CN206237661U - 混合式发生器、包括其的系统、质谱仪和化学反应器 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种混合式发生器、包括其的系统、质谱仪和化学反应器，本文所述的某些实施例涉及发生器，所述发生器可用来以驱动模式和以振荡模式以及任选地以混合模式维持等离子体。在一些实施例中，所述发生器被配置来在操作期间于所述两种模式之间切换。在某些例子中，当所述发生器处于驱动模式时，所述等离子体可以被点燃，并且当所述发生器处于振荡模式或驱动模式或混合模式时，所述等离子体可用来分析样品。

Description

混合式发生器、包括其的系统、质谱仪和化学反应器

优先权申请

本申请涉及2013年10月23日提交的美国临时申请号61/894,560并且要求所述申请的优先权，出于所有目的，所述申请的全部内容以引用的方式并入本文。

技术领域

本申请涉及发生器。更具体而言，本文所述的某些实施例涉及一种发生器，所述发生器以驱动模式和以振荡模式(以及任选地以混合模式)操作以维持等离子体或其他雾化/电离装置。

背景技术

发生器通常用来维持焰炬主体内的等离子体。等离子体包括带电粒子。等离子体具有许多用途，包括使化学物质雾化和/或电离。

实用新型内容

某些方面、属性和特征涉及混合式发生器，所述混合式发生器可以驱动模式、振荡模式或混合模式操作，其中驱动模式和振荡模式两者对于至少某一时段来说都是有效的。发生器可用来向许多不同类型的装置(包括但不限于，感应装置)供电。

在第一方面中，提供一种发生器，其被配置来以驱动模式和以振荡模式提供功率以便维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到电路并且被配置来使电路的操作在驱动模式与振荡模式之间切换。

在某些配置中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感 应装置。在其他配置中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在一些实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在其他实施例中，所述处理器被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在一些例子中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些实例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在一些实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在其他例子中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在一些实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在其他实施例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在一些例子中，所述发生器包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在其他实施例中，所述发生器包括检测器，所述检测器电耦合到处理器并且被配置来确定何时点燃等离子体。在一些实施例中，所述处理器被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些实施例中，所述发生器包括信号转换器，所述信号转换器位于处理器与检测器之间。在某些例子中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在其他实施例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在一些例子中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在其他例子中，所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，描述一种发生器，其被配置来以驱动模式和以振荡模式提供功率以便维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向所述感应装置提供功率以便以振荡模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体。

在某些实例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他实例中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在一些实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在一些配置中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在其他实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间启用反馈装置。在一些实例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在某些例子中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在一些实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在其他实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在某些实例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在一些实施例中，所述发生器包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在其他实施例中，所述发生器包括检测器，所述检测器电耦合到电路并且被配置来确定何时点燃等离子体。在某些配置中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些配置中，所述发生器包括信号转换器，所述信号转换器位于电路与检测器之间。在某些实施例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在一些实例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在其他实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在某些实施例中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在一些实施例中，所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，描述一种发生器，其被配置来向感应装置供电，所述发生器包括电路，所述电路被配置来在电路的第一状态下以驱动模式向感应装置提供功率并且在电路的第二状态下以振荡模式向感应装置提供功率。

在某些实施例中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以驱动模式操作。在一些实施例中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体 点火之后从第一状态切换到第二状态。在某些实例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向感应装置提供使感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。在一些实例中，所述信号源在电路的第二状态下被禁用。在某些配置中，所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。在其他配置中，所述发生器在传感器检测到等离子体已经点燃之后从第一状态切换到第二状态。在一些实施例中，所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在第一状态下被禁用并且在第二状态期间被启用。在某些实施例中，所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到感应装置。在其他实例中，所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到感应装置，所述电路被配置来以驱动模式向感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到感应装置并且被配置来在振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到电路和反馈装置并且被配置来使发生器的操作从驱动模式切换到振荡模式。在一些实例中，所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在某些实施例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被启用和以振荡模式被禁用。在一些实例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被禁用和以振荡模式被启用。在某些实例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在一些配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在其他配置中，所述发生器包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到感应装置。在一些配置中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体点火时从驱动模式切换到电路模式。在其他配置中，所述发生器包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到检测器。在一些实施例中，所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。在其他实施例中，所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，公开一种系统，其包括：感应装置；以及发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到电 路并且被配置来使电路的操作在驱动模式与振荡模式之间切换。

在某些配置中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他配置中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在一些实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在另外的实施例中，所述处理器被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在一些例子中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些实施例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在一些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在其他实例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在其他实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在额外的实例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在一些实施例中，所述系统包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在某些实施例中，所述系统包括检测器，所述检测器电耦合到处理器并且被配置来确定何时点燃等离子体。在其他实施例中，所述处理器被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些配置中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器位于处理器与检测器之间。在其他配置中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在某些配置中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置；并且包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在其他实施例中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在其他实施例中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，提供一种系统，其包括：感应装置；以及发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来向感应装置提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持 焰炬主体中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持焰炬主体中的感应耦合等离子体。

在某些配置中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他配置中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在额外的配置中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在一些实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在其他实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在另外的实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在某些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在另外的实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在其他实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在额外的实施例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在其他例子中，所述系统包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在一些例子中，所述系统包括检测器，所述检测器电耦合到电路并且被配置来确定何时点燃等离子体。在某些实例中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在其他实例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器位于电路与检测器之间。在一些实例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在某些配置中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在其他配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在一些实施例中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在其他例子中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，描述一种系统，其包括：感应装置；以及发生器，其电耦合到感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在电路的第一状态下以驱动模式向感应装置提供功率并且在电路的第二状态下以振荡模式向感应装 置提供功率。

在某些例子中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以驱动模式操作。在其他实施例中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火之后从第一状态切换到第二状态。在一些实例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向感应装置提供使感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。在某些实施例中，所述信号源在电路的第二状态下被禁用。在一些实例中，所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。在其他实例中，所述发生器被配置来在传感器检测到所述等离子体已经点燃之后从第一状态切换到第二状态。在某些配置中，所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在第一状态下被禁用并且在第二状态期间被启用。在其他配置中，所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到感应装置，所述电路被配置来以驱动模式向感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到感应装置并且被配置来在振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到电路和反馈装置并且被配置来使发生器的操作从驱动模式切换到振荡模式。在一些例子中，所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在其他例子中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被启用和以振荡模式被禁用。在一些实施例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被禁用和以振荡模式被启用。在其他实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在一些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在其他实例中，所述系统包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到感应装置。在一些实例中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体点火时从驱动模式切换到电路模式。在其他实施例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到检测器。在一些实例中，所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。在其他实例中，所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，提供一种质谱仪，其包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到被接收焰炬部分中；发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来 提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到电路并且被配置来使电路的操作在驱动模式与振荡模式之间切换；以及质量分析器，其流体地耦合到焰炬。

在某些实例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他实例中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在一些实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在其他实施例中，所述处理器被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在一些实例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些配置中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在其他配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在一些实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在某些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在一些实施例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在某些实施例中，所述质谱仪包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在一些例子中，所述质谱仪包括检测器，所述检测器电耦合到处理器并且被配置来确定何时点燃等离子体。在其他例子中，所述处理器被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些实施例中，所述质谱仪包括信号转换器，所述信号转换器位于处理器与检测器之间。在其他例子中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在某些配置中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在其他实施例中，至少一个晶体管和至 少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在某些实例中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，公开一种质谱仪，其包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到被接收焰炬部分中；发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体；以及质量分析器，其流体地耦合到焰炬。

在某些配置中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在一些配置中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在其他配置中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在某些实例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在一些实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间启用信号源。在一些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在某些例子中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在其他例子中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在一些实施例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在某些实施例中，所述质谱仪包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在某些例子中，所述质谱仪包括检测器，所述检测器电耦合到处理器并且被配置来确定何时点燃等离子体。在其他例子中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些实例中，所述质谱仪包括信号转换器，所述信号转换器位于电路与检测器之间。在某些配置中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在一些配置中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个 额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在其他配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在某些实施例中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在其他实例中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，描述一种质谱仪，其包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在电路的第一状态下以驱动模式向感应装置提供功率并且在电路的第二状态下以振荡模式向感应装置提供功率；以及质量分析器，其流体地耦合到焰炬。

在某些例子中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以驱动模式操作。在一些实施例中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火之后从第一状态切换到第二状态。在其他实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向感应装置提供使感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。在一些配置中，所述信号源在电路的第二状态下被禁用。在其他实施例中，所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。在某些实施例中，所述发生器在传感器检测到等离子体已经点燃之后从第一状态切换到第二状态。在某些实例中，所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在第一状态下被禁用并且在第二状态期间被启用。在一些实例中，所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到感应装置。在其他例子中，所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到感应装置，所述电路被配置来以驱动模式向感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到感应装置并且被配置来在振荡模式期间被启用；以及开关，所述开关电耦合到电路和反馈装置并且被配置来使发生器的操作从驱动模式切换到振荡模式。在一些实施例中，所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在其他实施例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被启用和以振荡模式被禁用。在一些实例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被禁用和以振荡模式被启用。在某些配置中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上 恒定的频率和振幅。在其他配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在额外的配置中，所述质谱仪包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到感应装置。在一些例子中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体点火时从驱动模式切换到电路模式。在其他例子中，所述质谱仪包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到检测器。在某些例子中，所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。在其他例子中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，描述一种用于检测光学发射的系统，所述系统包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到电路并且被配置来使电路的操作在驱动模式与振荡模式之间切换；以及光学检测器，其被配置来检测焰炬中的光学发射。

在一些实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在某些实施例中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在其他实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在另外的例子中，所述处理器被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在其他例子中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些例子中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在一些实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在某些实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在其他实施例中，电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在某些配置中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在一些配置中，所述系统包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在某些配置中，所述 系统包括检测器，所述检测器电耦合到处理器并且被配置来确定何时点燃等离子体。在一些配置中，所述处理器被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些例子中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器位于处理器与检测器之间。在其他例子中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在某些实施例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在一些例子中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在其他例子中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，提供一种用于检测光学发射的系统，所述系统包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来向感应装置提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体；以及光学检测器，其被配置来检测焰炬中的光学发射。

在某些实例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他实例中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在一些实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在一些例子中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在另外的例子中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在一些配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在其他配置中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在某些实例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在一些实施例中，所述电 路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在某些实施例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在其他实施例中，所述系统包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在一些例子中，所述系统包括检测器，所述检测器电耦合到电路并且被配置来确定何时点燃等离子体。在其他例子中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些实施例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器位于电路与检测器之间。在其他例子中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在某些例子中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在其他例子中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在一些实施例中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在其他方面中，描述一种用于检测光学发射的系统，所述系统包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在电路的第一状态下以驱动模式向感应装置提供功率，并且在电路的第二状态下以振荡模式向感应装置提供功率；以及光学检测器，其被配置来检测焰炬中的光学发射。

