CN206340566U - 一种用于板式pecvd整排手动下料装置 - Google Patents

一种用于板式pecvd整排手动下料装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种用于板式PECVD整排手动下料装置,其特征在于,包括框架型材,框架型材的上下两侧均设有圆形丝杆,每根圆形丝杆上均设有可以左右滑动的固定滑块,两个固定滑块分别固定在整排真空吸片器的两端,框架型材内还设有硅片承载盒。本实用新型通过平移把手将整排真空吸片器平移到硅片上方,打开真空开关使硅片吸出石墨框,通过平移把手将硅片平移到硅片承载盒上方,关闭真空开关使硅片掉落到硅片承载盒中,整个下片过程整排进行,减少了下料操作次数,缩短了下料时间,降低了生产过程碎片。

Description

一种用于板式PECVD整排手动下料装置
技术领域
本实用新型涉及一种用于板式PECVD手动下料装置,尤其涉及一种用于板式PECVD整排手动下料装置。
背景技术
板式PECVD是光伏太阳能行业中常用的设备。如图1所示,为现有板式PECVD手动单片下料装置结构示意图,现有单片下料装置一般包括一个真空吸盘1,真空吸盘1上连接有真空气管2,真空气管2上连接有真空控制阀3。如图2所示,现有单片下料装置在使用过程中需要单片下料,导致下料操作次数多,下料时间长,使生产过程碎片增加,并影响生产产能。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供了一种减少下料操作次数、缩短下料时间的用于板式PECVD整排手动下料装置,解决了现有单片下料装置在使用过程中需要单片下料,导致下料操作次数多,下料时间长的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是提供了一种用于板式PECVD整排手动下料装置,其特征在于,包括框架型材,框架型材的上下两侧均设有圆形丝杆,每根圆形丝杆上均设有可以左右滑动的固定滑块,两个固定滑块分别固定在整排真空吸片器的两端,框架型材内还设有硅片承载盒。
优选地,所述的整排真空吸片器包括平移架,平移架下设有多个真空吸片器,平移架上设有平移把手,平移把手上设有真空开关。
优选地,所述的真空吸片器的数量与石墨框内每排可放的硅片数量相同。
本实用新型通过平移把手将整排真空吸片器平移到硅片上方,打开真空开关使硅片吸出石墨框,通过平移把手将硅片平移到硅片承载盒上方,关闭真空开关使硅片掉落到硅片承载盒中,整个下片过程整排进行,减少了下料操作次数,缩短了下料时间,降低了生产过程碎片。
附图说明
图1为现有手动单片下料装置的结构示意图;
图2为现有手动单片下料装置的操作示意图;
图3为整排真空吸片器的结构示意图;
图4为图3的俯视图;
图5为一种用于板式PECVD整排手动下料装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型更明显易懂,兹以优选实施例,并配合附图作详细说明如下。
本实用新型为一种用于板式PECVD整排手动下料装置,如图5所示,其包括整排真空吸片器13,整排真空吸片器13的两端分别固定有两个固定滑块12,两个固定滑块12安装在圆形丝杆11上,且可以在圆形丝杆11上左右滑动,圆形丝杆11安装在框架型材10的上下两侧上,框架型材10内还安装有硅片承载盒14。如图3、图4所示,整排真空吸片器13包括平移架6,平移架6下安装有真空吸片器7,平移架6上安装有平移把手9,平移把手9上安装有真空开关8。
其中:真空吸片器7的数量与石墨框4内每排可放的硅片5数量相同。
本实用新型的工作过程如下:
首先把本实用新型的装置放置在带有硅片5的石墨框4上,通过平移把手9将整排真空吸片器13平移到硅片5上方,打开真空开关8,通过真空吸片器7将硅片5吸出石墨框4,通过平移把手9将硅片5平移到硅片承载盒14上方,关闭真空开关8使硅片5掉落到承载盒14中,整个下片过程整排进行,减少了下料操作次数,缩短了下料时间,降低了生产过程碎片。

Claims (3)

1.一种用于板式PECVD整排手动下料装置,其特征在于,包括框架型材(10),框架型材(10)的上下两侧均设有圆形丝杆(11),每根圆形丝杆(11)上均设有可以左右滑动的固定滑块(12),两个固定滑块(12)分别固定在整排真空吸片器(13)的两端,框架型材(10)内还设有硅片承载盒(14)。
2.如权利要求1所述的一种用于板式PECVD整排手动下料装置,其特征在于,所述的整排真空吸片器(13)包括平移架(6),平移架(6)下设有多个真空吸片器(7),平移架(6)上设有平移把手(9),平移把手(9)上设有真空开关(8)。
3.如权利要求1所述的一种用于板式PECVD整排手动下料装置,其特征在于,所述的真空吸片器(7)的数量与石墨框(4)内每排可放的硅片(5)数量相同。
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