热器寿命和还原炉内洁净度。
2、高温合金电阻丝光谱辐射吸收特性好，长期使用辐射性能不退变，电热转换效率高，比一般加热元件更节能，并且高温合金电阻丝的表面涂覆有抗氧化层，不但提高了加热效率，而且解决了高温合金电阻丝由于变形、掉渣对还原炉带来污染的问题。
附图说明
图1为本实用新型预加热器的示意图；
其中，1、锥形部；2、石英轴；3、石英绝缘法兰；4、高温合金电阻丝；5、石英绝缘罩；6、石英法兰；7、螺钉；8、防爆接线盒；9、安装台；10、高温引线；11、高温吊环。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
本实用新型的一个实施例中，如图1所示，提供了一种预加热器，包括石英绝缘罩5以及设置在石英绝缘罩5上的防爆接线盒8；石英绝缘罩5由若干石英绝缘管构成，相邻石英绝缘管之间通过石英绝缘法兰3连接，当有损坏时，只需更换一节石英绝缘管即可，无需更换整个石英绝缘罩5，既方便又节约成本，石英绝缘罩5内安装有石英轴2及围绕在石英轴2周围呈圆周分布的若干高温合金电阻丝4，石英绝缘罩5的底部设有锥形部1，锥形部1内设有用于与高温合金电阻丝4相连并形成回路的接线头，防爆接线盒8一端通过高温引线10与外部的电源插头相连，另一端与高温合金电阻丝4相连。
本实用新型的优化实施例，防爆接线盒8的顶部设有安装台9，安装台9的顶部设置有高温吊环11；石英绝缘罩5的顶部设有石英法兰6，防爆接线盒8通过螺钉7固定在石英法兰6上；每个高温合金电阻丝4安装于石英管或者金属管内，高温合金电阻丝4的表面涂覆有抗氧化层；石英绝缘罩5的直径为100~600mm，长度为3000~8000mm，发热区域的长度为2000~7500mm；石英绝缘罩5分别与锥形部1和石英法兰6焊接，锥形部1由石英材料构成。
本实用新型的预加热器以还原炉为例进行多晶硅的生产，将预加热器中石英法兰6以下的部分放入还原炉内，而石英法兰6刚好卡在还原炉的炉口处，并且锥形部1距离还原炉底部的高度为大于或等于10cm，有效防止预加热器破裂，通过设置高温吊环11与支撑结构连接，避免了还原炉承重过大导致使用寿命减少的现象；本实用新型中接触多晶硅部分全部采用高纯石英结构件，严格防止微量金属元素渗透到多晶硅产品中，保证电子级多晶硅的品质。
该预加热器的高温合金电阻丝4光谱辐射匹配吸收特性好，长期使用辐射性能不退变，电热转换效率高，比一般加热元件节能30%左右，并且高温合金电阻丝4的表面涂覆有抗氧化层，不但提高了加热效率，而且不用考虑高温合金电阻丝4由于变形，掉渣对还原炉带来污染的问题；高温合金电阻丝4的热惯性很小，通电后0.8秒可达额定功率的50%，约1秒钟可达额定功率的80%，约2秒钟可达额定功率进而运行，升温、降温迅速；并且还具有耐高温、耐腐蚀，热化学性能稳定性好，使用寿命长，绝缘强度高等优点。
虽然结合附图对本实用新型的具体实施方式进行了详细地描述，但不应理解为对本专利的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可作出的各种修改和变形仍属本专利的保护范围。
Claims (7)
1.一种预加热器，其特征在于：包括石英绝缘罩（5）以及设置在石英绝缘罩（5）上的防爆接线盒（8）；所述石英绝缘罩（5）由若干石英绝缘管构成，相邻石英绝缘管之间通过石英绝缘法兰（3）连接，所述石英绝缘罩（5）内安装有石英轴（2）及围绕在石英轴（2）周围呈圆周分布的若干高温合金电阻丝（4），所述石英绝缘罩（5）的底部设有锥形部（1），锥形部（1）内设有用于与高温合金电阻丝（4）相连并形成回路的接线头，所述防爆接线盒（8）一端通过高温引线（10）与外部的电源插头相连，另一端与高温合金电阻丝（4）相连。
2.如权利要求1所述的预加热器，其特征在于：所述防爆接线盒（8）的顶部设有安装台（9），安装台（9）的顶部设置有高温吊环（11）。
3.如权利要求1所述的预加热器，其特征在于：所述石英绝缘罩（5）的顶部设有石英法兰（6），防爆接线盒（8）通过螺钉（7）固定在石英法兰上。
4.如权利要求1所述的预加热器，其特征在于：每个高温合金电阻丝安装于石英管或者金属管内。
5.如权利要求1所述的预加热器，其特征在于：所述高温合金电阻丝的表面涂覆有抗氧化层。
6.如权利要求1所述的预加热器，其特征在于：所述石英绝缘罩（5）的直径为100~600mm，长度为3000~8000mm，发热区域的长度为2000~7500mm。
7.如权利要求1所述的预加热器，其特征在于：所述石英绝缘罩（5）分别与锥形部（1）和石英法兰（6）焊接，锥形部（1）由石英材料构成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720041602.0U CN206341444U (zh) | 2017-01-14 | 2017-01-14 | 一种预加热器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720041602.0U CN206341444U (zh) | 2017-01-14 | 2017-01-14 | 一种预加热器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206341444U true CN206341444U (zh) | 2017-07-18 |
Family
ID=59305071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720041602.0U Active CN206341444U (zh) | 2017-01-14 | 2017-01-14 | 一种预加热器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206341444U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108055716A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-05-18 | 王兴南 | 大功率双层绝缘光波液体消毒加热管 |
| CN115235116A (zh) * | 2022-08-05 | 2022-10-25 | 北京巨恒芯展环保科技有限公司 | 一种防爆式工业暖风设备 |
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2017
- 2017-01-14 CN CN201720041602.0U patent/CN206341444U/zh active Active
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|---|---|---|---|---|
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| CP03 | Change of name, title or address |
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