在一些实施例中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以驱动模式操作。在某些实施例中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火之后从第一状态切换到第二状态。在其他实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向感应装置提供使感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。在另外的实施例中，所述信号源在电路的所述第二状态下被禁用。在一些实例中，所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。在额外的实例中，所述发生器在传感器检测到等离子体已经点燃之后从所述第一状态切换到所述第二状态。在一些实例中，所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在第一状态下被禁用并且在第二状态 期间被启用。在某些实施例中，所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到感应装置。在某些例子中，所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到感应装置，所述电路被配置来以驱动模式向感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到感应装置并且被配置来在振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到电路和反馈装置并且被配置来使发生器的操作从驱动模式切换到振荡模式。在一些实例中，所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在某些配置中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被启用和以振荡模式被禁用。在一些实施例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被禁用和以振荡模式被启用。在其他实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在某些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在另外的实例中，所述系统包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到感应装置。在一些实例中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体点火时从驱动模式切换到电路模式。在其他实例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到检测器。在其他配置中，所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。在额外的配置中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，公开一种用于检测原子吸收发射的系统，所述系统包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来向感应装置提供功率以便维持由感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到电路并且被配置来使电路的操作在驱动模式与振荡模式之间切换；光源，其被配置来向焰炬提供光；以及光学检测器，其被配置来测量透射穿过焰炬的所提供光的量。

在一些实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他实施例中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器 以及可切换RF信号源中的至少一个。在另外的实施例中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在额外的实施例中，所述处理器被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在一些例子中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些实例中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在一些实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在另外的例子中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在其他实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在额外的例子中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在一些实例中，所述系统包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在另外的实例中，所述系统包括检测器，所述检测器电耦合到处理器并且被配置来确定何时点燃等离子体。在其他实施例中，所述处理器被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在其他实例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器位于处理器与检测器之间。在某些实施例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在其他实例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在某些配置中，所述处理器被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在额外的配置中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在其他配置中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，提供一种用于检测原子吸收发射的系统，所述系统包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且包括电路，所述电路被配置来电耦合到感应装置并且以驱动模式向感应装置提供功率以便以驱动模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体，并且被配置来以振荡模式向感应装置提供功率以便以振荡模式维持被接收焰炬部分中的感应耦合等离子体；光源，其被配置来向焰炬提供光；以及 光学检测器，其被配置来测量透射穿过焰炬的所提供光的量。

在某些实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到感应装置。在其他实施例中，所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。在一些例子中，所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到感应装置并且在感应装置以振荡模式操作期间被启用。在某些实例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间禁用反馈装置。在一些实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间启用反馈装置。在某些例子中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用信号源。在其他例子中，所述电路被配置来在以振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在一些实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在某些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在一些实施例中，所述电路包括电耦合到感应装置的驱动电路和电耦合到感应装置的振荡电路。在某些配置中，所述系统包括滤波器，所述滤波器电耦合到振荡电路并且存在于振荡电路的反馈装置与感应装置之间。在一些配置中，所述系统包括检测器，所述检测器电耦合到电路并且被配置来确定何时点燃等离子体。在其他配置中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体之后的任何时间从驱动模式切换到振荡模式。在一些实施例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器位于电路与检测器之间。在其他实施例中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式和以振荡模式电耦合到感应装置。在额外的例子中，所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式电耦合到感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来以振荡模式电耦合到感应装置。在其他实施例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间禁用至少一个晶体管。在一些例子中，至少一个晶体管和至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。在一些实例中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在额外的方面中，描述一种用于检测原子吸收发射的系统，所述系统包括：焰炬，其被配置来维持电离源；感应装置，其包括用于接收焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到焰炬中；发生器，其电耦合到感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在电路的第一状态下以驱动模式向感 应装置提供功率，并且在电路的第二状态下以振荡模式向感应装置提供功率；光源，其被配置来向焰炬提供光；以及光学检测器，其被配置来测量透射穿过焰炬的所提供光的量。

在某些配置中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以驱动模式操作。在其他配置中，所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火之后从第一状态切换到第二状态。在一些实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向感应装置提供使感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。在某些实例中，所述信号源在电路的第二状态下被禁用。在额外的实例中，所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。在一些实例中，所述发生器在所述传感器检测到等离子体已经点燃之后从第一状态切换到第二状态。在其他实施例中，所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在第一状态下被禁用并且在第二状态期间被启用。在另外的实例中，所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到感应装置。在某些实施例中，所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到感应装置，所述电路被配置来以驱动模式向感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，所述反馈装置电耦合到感应装置并且被配置来在振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到电路和反馈装置并且被配置来使发生器的操作从驱动模式切换到振荡模式。在一些实例中，所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。在某些实施例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被启用和以振荡模式被禁用。在一些实例中，所述发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来以驱动模式被禁用和以振荡模式被启用。在其他实施例中，所述电路被配置来在以驱动模式操作期间向感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。在某些实例中，所述电路被配置来在以振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。在另外的实例中，所述系统包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到感应装置。在一些实施例中，所述电路被配置来在检测器检测到等离子体点火时从驱动模式切换到电路模式。在其他实施例中，所述系统包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到检测器。在其他实施例中，所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。在其他例子中，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

在另一个方面中，提供一种化学反应器，其包括：反应室；感应装置， 其包括被配置来接收反应室的某一部分的孔口；以及本文所述的任何发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来使用感应装置将功率提供到反应室的被接收部分中。

在其他方面中，公开一种材料沉积装置，其包括：雾化室；感应装置，其包括被配置来接收雾化室的某一部分的孔口；本文所述的任何发生器，其电耦合到感应装置并且被配置来使用感应装置将功率提供到雾化室的被接收部分中；以及喷嘴，其流体地耦合到雾化室并且被配置来接收来自腔室的雾化物质并且朝基底提供被接收的雾化物质。

在额外的方面中，提供一种系统，其包括：焰炬；第一感应装置，其包括被配置来接收焰炬的一部分的孔口；第二感应装置，其包括被配置来接收焰炬的第二部分的孔口；第一发生器，其电耦合到第一感应装置；以及第二发生器，其电耦合到第二感应装置，其中第一发生器和第二发生器中的至少一个是本文所述的发生器中的任一个。

在另一个方面中，描述一种用单一发生器点燃并且维持等离子体的方法，所述方法包括：通过以驱动模式从发生器向感应装置提供功率来点燃焰炬主体中的等离子体；以及在点燃等离子体之后的任何时间将发生器从驱动模式切换到振荡模式。

在额外的方面中，描述一种用单一发生器点燃并且维持等离子体的方法，所述方法包括：通过从发生器向感应装置提供功率来点燃焰炬主体中的等离子体，所述发生器被配置来以驱动模式和以振荡模式向感应装置提供功率；以及使用发生器的驱动模式维持等离子体。

在另一个方面中，一种用单一发生器点燃并且维持等离子体的方法，所述方法包括：通过从发生器向感应装置提供功率来点燃焰炬主体中的等离子体，所述发生器被配置来以驱动模式和以振荡模式向感应装置提供功率；以及使用发生器的振荡模式维持等离子体。在一些例子中，通过以振荡模式从发生器提供功率来点燃等离子体。在其他例子中，所述方法包括：在使用振荡模式维持等离子体持续某一时段之后，将发生器切换到驱动模式。

在额外的方面中，描述一种测量使用感应装置维持的感应耦合等离子体系统的质量的方法，所述方法包括：将控制信号从电耦合到感应装置的发生器提供到所述感应装置，所述发生器被配置来以驱动模式和振荡模式向感应装置提供功率，其中当发生器以驱动模式操作时，提供所述控制信号；以及 监测对控制信号的系统响应以便评估感应耦合等离子体系统的状况。

在其他方面中，提供一种如图5所示的发生器电路。

在额外的方面中，公开一种如图5的发生器电路所示的振荡器电路。

在另一个方面中，描述一种维持感应耦合等离子体的方法，所述方法包括使用如图2A-2C所示的发生器电路以振荡模式向焰炬提供功率。

在其他方面中，提供一种维持感应耦合等离子体的方法，所述方法包括使用如图2A-2C所示的发生器电路以驱动模式向焰炬提供功率。

在额外的方面中，公开一种维持感应耦合等离子体的方法，所述方法包括使用如图2A-2C所示的发生器电路以混合模式向焰炬提供功率。

在其他方面中，提供一种维持感应耦合等离子体的方法，所述方法包括使用如图5所示的发生器电路以振荡模式向焰炬提供功率。

在额外的方面中，公开一种维持感应耦合等离子体的方法，所述方法包括使用如图5所示的发生器电路以驱动模式向焰炬提供功率。

在其他方面中，描述一种维持感应耦合等离子体的方法，所述方法包括使用如图5所示的发生器电路以混合模式向焰炬提供功率。

下文更详细地描述另外的特征、方面、实例、配置和实施例。

附图说明

参考附图描述装置和系统的某些实施例，在附图中：

图1是根据某些实例的发生器的框图；

图2A是根据某些实例的适用于以驱动模式向感应装置供电的电路；

图2B是根据某些实例的适用于以振荡模式向感应装置供电的电路；

图2C是根据某些实例的适用于以混合模式向感应装置供电的另一个电路；

图3A和图3B是根据某些配置的用于图2A-2C的电路的替代配置的图解；

图4A和图4B是根据某些配置的用于图2A-2C的电路的替代配置的额外图解；

图5是根据某些配置的适用于以驱动模式、振荡模式和混合模式向感应装置供电的说明性发生器电路的示意图；

图6A是根据某些实例的可用来维持感应耦合等离子体的焰炬和负载线 圈装置的图解；

图6B是根据某些实例的可用来维持感应耦合等离子体的焰炬和板状电极的图解；

图7-9是根据某些实例的由两个发生器分别供电的两个负载线圈的框图；

图10-12是根据某些实例的由两个发生器分别供电的两个板状电极的框图；

图13-18是根据某些实例的由两个发生器分别供电的负载线圈和一组板状电极的框图；

图19-22是根据某些实例的由单个发生器供电的两个感应装置的框图；

图23是根据某些实例的光学发射系统的框图；

图24是根据某些实例的原子吸收系统的框图；

图25是根据某些实例的另一个原子吸收系统的框图；

图26是根据某些实例的质谱仪的框图；

图27是根据某些实例的适用于以驱动模式和以振荡模式操作并且正以驱动模式操作的发生器的电路；

图28是根据某些实例的正以振荡模式操作的图27的电路；

图29示出根据某些实例的使用发生器和质谱仪获得的锂光谱和铍光谱；

图30示出根据某些实例的使用发生器和质谱仪获得的镁光谱；

图31示出根据某些实例的使用发生器和质谱仪获得的铟光谱；

图32示出根据某些实例的使用发生器和质谱仪获得的铀238光谱；

图33是根据某些实例的将使用混合式发生器(驱动模式和振荡模式)和标准NexION仪器获得的结果进行比较的表格；

图34是根据某些实例的在微分相位不平衡时铟、铈、二氧化铈和铀的强度与时间的曲线图；并且

图35是示出根据某些实例的使用标准NexION仪器以及呈驱动模式和振荡模式两者的混合式发生器对若干元素测得的测量值的表格。

本领域的普通技术人员将认识到，考虑到本公开的权益，系统的组件的某些尺寸或特征可能已放大、扭曲或以另外非常规或非比例的方式示出从而提供附图的更加用户友好的版本。另外，焰炬主体、所生成的等离子体和本文中其他组件的精确长度、宽度、几何形状、孔径尺寸等可能变化。

具体实施方式

在下文参考单数术语和复数术语描述了某些实施例，以便提供对本文所公开的技术的用户友好的描述。这些术语仅仅是用于方便的目的并且不意欲限制本文所述的装置、方法和系统。本文参考术语驱动模式和振荡模式来描述某些实例。虽然驱动模式和振荡模式中使用的精确参数可以变化，但是用于等离子体生成的RF发生器频率通常为10MHz至90MHz，更具体地介于20MHz与50MHz之间，例如约40MHz。RF发生器输出功率通常是约500瓦特至50kW。如本文更详细地描述，在操作的驱动模式中，反馈回路可被禁用并且电压可被选择来向感应装置提供所需功率。在振荡模式中，反馈回路可被启用来允许阻抗的快速变化。必要时，发生器可完全以驱动模式操作，从而与振荡模式相比在某些应用中可实现对质谱分析更高的灵敏度。在一些实施例中，驱动+振荡器混合式发生器可以是ICP-OES或ICP-MS或如本文所述的其他类似仪器的一部分。在某些实施例中，可利用发生器中的处理器或主控制器或电耦合到所述发生器的处理器或主控制器来控制发生器操作，以便控制发生器例如启用或终止等离子体生成。虽然本文所述的发生器可能有两种模式，但是必要时，所述发生器可仅以单一模式操作，例如，仅以驱动模式或仅以振荡模式操作。

下文还描述使用发生器来生成和/或维持感应耦合等离子体的某些实施例。然而，必要时，相同发生器可用来生成和/或维持电容耦合等离子体、火焰或可用来例如使化学物质雾化和/或电离的其他雾化/电离装置。下文提供使用感应耦合等离子体来说明本文所述的技术的各种方面和属性的某些配置。

在某些实例中，本文所述的发生器可用来维持高能等离子体以便使用于化学分析的样品雾化和/或电离，从而提供离子用于沉积或其他用途。为了点燃并维持等离子体，来自RF发生器(RFG)的通常处于0.5kW至100kW范围中的RF功率通过负载线圈、板状电极或其他合适的感应装置被感应耦合到等离子体。所述等离子体在点火阶段期间和当所述等离子体经受不同化学样品时展现出不同的RF阻抗。为了促进最佳功率传送，RF发生器可被配置来使阻抗匹配适应变化的等离子体阻抗。

在某些实施例中，现有的RF发生器被配置来使用两种方法中的仅一种方法来操作：振荡器方法(或模式)或驱动方法(或模式)。这些方法中的每一种具有优点和弱点。在振荡方法中，RF发生器是功率振荡器电路。振荡频率是 由振荡器的谐振电路确定。在许多例子中，等离子体阻抗和感应装置是谐振器和反馈路径的一部分，以使得振荡频率可快速改变以适应变化的等离子体阻抗。这个属性以高生产率促进对不同的未知样品的分析。当在等离子体点火期间实施振荡方法时，感应装置的RF阻抗可从无等离子体大幅度地且急剧地改变至成功的等离子体生成。在点火之前，感应装置的行为类似于电感器，以使得提供到所述电感器的所有RF功率实质上是无功功率(即，无有功功率)。在成功的等离子体点火之后，感应装置将有功功率感应耦合到等离子体。振荡器的源自感应装置的用于驱动功率晶体管的反馈信号也急剧改变。结果，在等离子体点火期间，对反馈信号的控制不佳，并且当实施用于等离子体点火的振荡方法时存在损坏功率电子设备的重大危险。最常用于以上提及的频率范围下的RF功率生成的硅功率晶体管的击穿在栅极(输入)处是约-6V至+12V，并且漏击穿是约+150V。较老但较慢的硅晶体管可具有从-40V至+40V的栅极击穿极限值。电子设备的损坏预防是尤其需要的，因为半导体技术的进步常常通过装置缩放(例如，缩放至更小的栅极长度)来实现，以使得晶体管速度(例如，单位增益频率Ft或最大振荡频率Fmax)以较低装置击穿电压极限值为代价而增加。晶体管速度的增加促进高效率功率放大器(例如，C类、D类、E类、F类等)的设计，因为高于基频的高次谐波下的可用功率增益可用来最优化信号波形和电流导通角。这些高速、较低击穿装置的实施可与在点火期间控制不好的反馈信号进行权衡。反馈信号振幅的快速增加可快速地加强不受控制的正反馈回路，从而使得发生器的晶体管被破坏。由于用于等离子体点火的振荡器中的高频率、高功率和固有不稳定性，可能难以抑制或控制过多的信号。如果反馈信号被过分抑制以保护晶体管，那么等离子体可能点火失败。此外，振荡器设计可表明较高的RF杂散信号和较高的相位噪声。此类缺陷可损害设备灵敏度。为了克服这些问题，被配置来仅实施振荡方法的发生器通常将包括较高的击穿晶体管，所述击穿晶体管较昂贵和/或速度和效率较低以避免对电路组件的潜在损害。

被配置来仅实施驱动方法(或模式)的发生器通常利用稳定的RF源，所述RF源以受控频率和振幅操作，例如，所述频率是可调整或固定(但可改变)并且是预定或预选的频率。信号源的典型实例是小信号(例如，小于10瓦特)RF合成器或压控振荡器(VCO)，包括高质量晶体、RLC或RC谐振器。RF功率放大器将受控的小RF信号放大至高功率水平以用于等离子体生成。驱动方 法对于等离子体点火是有利的，因为可选择受控频率和信号振幅来避免晶体管击穿。另外，在许多例子中，驱动方法可产生频谱较纯的RF信号，例如，具有预期信号频率下的强信号音调和较少RF杂散信号的信号频谱。在一些配置中，与振荡模式RF发生器相比较，较易于使用驱动模式RF发生器来实现对质谱分析的较高灵敏度。然而，被配置来实施驱动模式的发生器中的阻抗匹配常常比实施振荡方法的那些小得多。驱动RF发生器通过监测RF阻抗变化来调整受控频率(或相位)和/或振幅，以使得可生成反馈(或错误)信号以通常借助于锁相回路(PLL)来调整RF源的频率或相位。在振荡器方法中，变化常常是在一对RF周期内，而驱动方法的变化是以数十至数千RF周期的速率或至少比振荡方法慢10-1000X。结果，更难以设计用于高通量质谱分析的驱动RF发生器。在驱动方法中使用的RF功率放大器常常被设计来驱动标准的50欧姆或75欧姆负载。与晶体管的介于50欧姆(或75欧姆)负载之间的额外阻抗匹配进一步使设计复杂化、增加组件和占地面积，并且可能导致不希望的功率损耗。

在本文所述的发生器的某些配置中，所述发生器可包括合适的组件以便允许以驱动模式和以振荡模式操作。在等离子体操作的不同时段期间，发生器可在两种模式之间切换(必要时)，以便在不同时段将最佳功率提供到等离子体。例如，在等离子体点火期间，发生器可以驱动模式操作以便提供对频率和信号振幅的较佳控制，从而避免晶体管击穿。在等离子体点火之后，发生器可保持处于驱动模式(必要时)，或可被切换到振荡模式以在样品引入期间可能发生的等离子体变化的情况下允许更快速的阻抗匹配。使用单个发生器实施驱动模式和振荡模式两者的能力允许使用较便宜和/或提供较高速度和效率的较低击穿晶体管。虽然各种实施例在本文中描述为以驱动模式使用混合式发生器来点燃等离子体(必要时)，但是所述发生器在等离子体点火期间和/或在等离子体点火之后可以振荡模式操作。

在某些实例中，本文所述的发生器可包括合适的组件和电路，从而允许以驱动模式和振荡模式两者进行的操作并且允许两种模式之间的快速切换。例如，发生器可包括功率晶体管、驱动器放大器、各种开关(例如，RF开关)和阻抗匹配网络。源自感应装置输出端的反馈信号可用来通过开关(或可变增益电路)驱动功率晶体管。可通过开关来启用、禁用反馈信号或调整其振幅，通常利用可调整增益电路元件(例如，单级晶体管、多级放大器、可变增益振 幅、可变数字或模拟衰减器、可变电容器或其他可调整耦合装置等)来实施。开关或“切换”电路的饱和输出功率可被选择来限制或控制反馈信号的物理功率。例如，如果单级晶体管用作开关，那么电源(例如，VDD电源)可被减少，以使得开关的饱和(最大)输出功率总是低于功率晶体管所允许的最大输入功率。在这个配置中，以操作的振荡模式保护晶体管。另外，RF驱动器放大器可用来放大RF源以驱动功率晶体管。当一起实施这些组件时，RF发生器可以驱动模式、振荡模式和注入锁定模式操作，所述注入锁定模式是具有驱动模式和振荡模式两者的特性的混合模式并且存在于从驱动模式至振荡模式或反之亦然的过渡期间。在某些实施例中，当实施驱动模式时，通过开关禁用反馈信号并且RF驱动器放大器被启用。为了从驱动模式切换到振荡模式，反馈信号开关被启用并且RF驱动器放大器被禁用。例如，当反馈信号和RF驱动器放大器两者被启用时，RF发生器还可以处于注入锁定模式。在这种情况下，RF发生器以振荡模式运行，但是其操作频率被锁定到驱动模式的RF源频率。使用单个发生器在各种模式之间切换的能力提供期望的属性，包括但不限于，在点火期间以驱动模式使晶体管击穿最小化、在样品引入和/或分析期间能够以振荡模式快速改变阻抗、以及使用更便宜且更快的晶体管同时减小晶体管故障的可能性的能力。必要时，发生器可在驱动模式与振荡模式之间快速切换并且返回到驱动模式以使用几乎连续的注入锁定模式来维持等离子体。

在某些实例中并且参考图1，示出发生器的简化框图。发生器100包括驱动电路110，所述驱动电路110被配置来在发生器100以驱动模式操作期间启用。尽管如本文所述，驱动电路110被示为电耦合到负载线圈130，但是负载线圈130可以用其他感应装置(例如，包括板状电极)替换。发生器100还包括电耦合到负载线圈130的振荡电路120。电路110、120中的每一个电耦合到电源(未示出)。驱动电路110和振荡电路120各自可电耦合到控制器或处理器140以允许不同电路110、120在选定时段操作。在操作发生器100的一种方法中，通过将气体引入焰炬主体135中来点燃等离子体，所述焰炬主体135由负载线圈130围绕。等离子体可用火花或电弧点燃并且通过启用驱动电路110以驱动模式将受控、驱动RF信号提供到等离子体来维持。当等离子体阻抗稳定时(或在期望或选定时间之后)，发生器可从驱动模式切换到振荡模式。在切换过程期间，驱动电路110和振荡电路120可被启用一段时间， 从而提供注入锁定模式。驱动电路110可被禁用，同时保持振荡电路120被启用以便将发生器100切换到振荡模式。样品接着可被引入等离子体中，并且振荡模式允许在等离子体装载有样品/溶剂时快速调整阻抗。必要时并且对于某些样品来说，发生器100可被切换回驱动模式以供分析。如本文所述，对于某些分析来说，相较于振荡模式，驱动模式可提供更高的灵敏度。虽然电路110、120在图1中为了说明而被示为单独电路，但是驱动电路110和振荡电路120的组件可被组合在一起，如下文更详细地指出。

在某些实施例中并且参考图2A，示出适用于实施驱动模式和振荡模式的电路的某些有源组件的示意图。在图2A中所示的示意图中，各种组件是有源的，从而允许电路以驱动模式操作。电路200包括电耦合到一对放大器212、214的信号源210，例如，如本文所述的频率合成器或其他合适的组件。放大器212、214各自分别电耦合到另一组放大器222、224，并且分别通过电容器232、234电耦合到负载线圈260。额外的组件(例如，电阻器、放大器等)也可以存在但是并未示出以简化此图解。在以驱动模式使用发生器时，反馈回路(例如，下文见图2B)被禁用，并且提供到负载线圈的功率被选择成低于阈值，在所述阈值下晶体管将出现故障。提供到负载线圈260的频率被扫描并且调谐到允许成功的等离子体点火的频率，例如，必要时可最大化线圈电压的频率。通过信号转换器282、284电耦合到处理器280的检测器270可用来监测等离子体。例如，检测器270可被配置为RF检测器，所述RF检测器可用来监测提供到负载线圈260的RF信号。在其他配置中，检测器270可被配置为光学检测器，例如，光传感器、光纤传感器或其他装置，一旦等离子体被点燃，所述光学检测器便可接收来自等离子体的光发射。在一些实施例中，检测器270可以被省略并且特定负载线圈(或其他感应装置)的功率电平可以是固定的并且设定于某一电平以避免晶体管击穿。在驱动模式中，放大器252、254被禁用。在操作中，将确定的功率电平提供到围绕焰炬主体(未示出)的某一部分的负载线圈260，并且在施加功率的同时点燃提供到焰炬主体的等离子体气体。通过从负载线圈260持续施加RF功率来生成并维持等离子体。在某些实施例中，发生器可保持处于驱动模式并且样品可被引入等离子体中。在样品引入期间，样品通常与诸如溶剂的载体一起被喷射或喷雾到等离子体中。等离子体被操作来使样品去溶剂化并且使等离子体中的化学物质雾化和/或电离。

在某些实例中，一旦等离子体被点燃并且稳定，便可期望通过启用振荡电路并禁用驱动电路来切换到振荡模式。如本文所述，振荡模式提供反馈，所述反馈可用来快速调整电路的阻抗以便提供阻抗匹配和焰炬中的更稳定的等离子体。图2B示出适用于实施振荡模式的电路的某些有源组件的示意图。图2B中具有类似参考数字的组件与图2A中的组件相同。为了从驱动模式切换到振荡模式，通过电容器242、244电耦合到负载线圈260的放大器252、254被启用来提供反馈。对于某一时段来说，放大器212、214、252、254和频率合成器210都被启用，这在本文某些例子中被称为注入锁定或混合模式(见图2C和下文)。放大器212、214和频率合成器210(见图2A)接着被关断以便使发生器从驱动模式切换到振荡模式。一旦处于振荡模式，样品便可被引入等离子体中。振荡模式可在样品引入期间提供关于驱动模式的期望属性。当引入样品时，溶剂可冷却等离子体并且快速更改等离子体阻抗。为了避免等离子体熄灭，期望快速调整阻抗。由放大器252、254提供的反馈允许快速调整阻抗以便在从样品被引入、去溶剂化和雾化/电离时存在的变化条件下保持等离子体。虽然未描述，但是可能使用本文所述的振荡模式点燃等离子体。例如，如果等离子体熄灭，那么所述等离子体可被重新点燃而不必将电路切换回至驱动模式(尽管必要时电路可被切换回至驱动模式以重新点燃等离子体)。

在某些配置中，在从驱动模式至振荡模式的过渡期间，两种模式的组件可被启用一段时间以便提供混合模式。参考图2C，反馈回路被启用，同时驱动模式的组件也被启用。具体地说，放大器212、214、222、224、252、254都以混合模式被启用。因此，提供到感应装置260的功率是驱动模式和振荡模式的组合或混合。此混合模式可以在从驱动模式至振荡模式或从振荡模式至驱动模式的过渡期间发生，或在其他配置中，可能期望以混合模式操作发生器以便进行某些分析或测试。例如，混合模式可以减少等离子体相位噪声以便增加等离子体稳定性。不希望受任何一种具体理论的束缚，在混合模式中，等离子体发生器处于振荡模式，但频率不再为固有的，这取决于等离子体阻抗。而实际上，振荡器跟随以受控频率注入到其的相对小信号。结果，等离子体频率导致较低相位噪声，并且根据需要所述等离子体频率可通过控制器或处理器来控制和最优化(必要时)。等离子体振幅通常仍取决于振荡器的正反馈路径，因为在受控频率下的注入信号仅仅是小信号。例如，如果甲醇 被装入等离子体中，那么等离子体阻抗将改变。等离子体将看起来更加黯淡，因为甲醇吸收了来自等离子体的大量能量。为此，等离子体负载线圈电压将增大，因为对于负载线圈来说存在较少等离子体。此结果提供了较大反馈信号，从而将促使振荡模式驱动器放大器更难以维持等离子体。结果，在混合模式中，等离子体能量仍可对具有溶剂和重基质的不同样品作出快速反应，但是频率可通过控制器中的优化算法控制并且不受所述样品影响。

在某些实施例中，放大器212、214可用允许将发生器从驱动模式切换到振荡模式或以混合模式操作发生器的其他组件替换。参考图3A，经切换的信号源310(例如，RF源、VCO、锁相回路或其他组件)可电耦合到驱动放大器320。例如，源310可以被接通以便使用发生器的驱动模式提供功率，或可以被关断以便使驱动电路与发生器断开连接。图3B示出替代实施例，其中信号源350(例如，RF信号源、VCO等)电耦合到开关360。当发生器接通时，信号源350可以“接通”状态持续操作，并且取决于开关360的状态，开关360可将信号源350电连接到发生器中的其他组件或可使信号源350与发生器中的其他组件断开电连接。在额外的配置(见图4A)中，信号源410可电耦合到压控振荡器420，以便将信号提供(或不提供)到系统的其他组件。例如，取决于施加到VCO的电压，可将或可不将可测量信号提供到发生器的其他组件。必要时，放大器可以被完全省略并且可改为使用可切换信号源450(见图4B)。信号源450可以是高功率信号源，以使得不需要进行信号放大。就本公开的权益而言，本领域的普通技术人员将容易选择信号源电耦合到感应装置的额外配置。

在某些实例中，图5示出发生器的某些组件的简化示意图。感应线圈由电感器L2表示。第一反馈路径包括电容器C5、C6、C7、C9、电阻器R9、电容器C11、电阻器R3、电容器C8和低通滤波器L10。第二反馈路径包括电容器C26、C27、C28和C30、电阻器R10、电容器C31、电阻器R6、电容器C29和低通滤波器L20。所述反馈路径将感应装置(L2)电压(即，发生器输出端)耦合回到振荡模式驱动器放大器M4、M6的输入电容器C25、C26。电容器C11、C8、C31和C29可以是例如固定值的陶瓷电容器和电子可调谐变容二极管的组合。振荡器模式的固有频率也可由处理器或控制器(未示出)调整。电容器C1和C3是针对阻抗匹配而存在的。晶体管M1和M2(以及M5和M7)各自可存在于单个集成电路封装中，例如，功率场效应晶体管(FET) 或LDMOS晶体管、双极性晶体管、达林顿对或其他可购得的晶体管或包括晶体管的组件。M1+M2、M5+M7是主要1千瓦功率MOSFET，以便生成用于感应装置L2的RF功率。M3、M4、M6、M8可以是例如25瓦(比1千瓦低的功率)功率FET。M3和M8是驱动模式驱动器放大器，并且M4和M6是振荡模式驱动器放大器。在以驱动模式使用图5的电路时，DC电压源V8被接通(例如，至2.7V)以使M3和M8的栅极偏压接通，并且DC电压V7被设置成0V以禁用M4和M6。在振荡模式中，DC电压源V7被接通(例如，至2.7V)以使M4和M6的栅极偏压接通，并且DC电压V8被设置成0V以禁用M3和M8。对于混合模式来说，针对源V7和V8设定DC电压(例如，至2.7V)以使M3、M4、M6和M8的栅极偏压接通。V5和V6是用于使功率FET M1、M2、M5和M7的栅极偏压接通的DC电压源(无论是驱动、振荡还是注入锁定模式)。V5、V6、V7和V8由ADC(模拟数字转换器)生成，所述ADC由处理器或控制器(未示出)控制。T1、T2可以是铁氧体磁芯3:1匝数比的降压变压器。C13和C32可以是用于调谐变压器T1和T2的频率响应的电容器。T1、T2、C13和C32必要时可省略。C2和C4是高压高功率电容器。L3、L5、L15、L13、L9、L19可以是用于功率MOSFET的VDD电源的RF扼流圈。L14、L16、L17、L18可以是用于功率MOSFET的栅极(VGG)电源的RF扼流圈。M1、M2、M5和M7的栅极保护二极管未示出，尽管它们必要时可存在。V1、V3是用于1千瓦功率FET M1、M2、M5和M7的VDD DC电源。V2是用于驱动模式和振荡模式驱动器放大器M3、M4、M6和M8的VDD DC电源。虽然出于说明目的提供图5所示的组件，但是可能省略所述组件或将其他组件替换到电路中，并且仍提供能够以驱动模式、振荡模式和混合模式操作的可操作发生器。另外，包括较少晶体管(例如，一个或两个晶体管)的合适电路可被提供来以驱动模式、振荡模式和混合模式操作发生器。

在某些实例中，适合与本文所述的发生器一起使用的感应装置可以变化。在一些实施例中，感应装置可以包括负载线圈，所述负载线圈包括盘绕选定匝数(例如，3-10匝)的线。线圈将RF能量提供到焰炬中以维持等离子体。例如并且参考图6A，示出焰炬514和负载线圈512，所述负载线圈512将电耦合到本文所述的发生器中的一个，例如，负载线圈512将是图5的示意图中的L2。焰炬514包括三个大体同心管514、550和548。最内层管548将样品的雾化流546提供到等离子体516中。中间管550将辅助气流544提供到等 离子体516。最外层管514提供载气流528以用于维持等离子体。载气流528可以以围绕中间管550的层流引导到等离子体516。辅助气流544可在中间管550内被引导到等离子体516，并且样品流546可从喷雾室(未示出)或其他样品引入装置沿着最内层管548引导到等离子体516。从发生器提供到负载线圈512的RF电流可在负载线圈512内形成磁场，以便限制其中的等离子体516。示出离开焰炬514的等离子体尾598。在某些实例中，等离子体516包括预热区590、感应区592、初始辐射区594、分析区596和等离子体尾598。在负载线圈512的操作中，等离子体气体可被引入焰炬512中并且被点燃。可以以驱动模式提供来自电耦合到负载线圈512的发生器的RF功率，以便在点火期间维持等离子体516。在典型的等离子体中，可以每分钟约15-20公升的流速将氩气引入焰炬中。可以使用火花或电弧点燃氩气来生成等离子体516。来自感应线圈512的环向磁场致使氩原子和离子碰撞，从而导致形成等离子体516的过热环境，例如，约5,000-10,000K或更高。一旦等离子体516稳定，发生器便可从驱动模式切换到振荡模式，从而允许在样品通过管546引入期间当等离子体516的阻抗改变时快速调整所述阻抗。必要时，发生器可被切换回至驱动模式或混合模式以用于进行对某些样品的分析。虽然负载线圈512在图6A中示为包括约三匝，但是本领域的普通技术人员将认识到，就本公开的权益而言，比三匝少或多的匝数可以存在于负载线圈512中。

在一些实施例中，一个或多个板状电极可以电耦合到本文所述的发生器。在某些实例中，板状电极的平面性质允许在焰炬主体中生成回路电流，所述回路电流实质上垂直于焰炬主体的纵轴。板状电极可以彼此对称间隔，其中存在多于两个板状电极，或必要时板状电极可以不对称地彼此间隔。图6B示出当发生器处于驱动模式和振荡模式时两个板状电极的图解，所述板状电极可电耦合到发生器以允许所述板状电极的操作。电极652包括被定位成彼此相距距离‘L’的两个实质上平行板652a、652b。平行板652a、652b中的每一个包括孔口654，焰炬514可定位成穿过所述孔口654以使得焰炬514、最内层管548、中间管550和孔口654沿着纵轴626对准，所述纵轴626大体上平行于焰炬514的纵轴。孔口的精确尺寸和形状可以变化并且可以是可接受焰炬的任何合适的尺寸和形状。例如，孔口654可以是大体圆形的，可以是方形或矩形的或可以具有其他形状，例如，可以是三角形、椭圆形、卵形或其他合适的几何形状。在某些实例中，孔口的尺寸可以被设定成使其比焰炬 514的外径大大约0-50％或通常约3％，而在其他实例中，焰炬514可以接触板652a、652b，例如，焰炬的某一部分可以接触板的表面而没有任何实质的操作问题。电极552的孔口654还可包括狭槽564，以使得孔口554与其周围环境连通。在使用板652a、652b时，如本文所述的发生器电耦合到板652a、652b。将RF电流以驱动模式、振荡模式或注入锁定模式供应到板652a、652b来提供平面回路电流，从而生成穿过孔口654的环向磁场。为了点燃等离子体，期望将发生器设定成驱动模式(尽管振荡模式或混合模式也可用来点燃等离子体)并且提供生成平面电流回路的RF电流，所述平面电流回路实质上平行于径向平面，所述径向平面实质上垂直于焰炬514的纵轴。在等离子体516点火之后，发生器可从驱动模式切换到振荡模式，之后将样品引入焰炬514中。必要时，发生器可被切换回至驱动模式或混合模式以用于进行对某些样品的分析。尽管图6B中示出两个板状电极652a、652b，但是可使用单个板状电极，可使用三个板状电极或可使用多于三个板状电极。如下文更详细地论述，所述板中的每一个可以电耦合到同一发生器或必要时可以电耦合到不同发生器。

在某些实施例中，本文所述的发生器可以与另一个发生器组合使用，所述另一个发生器可以是相同的或可以是不同的。为了便于说明，本文包括若干配置的框图。术语“单一模式发生器”是指可以驱动模式或以振荡模式操作但通常不可在所述模式之间切换的发生器。参考图7，示出系统700，其包括各自分别耦合到负载线圈730、740的如本文所述的混合式发生器710和单一模式发生器720。焰炬750被定位在负载线圈730、740中的每一者的孔口中。在系统700的操作中，发生器710可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向线圈730提供功率。等离子体气体在管750左侧处进入并且首先轴向到达线圈730处。发生器720可以被配置为驱动模式发生器或振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器710以便点燃焰炬750中的等离子体，并且接着发生器720在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器710、720两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器720可能直到发生器710从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器720可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器710从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，可以以振荡模式使用发生器710来去溶剂化样品，并且发生器720可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。 在其他实施例中，可以以振荡模式使用发生器710来去溶剂化样品，并且发生器720可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。在额外的实施例中，可以以驱动模式使用发生器710来去溶剂化样品，并且发生器720可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。在某些实施例中，可以以驱动模式使用发生器710来去溶剂化样品，并且发生器720可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。必要时，负载线圈730、740中的线圈数可以是不同的或可以是相同的。

在某些实例中，图8示出另一个系统，其中单一模式发生器被定位在混合式发生器的上游，例如，可以以驱动模式、振荡模式和/或混合模式操作的混合式发生器，如本文所述。系统800包括各自分别耦合到负载线圈830、840的单一模式发生器810和混合式发生器820。焰炬850被定位在负载线圈830、840中的每一者的孔口中。在系统800的操作中，发生器820可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向线圈840提供功率。等离子体气体在管850左侧处进入并且首先轴向到达线圈830处。发生器810可以被配置为驱动模式发生器或振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器820以便点燃焰炬850中的等离子体，并且接着发生器810在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器810、820两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器810可能直到发生器820从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器810可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器820从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，发生器810可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以驱动模式操作发生器820以便使样品雾化/电离。在某些实施例中，发生器810可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以振荡模式操作发生器820以便使样品雾化/电离。在其他实施例中，发生器810可以是驱动模式发生器，并且可以以驱动模式操作发生器820以便使样品雾化/电离。在额外的实施例中，发生器810可以是驱动模式发生器，并且可以以振荡模式操作发生器820以便使样品雾化/电离。必要时，负载线圈830、840中的线圈数可以是不同的或可以是相同的。

在某些实例中，图9示出另一个系统，其中存在如本文所述的两个混合式发生器。系统900包括各自分别耦合到负载线圈930、940的第一混合式发生器910和第二混合式发生器920。焰炬950被定位在负载线圈930、940中 的每一者的孔口中。在系统900的操作中，发生器910、920中的每一者可用来分别以驱动模式、振荡模式或混合模式向线圈930、940提供功率。等离子体气体在管950左侧处进入并且首先轴向到达线圈930处。在一些实施例中，发生器910、920中的每一者在等离子体点火期间以驱动模式操作。在其他实施例中，在等离子体点火期间仅发生器910、920中的一者以驱动模式操作，并且另一个发生器可被关断或可以以振荡模式操作。在等离子体点火之后，发生器910、920中的一者或两者可从驱动模式切换到振荡模式。例如，发生器910可以保持以驱动模式操作并且发生器920可以被切换到振荡模式。在不同配置中，发生器910被切换到振荡模式并且发生器920保持处于驱动模式。在另一个配置中，发生器910、920各自切换到振荡模式，尽管它们可同时切换或发生器910可以首先切换到振荡模式，之后发生器920切换到振荡模式(或反之亦然)。

在存在多于单个发生器的某些实施例中，每个发生器可以独立地电耦合到一个、两个、三个或更多个板状电极。图10-12示出为方便起见使用两个板状电极的图解。参考图10，示出系统1000，其包括各自分别耦合到一对板状电极1030、1040的如本文所述的混合式发生器1010和单一模式发生器1020。板状电极1030、1040被示为耦合到相应的安装板1035、1045。焰炬1050被定位在板1030、1040中的每一者的孔口中。在系统1000的操作中，发生器1010可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1030提供功率。等离子体气体在管1050左侧处进入并且首先轴向到达板1030处。发生器1020可以被配置为驱动模式发生器或振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器1010以便点燃焰炬1050中的等离子体，并且接着发生器1020在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器1010、1020两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器1020可能直到发生器1010从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器1020可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器1010从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，可以以振荡模式使用发生器1010来去溶剂化样品，并且发生器1020可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。在其他实施例中，可以以振荡模式使用发生器1010来去溶剂化样品，并且发生器1020可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。在额外的实施例中，可以以驱动模式使用发生器1010来去溶剂化样品，并且发生器1020可以是用来使样品雾化/电 离的驱动模式发生器。在某些实施例中，可以以驱动模式使用发生器1010来去溶剂化样品，并且发生器1020可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。

在某些实施例中，图11示出另一个系统，其中单一模式发生器被定位在如本文所述的混合式发生器上游。系统1100包括各自分别耦合到一对板状电极1130、1140的单一模式发生器1110和混合式发生器1120。板状电极1130、1140被示为分别耦合到安装板1135、1145。焰炬1150被定位在板状电极1130、1140中的每一者的孔口中。在系统1100的操作中，发生器1120可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1140提供功率。等离子体气体在管1150左侧处进入并且首先轴向到达板1130处。发生器1110可以被配置为驱动模式发生器或者振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器1120以便点燃焰炬1150中的等离子体，并且接着发生器1110在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器1110、1120两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器1110可能直到发生器1120从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器1110可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器1120从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，发生器1110可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以驱动模式操作发生器1120以便使样品雾化/电离。在某些实施例中，发生器1110可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以振荡模式操作发生器1120以便使样品雾化/电离。在其他实施例中，发生器1110可以是驱动模式发生器，并且可以以驱动模式操作发生器1120以便使样品雾化/电离。在额外的实施例中，发生器1110可以是驱动模式发生器，并且可以以振荡模式操作发生器1120以便使样品雾化/电离。

在某些实例中，图12示出另一个系统，其中存在如本文所述的两个混合式发生器。系统1200包括各自分别耦合到一对板状电极1230、1240的第一混合式发生器1210和第二混合式发生器1220。板状电极1230、1240被示为耦合到相应的安装板1235、1245。焰炬1250被定位在板状电极1230、1240中的每一者的孔口中。在系统1200的操作中，发生器1210、1220中的每一者可用来分别以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1230、1240提供功率。等离子体气体在焰炬1250左侧处进入并且首先轴向到达线圈1230处。在一些实施例中，发生器1210、1220中的每一者在等离子体点火期间以驱动模式操作。在其他实施例中，在等离子体点火期间仅发生器1210、1220中的一者 以驱动模式操作，并且另一个发生器可被关断或可以振荡模式操作。在等离子体点火之后，发生器1210、1220中的一者或两者可从驱动模式切换到振荡模式。例如，发生器1210可保持以驱动模式操作并且发生器1220可以被切换到振荡模式。在不同配置中，发生器1210被切换到振荡模式并且发生器1220保持处于驱动模式。在另一个配置中，发生器1210、1220各自切换到振荡模式，尽管它们可同时切换或发生器1210可以首先切换到振荡模式，之后发生器1220切换到振荡模式(或反之亦然)。

在存在多于单个发生器的某些实施例中，一个发生器可以独立地电耦合到一个、两个、三个或更多个板状电极并且另一个发生器可以电耦合到负载线圈。图13-18示出为方便起见使用两个板状电极的图解。参考图13，系统1300包括如本文所述的混合式发生器1310和单一模式发生器1320。发生器1310电耦合到负载线圈1330，并且发生器1320电耦合到板状电极1340。板状电极1340被示为耦合到安装板1345。焰炬1350被定位在负载线圈1330和板1340的孔口中。在系统1300的操作中，发生器1310可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向线圈1330提供功率。等离子体气体在管1350左侧处进入并且首先轴向到达线圈1330处。发生器1320可以被配置为驱动模式发生器或者振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器1310以便点燃焰炬1350中的等离子体，并且接着发生器1320在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器1310、1320两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器1320可能直到发生器1310从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器1320可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器1310从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，可以以振荡模式使用发生器1310来去溶剂化样品，并且发生器1320可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。在其他实施例中，可以以振荡模式使用发生器1310来去溶剂化样品，并且发生器1320可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。在额外的实施例中，可以以驱动模式使用发生器1310来去溶剂化样品，并且发生器1320可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。在某些实施例中，可以以驱动模式使用发生器1310来去溶剂化样品，并且发生器1320可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。

在某些实例中，图14示出另一个系统，其中单一模式发生器被定位在如本文所述的混合式发生器上游。系统1400包括单一模式发生器1410和混合 式发生器1420。发生器1410电耦合到负载线圈1430，并且发生器1420电耦合到板状电极1440。板状电极1440被示为耦合到安装板1445。焰炬1150被定位在负载线圈1430和板1440中的每一者的孔口中。在系统1400的操作中，发生器1420可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1440提供功率。等离子体气体在管1450左侧处进入并且首先轴向到达线圈1430处。发生器1410可以被配置为驱动模式发生器或振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器1420以便点燃焰炬1450中的等离子体，并接着发生器1410在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器1410、1420两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器1410可能直到发生器1420从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器1410可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器1420从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，发生器1410可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以驱动模式操作发生器1420以便使样品雾化/电离。在某些实施例中，发生器1410可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以振荡模式操作发生器1420以便使样品雾化/电离。在其他实施例中，发生器1410可以是驱动模式发生器，并且可以以驱动模式操作发生器1420以便使样品雾化/电离。在额外的实施例中，发生器1410可以是驱动模式发生器，并且可以以振荡模式操作发生器1420以便使样品雾化/电离。

在某些实例中，图15示出另一个系统，其中存在如本文所述的两个混合式发生器。系统1500包括第一混合式发生器1510和第二混合式发生器1520。发生器1510电耦合到负载线圈1530，并且发生器1520电耦合到板状电极1540。板状电极1540被示为耦合到安装板1545。焰炬1550被定位在负载线圈1530和板1540中的每一者的孔口中。在系统1500的操作中，发生器1510、1520中的每一者可用来分别以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1530、1540提供功率。等离子体气体在焰炬1550左侧处进入并且首先到达线圈1530下方。在一些实施例中，发生器1510、1520中的每一者在等离子体点火期间以驱动模式操作。在其他实施例中，在等离子体点火期间仅发生器1510、1520中的一者以驱动模式操作，并且另一个发生器可被关断或可以振荡模式操作。在等离子体点火之后，发生器1510、1520中的一者或两者可从驱动模式切换到振荡模式。例如，发生器1510可保持以驱动模式操作并且发生器1520可被切换到振荡模式。在不同配置中，发生器1510被切换到振荡模式并且发生 器1520保持处于驱动模式。在另一个配置中，发生器1510、1520各自切换到振荡模式，尽管它们可同时切换或发生器1510可以首先切换到振荡模式，之后发生器1520切换到振荡模式(或反之亦然)。

参考图16，示出系统1600，其包括如本文所述的混合式发生器1610和单一模式发生器1620。发生器1610电耦合到板状电极1630，并且发生器1620电耦合到负载线圈1640。板状电极1630被示为耦合到安装板1645。焰炬1650被定位在负载线圈1640和板1630的孔口中。在系统1600的操作中，发生器1610可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1630提供功率。等离子体气体在管1650左侧处进入并且首先轴向到达板1630处。发生器1620可以被配置为驱动模式发生器或振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器1610以便点燃焰炬1650中的等离子体，并且接着发生器1620在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器1610、1620两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器1620可能直到发生器1610从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器1620可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器1610从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，可以以振荡模式使用发生器1610来去溶剂化样品，并且发生器1620可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。在其他实施例中，可以以振荡模式使用发生器1610来去溶剂化样品，并且发生器1620可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。在额外的实施例中，可以以驱动模式使用发生器1610来去溶剂化样品，并且发生器1620可以是用来使样品雾化/电离的驱动模式发生器。在某些实施例中，可以以驱动模式使用发生器1610可用来去溶剂化样品，并且发生器1620可以是用来使样品雾化/电离的振荡发生器。

在某些实例中，图17示出另一个系统，其中单一模式发生器被定位在如本文所述的混合式发生器上游。系统1700包括单一模式发生器1710和混合式发生器1720。发生器1710电耦合到板状电极1730，并且发生器1720电耦合到负载线圈1740。板状电极1730被示为耦合到安装板1745。焰炬1750被定位在负载线圈1740和板状电极1730中的每一者的孔口中。在系统1700的操作中，发生器1720可用来以驱动模式、振荡模式或混合模式向负载线圈1740提供功率。等离子体气体在管1750左侧处进入并且首先轴向到达板1730处。发生器1710可以被配置为驱动模式发生器或振荡模式发生器。在一些实施例中，以驱动模式操作发生器1720以便点燃焰炬1750中的等离子体，并 且接着发生器1710在等离子体点火之后接通。在其他实施例中，发生器1710、1720两者可在等离子体点火期间接通。在一些例子中，发生器1710可能直到发生器1720从驱动模式切换到振荡模式才接通。例如，发生器1710可以被配置为振荡发生器，所述振荡发生器在发生器1720从驱动模式切换到振荡模式的同时接通。在一些实施例中，发生器1710可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以驱动模式操作发生器1720以便使样品雾化/电离。在某些实施例中，发生器1710可以是用于去溶剂化样品的振荡发生器，并且可以以振荡模式操作发生器1720以便使样品雾化/电离。在其他实施例中，发生器1710可以是驱动模式发生器，并且可以以驱动模式操作发生器1720以便使样品雾化/电离。在额外的实施例中，发生器1710可以是驱动模式发生器，并且可以以振荡模式操作发生器1720以便使样品雾化/电离。

在某些实例中，图18示出另一个系统，其中存在如本文所述的两个混合式发生器。系统1800包括第一混合式发生器1810和第二混合式发生器1820。发生器1810电耦合到板状电极1830，并且发生器1820电耦合到负载线圈1840。板状电极1830被示为耦合到安装板1845。焰炬1850被定位在负载线圈1840和板状电极1830中的每一者的孔口中。在系统1800的操作中，发生器1810、1820中的每一者可用来分别以驱动模式、振荡模式或混合模式向板1830和负载线圈1840提供功率。等离子体气体在焰炬1850左侧处进入并且首先轴向到达板1830处。在一些实施例中，发生器1810、1820中的每一者在等离子体点火期间以驱动模式操作。在其他实施例中，在等离子体点火期间仅发生器1810、1820中的一者以驱动模式操作，并且另一个发生器可被关断或可以振荡模式操作。在等离子体点火之后，发生器1810、1820中的一者或两者可从驱动模式切换到振荡模式。例如，发生器1810可以保持以驱动模式操作并且发生器1820可以被切换到振荡模式。在不同配置中，发生器1810被切换到振荡模式并且发生器1820保持处于驱动模式。在另一个配置中，发生器1810、1820各自切换到振荡模式，尽管它们可同时切换或发生器1810可以首先切换到振荡模式，之后发生器1820切换到振荡模式(或反之亦然)。

在某些实例中，如本文所述的单个混合式发生器可用来同时向两个或更多个感应装置提供功率。参考图19，系统1900包括电耦合到负载线圈1930、1940的发生器1910。焰炬1950被定位在负载线圈1930、1940的孔口中。在系统1900的操作中，可以驱动模式、振荡模式或两者向负载线圈1930、1940 中的一者或两者提供功率。在一些实例中，当发生器1910处于驱动模式时，可能期望通过仅接通负载线圈1930来点燃等离子体。当发生器1910被切换到振荡模式时，负载线圈1940也可以通电，从而增加焰炬1950中的等离子体的总长度。或者，当发生器1910处于驱动模式时，可能期望通过接通负载线圈1930、1940两者来点燃等离子体。一旦点燃等离子体，发生器1910便可以被切换到振荡模式，并且负载线圈1930、1940两者均可以是有源的或必要时负载线圈1930、1940中的一者可以被关断。合适的电路可以存在于发生器中，以使得将不同功率从发生器1910提供到负载线圈1930、1940。例如，相较于负载线圈1940，可能期望向负载线圈1930提供更多功率(或反之亦然)。在一些实施例中，负载线圈1940可以包括与负载线圈1930不同的匝数，而在其他实例中，在负载线圈1930、1940中的每一者中匝数可以是相同的。

在某些实施例中，图20示出与图19所示的类似但包括两组板状电极的系统。系统2000包括电耦合到板状电极2030、2040的发生器2010。焰炬2050被定位在板状电极2030、2040的孔口中。在系统2000的操作中，可以以驱动模式、振荡模式或两者向所述对板状电极2030、2040中的一者或两者提供功率。在一些实例中，当发生器2010处于驱动模式时，可能期望通过仅接通板状电极2030来点燃等离子体。当发生器2010被切换到振荡模式时，电极2040也可以通电，从而增加焰炬2050中的等离子体的总长度。或者，当发生器2010处于驱动模式时，可能期望通过接通两组板状电极2030、2040来点燃等离子体。一旦点燃等离子体，发生器2010便可以被切换到振荡模式，并且两组板状电极2030、2040可以是有源的或必要时所述组板状电极2030、2040中的一者可以被关断。合适的电路可以存在于发生器中，以使得将不同功率从发生器2010提供到所述组板状电极2030、2040。例如，相较于电极2040，可能期望向电极2030提供更多功率(或反之亦然)。在某些实例中，电极2040可以包括与电极2030不同数目的板，而在其他实例中，在电极2030、2040中的每一者中板的数目可以是相同的。

在某些实例中，图21示出与图19和图20所示的类似但包括一个负载线圈和一组板状电极的系统。系统2100包括电耦合到负载线圈2130和板状电极2140的发生器2110。焰炬2150被定位在负载线圈2130和板状电极2140的孔口中。在系统2100的操作中，可以以驱动模式、振荡模式或两者向负载线圈2130和板状电极2140中的一者或两者提供功率。在一些实例中，当发 生器2110处于驱动模式时，可能期望通过仅接通负载线圈2130来点燃等离子体。当发生器2110被切换到振荡模式时，板状电极2140也可以通电，从而增加焰炬2150中的等离子体的总长度。或者，当发生器2110处于驱动模式时，可能期望通过接通负载线圈2130和板状电极2140两者来点燃等离子体。一旦点燃等离子体，发生器2110便可以被切换到振荡模式，并且负载线圈2130和板状电极2140两者可以是有源的或必要时负载线圈2130或板状电极2140中的一者可以被关断。合适的电路可以存在于发生器中，以使得将不同功率从发生器2110提供到负载线圈2130和板状电极2140。例如，相较于板状电极2140，可能期望向感应线圈2130提供更多功率(或反之亦然)。

在某些实例中，图22示出与图19-21所示的类似但包括位于负载线圈上游的一组板状电极的系统。系统2200包括电耦合到板状电极2230和负载线圈2240的发生器2210。焰炬2250被定位在板状电极2230和负载线圈2240的孔口中。在系统2200的操作中，可以以驱动模式、振荡模式或两者向板状电极2230和负载线圈2240中的一者或两者提供功率。在一些实例中，当发生器2210处于驱动模式时，可能期望通过仅接通板状电极2230来点燃等离子体。当发生器2210被切换到振荡模式时，负载线圈2240也可以通电，从而增加焰炬2250中的等离子体的总长度。或者，当发生器2210处于驱动模式时，可能期望通过接通板状电极2230和负载线圈2240两者来点燃等离子体。一旦点燃等离子体，发生器2210便可以被切换到振荡模式，并且板状电极2230和负载线圈2240两者可以是有源的或必要时板状电极2230或负载线圈2240中的一者可以被关断。合适的电路可以存在于发生器中，以使得将不同功率从发生器2210提供到板状电极2230和负载线圈2240。例如，相较于负载线圈2240，可能期望向板状电极2230提供更多功率(或反之亦然)。

在某些实例中，本文所述的混合式发生器可用来向存在于光学发射系统(OES)中的感应耦合等离子体(ICP)供电。图23示出OES的说明性组件。装置2300包括流体地耦合到ICP 2340的样品引入系统2330。ICP 2340电耦合到发生器2335并且可以使用焰炬、负载线圈(或板)或其他感应装置来生成。发生器2335可以是本文所述的混合式发生器中的任一者。ICP 2340流体地(或光学地或两者)耦合到检测器2350。样品引入装置2330可以根据样品的性质而变化。在某些实例中，样品引入装置2330可以是喷雾器，所述喷雾器被配置来使液体样品成烟雾状散开以便引入ICP 2340中。在其他实例中，样品引 入装置2330可以被配置来将样品直接喷射入ICP 2340中。就本公开的权益而言，本领域的普通技术人员将容易选择用于引入样品的其他合适的装置和方法。检测器2350可采用许多种形式并且可以是可检测光学发射(诸如，光学发射2355)的任何合适的装置。例如，检测器2350可以包括合适的光学器件，诸如透镜、镜子、棱镜、窗、带通滤波器等。检测器2350还可以包括光栅(诸如，中阶梯光栅)，以便提供多通道OES装置。诸如中阶梯光栅的光栅可以允许同时检测多个发射波长。所述光栅可以定位在单色仪或用于选择一个或多个特定波长以便进行监测的其他合适的装置内。在某些实例中，检测器2350可以包括电荷耦合装置(CCD)。在其他实例中，OES装置可以被配置来实施傅里叶变换，从而提供对多个发射波长的同时检测。检测器2350可被配置来监测大波长范围内的发射波长，包括但不限于，紫外线、可见光、近红外线和远红外线等。OES装置2300还可以包括诸如微处理器和/或计算机的合适的电子设备以及合适的电路，以便提供期望的信号和/或用于数据采集。合适的额外装置和电路在本领域中是已知的并且可在例如购得的OES装置(诸如，可从PerkinElmer Health Sciences公司(Waltham,MA)购得的Optima 2100DV系列、Optima 5000DV系列和Optima 7000系列OES装置)中找到。任选的放大器2360可以操作来增大信号2355(例如，放大来自检测到的光子的信号)，并且可将所述信号提供到任选的显示器2370，所述显示器2370可以是读出器、计算机等。在信号2355足够大以用于显示或检测的实例中，放大器2360可以省略。在某些实例中，放大器2360是被配置来接收来自检测器2350的信号的光电倍增管。然而，就本公开的权益而言，本领域的普通技术人员将选择用于放大信号的其他合适的装置。就本公开的权益而言，在本领域的普通技术人员的能力范围内可利用发生器2335改装现有OES装置并且使用在此公开的发生器设计新的OES装置。OES装置2300还可以包括自动取样器，诸如可从PerkinElmerHealth Sciences购得的AS90和AS93自动取样器或可从其他供应商获得的类似装置。

在某些实施例中，本文所述的发生器可在被设计用于吸收光谱(AS)的仪器中使用。原子和离子可以吸收某些波长的光从而为从较低能级向较高能级跃迁提供能量。原子或离子可能包含起因于从基态跃迁到较高能级的多条共振线。可以使用多个源来供应促进此类跃迁所需的能量，所述源例如热量、火焰、等离子体、电弧、火花、阴极射线灯、激光等，如下文进一步论述。 在一些实例中，本文所述的发生器可用来向ICP供电以便提供由原子或离子吸收的能量或光。在某些实例中，图24示出单光束AS装置。单光束AS装置2400包括电源2410、灯2420、样品引入装置2425、电耦合到混合式发生器2435的ICP装置2430、检测器2440、任选的放大器2450和任选的显示器2460。电源2410可以被配置来向灯2420供电，所述灯2420提供一个或多个波长的光2422以便由原子和离子吸收。必要时，电源2410还可以电耦合到发生器2435。合适的灯包括但不限于，汞灯、阴极射线灯、激光等。所述灯可以使用合适的斩光器或脉冲电源变成脉动的，或在实施激光的实例中，激光可以随着选定的频率跳动，例如，每秒5、10或20次。灯2420的精确配置可以变化。例如，灯2420可以沿着ICP 2430轴向提供光或可以沿着ICP装置2430径向提供光。图24所示的实例被配置用于从灯2420轴向供应光。使用轴向观察信号，可存在信噪比优点。就本公开的权益而言，可以使用本文所述的感应装置和焰炬或可由本领域的普通技术人员容易选择或设计的其他合适的感应装置和焰炬中的任一者来维持ICP 2430。当样品在ICP 2430中被雾化和/或电离时，来自灯2420的入射光2422可以激励原子。也就是，灯2420供应的某个百分比的光2422可被ICP 2430中的原子和离子吸收。剩余百分比的光2435可以被透射到检测器2440。检测器2440可以使用例如棱镜、透镜、光栅和其他合适的装置(例如，上文关于OES装置论述的那些)来提供一个或多个合适的波长。信号可被提供到任选的放大器2450，以便使提供到显示器2460的信号增大。考虑到ICP 2430中的样品的吸收量，在引入样品之前可以引入空白(例如，水)，以便提供100％透射率参考值。一旦样品被引入ICP或离开ICP，就可以测量透射的光的量，样品透光量除以参考值就可以获得透射率。透射率的负log₁₀等于吸光度。AS装置2400还可以包括诸如微处理器和/或计算机的合适的电子设备以及合适的电路，以便提供期望的信号和/或用于数据采集。合适的额外的装置和电路可以在例如可购得的AS装置(诸如可从PerkinElmer Health Sciences购得的AAnalyst系列光谱仪)中找到。就本公开的权益而言，在本领域的普通技术人员的能力范围内还可利用在此公开的发生器改装现有AS装置并且使用本文公开的发生器设计新的AS装置。AS装置还可以包括本领域中已知的自动取样器，诸如可从PerkinElmer Health Sciences购得的AS-90A、AS-90plus和AS-93plus型自动取样器。

在某些实施例中并且参考图25，本文所述的发生器可在双光束AS装置 2500中使用，所述双光束AS装置2500包括电源2510、灯2520、ICP 2565、电耦合到ICP 2565的感应装置(未示出)的发生器2566、检测器2580、任选的放大器2590和任选的显示器2595。电源2510可以被配置来向灯2520供电，所述灯2520提供一个或多个波长的光2525以便由原子和离子吸收。合适的灯包括但不限于，汞灯、阴极射线灯、激光等。所述灯可以使用合适的斩光器或脉冲电源变成脉动的，或在实施激光的实例中，激光可以随着选定的频率跳动，例如，每秒5、10或20次。灯2520的配置可以变化。例如，灯2520可以沿着ICP 2565轴向提供光或可以沿着ICP 2565径向提供光。图25所示的实例被配置用于从灯2520轴向供应光。使用轴向观察信号，可以存在信噪比优点。就本公开的权益而言，ICP 2565可以是本文所论述的ICP或可由本领域的普通技术人员容易选择或设计的其他合适的ICP中的任一者。当样品在ICP2565中被雾化和/或电离时，来自灯2520的入射光2525可以激励原子。也就是，灯2520供应的某个百分比的光2525可被ICP 2565中的原子和离子吸收。剩余百分比的光2567被透射到检测器2580。在使用双光束的实例中，可以使用光束分离器2530使入射光2525分离，以使得某个百分比的光(例如，约10％至约90％)可以作为光束2535透射到ICP 2565，并且剩余百分比的光可以作为光束2540透射到镜子或透镜2550和2555。可以使用组合器(诸如，半涂银镜)2570来重新组合光束，并且组合信号2575可以被提供到检测装置2580。接着可以确定参考值与样品值之间的比率来计算样品的吸光度。检测装置2580可以使用例如棱镜、透镜、光栅和本领域中已知的其他合适的装置(例如，例如上文关于OES装置论述的那些)来提供一个或多个合适的波长。信号2585可被提供到任选的放大器2590，以便使提供到显示器2595的信号增大。AS装置2500还可以包括诸如微处理器和/或计算机的本领域中已知的合适的电子设备以及合适的电路，以便提供期望的信号和/或用于数据采集。合适的额外的装置和电路可以在例如可购得的AS装置(诸如，可从PerkinElmer Health Sciences公司购得的AAnalyst系列光谱仪)中找到。就本公开的权益而言，在本领域的普通技术人员的能力范围内可利用在此公开的发生器改装现有的双光束AS装置并且使用本文公开的发生器设计新的双光束AS装置。AS装置还可以包括本领域中已知的自动取样器，诸如可从PerkinElmerHealth Sciences公司购得的AS-90A、AS-90plus和AS-93plus型自动取样器。

在某些实施例中，本文所述的发生器可在质谱仪中使用。图26示出说明性MS装置。MS装置2600包括样品引入装置2610、电耦合到发生器2625的电离装置2620(标记为ICP)、质量分析器2630、检测装置2640、处理装置2650和任选的显示器2660。样品引入装置2610、电离装置2620、质量分析器2630和检测装置2640可以在使用一个或多个真空泵的减压下操作。然而，在某些实例中，只有质量分析器2630和检测装置2640可以在条件下操作。样品引入装置2610可以包括入口系统，所述入口系统被配置来向电离装置2620提供样品。入口系统可以包括一个或多个分批入口、直接探头入口和/或色谱仪入口。样品引入装置2610可以是喷射器、喷雾器或可以将固体、液体或气体样品递送到电离装置2620的其他合适的装置。电离装置2620可以是使用发生器2625(例如，使用如本文所述的混合式发生器)生成和/或维持的感应耦合等离子体。必要时，电离装置可耦合到另一个电离装置，例如，可使样品雾化和/或电离的另一个装置，包括：例如，等离子体(感应耦合等离子体、电容耦合等离子体、微波感应等离子体等)、电弧、火花、离子漂移装置、可使用气相电离(电子电离、化学电离、解吸化学电离、负离子化学电离)来使样品电离的装置、场解吸装置、场电离装置、快原子轰击装置、二次离子质谱装置、电喷雾电离装置、探头电喷雾电离装置、超声喷雾电离装置、大气压化学电离装置、大气压光致电离装置、大气压激光电离装置、基质辅助激光解吸电离装置、气溶胶激光解吸电离装置、表面增强激光解吸电离装置、辉光放电、共振电离、热电离、热喷雾电离、放射性电离、离子吸附电离、液态金属离子装置、激光烧蚀电喷雾电离或这些说明性电离装置中的任何两种或更多种的组合。质量分析器2630通常取决于样品性质、期望的分辨率等而可以采用多种形式，并且示例性质量分析器可包括一个或多个碰撞单元、反应单元或根据需要的其他组件。检测装置2640可以是可与现有质谱仪一起使用的任何合适监测装置(例如，电子倍增器、法拉第杯、涂层照相底板、闪烁探测器等)，以及考虑到本公开的权益将由本领域的普通技术人员选择的其他合适装置。处理装置2650通常包括微处理器和/或计算机以及用于分析引入到MS装置2600中的样品的合适软件。一个或多个数据库可由处理装置2650访问以用于确定引入到MS装置2600中的物质的化学名称。本领域中已知的其他合适的额外装置也可与MS装置2600一起使用，包括但不限于，诸如可从PerkinElmerHealth Sciences公司购得的AS-90plus和AS-93plus自动 取样机的自动取样机。

在某些实施例中，MS装置2600的质量分析器2630取决于期望的分辨率和被引入样品的性质而可以采用许多种形式。在某些实例中，质量分析器是扫描质量分析器、磁式扇形分析器(例如，用于在单聚焦和双聚焦MS装置中使用)、四极质量分析器、离子阱分析器(例如，回旋加速器、四极离子阱)、飞行时间分析器(例如，飞行分析器的基质辅助激光解吸电离时间)、以及可能以不同质荷比分离物质的其他合适的质量分析器。在一些实例中，本文所公开的MS装置可能与一种或多种其他分析技术联用。例如，MS装置可与用于执行液相色谱法、气相色谱法、毛细管电泳的装置以及其他合适的分离技术联用。当将MS装置与气相色谱仪耦合时，可能期望包括合适的接口(例如，阱、射流分离器等)以便将样品从气相色谱仪引入到MS装置中。当将MS装置耦合到液相色谱仪时，也可能期望包括合适的接口以便考虑到液相色谱法和质谱法中使用的体积的差异。例如，可使用分拆接口，以使得仅少量的离开液相色谱仪的样品可引入到MS装置中。离开液相色谱仪的样品也可能沉积在适当的线、杯或腔室中，以用于传输到MS装置的电离装置。在某些实例中，液相色谱仪可包括被配置来在样品穿过加热的毛细管时使样品汽化和成烟雾状散开的热喷雾。就本公开的权益而言，本领域的普通技术人员将容易选择用于将液态样品从液相色谱仪引入到MS装置中的其他合适的装置。在某些实例中，MS装置可彼此联用，以用于串联质谱分析。

在某些实施例中，本文所述的系统和装置可根据需要包括额外组件。例如，可能期望在等离子体的光径中包括光传感器，所以系统可检测何时已点燃等离子体。可能期望光传感器一检测到等离子体的存在便从驱动模式切换到振荡模式。在某些实例中，本文所述的发生器组件可以是空气冷却型、液体冷却型、或用诸如珀耳帖冷却器的热电装置来冷却。在空气冷却的情况下可存在一个或多个风扇。可存在冷冻机或循环器以便使流体循环通过系统从而从电子组件吸收热量。

在一些实例中，本文所述的发生器可在非仪器应用中使用，所述非仪器应用包括但不限于气相沉积装置、离子植入装置、焊炬、分子束外延装置、或使用雾化和/或电离源来提供期望输出(例如，离子、原子或热量)并可与本文所述的发生器一起使用的其他装置或系统。此外，本文所述的发生器可在化学反应器中使用以便提升某些物质在高温下的形成。例如，可使用包括本 文所述的发生器的装置来处理放射性废物。

在某些实例中，本文所述的发生器可用来通过以驱动模式将功率从发生器提供到引入装置来点燃焰炬主体中的等离子体，以及一旦点燃等离子便将发生器从驱动模式切换到振荡模式。在一些例子中，发生器可保持处于驱动模式持续某一时段以便向感应装置供电。

在某些实施例中，本文所述的发生器可在质量控制应用中或在现场服务应用中使用，以便提供关于系统的各种组件的信息。例如，技术人员可使用发生器作为确定系统的哪个(哪些)组件需要替换的构件。在操作中，焰炬和感应装置可能由于连续热暴露发生故障，或电子组件可能由于过度加热、过度使用或其他原因发生故障。在一些例子中，控制信号(或具有已知振幅、形状、波形等的信号)可在发生器的驱动模式中提供，并且被用来确定发生器的电子器件是否是系统性能较差的原因。如果所检测的控制信号代表预期的控制信号，那么电子器件可出于较差系统性能的原因移除。必要时，控制信号可由技术人员远程发送，所以可向技术人员提供关于系统的哪些组件需要替换的远程反馈。例如，控制信号可用来向技术人员提供关于电子器件保真度的信息，所以他们可在服务呼叫时随身携带期望组件以便修理系统。

在某些配置中，即使本文所述的混合式发生器可能以驱动模式、振荡模式和混合模式操作，最终用户仍可能仅以这些模式中的一种操作发生器。例如，用户可禁用驱动模式并且专门以振荡模式操作发生器。类似地，必要时，用户可能专门以驱动模式或混合模式操作发生器。尽管取决于所使用的条件在模式之间切换可提供更好的性能，但是对于感应耦合等离子体或使用混合式发生器来维持的其他合适的雾化/电离装置的适当操作而言可能不需要在模式之间切换。

在某些例子中，本文所述的发生器可用于提供RF功率以便在一个端部处驱动感应装置，例如负载线圈或其他感应装置。例如，单端晶体管(例如，处于同相的功率晶体管)可用于在负载线圈的一个端部处驱动负载线圈，并且负载线圈的另一个端部可接地。在两个或更多个感应装置存在的情况下，一个可由处于相反极性(例如，异相)的一对晶体管差动驱动，并且另一个可由功率晶体管驱动以便在一个端部处驱动负载线圈。本文所述的各种感应装置和配置中的任一种可使用单端设计，其中由发生器在一个端部处驱动负载线圈。

下文描述某些具体实例以便说明本文所述的新颖方面、实施例和特征中 的另外一些。

实例1

如图27所示构建电路以测试驱动和振荡模式。电路2700包括信号源2710，例如，频率合成器、VCO、锁相回路、数控振荡器(NCO)、或是锁相回路的一部分的NCO。源2710电耦合到一对放大器2712、2714。放大器2712、2714各自分别电耦合到另一组功率放大器2722、2724，并且分别通过电容器2732、2734电耦合到负载线圈2760。功率放大器2722、2744被设计有足够的RF输出功率以用于生成/维持等离子体。控制信号存在于处理器2780与放大器2722、2724之间。从频率合成器2710提供到负载线圈2760的频率被扫描并且调谐到使线圈电压最大化的频率。通过信号转换器2782、2784电耦合到处理器2780的RF检测器2770可用来监测提供到负载线圈2760的RF信号。如本文所述，RF检测器2770可以用用于监测等离子体点火的光传感器替换。通过启用信号源2710和放大器2712、2714、2722和2724以便以驱动模式向线圈2760供电来点燃等离子体。RF检测器2770用来监测等离子体。微控制器2780(MCU ARM Cortex-M3)用来通过模拟数字转换器2784接收来自RF检测器的信号，并且通过数字模拟转换器2782将控制信号发送到放大器2712、2712、2722和2744。

在点燃等离子体并且使用RF检测器2770检测期望的电压电平之后，发生器从驱动模式切换到振荡模式，如图28所示。处理器2780禁用放大器2712、2714并且启用反馈放大器2782、2784，以便从驱动模式切换到振荡模式。在某一时段(在混合模式中)，所有放大器在从驱动模式过渡至振荡模式期间被启用。一旦处于振荡模式，便可以快速调整电路的阻抗以匹配等离子体中的阻抗变化，在将样品和溶剂引入等离子体中时，这成为所述电路的部分。

实例2

将实例1的发生器与单一四极滤质器质谱仪组合使用以便测量各种元素的峰形。来自NexION仪器的铜负载线圈用作感应装置。NexION系统的其他组件也用来执行所述测量。使用40MHz的频率。

图29示出在使用锂和铍标准的情况下使用发生器和质谱仪获得的锂光谱和铍光谱。

图30示出在使用镁标准的情况下使用发生器和质谱仪获得的镁光谱。

图31示出在使用铟标准的情况下使用发生器和质谱仪获得的铟光谱。

图32示出在使用U-238标准的情况下使用发生器和质谱仪获得的铀238光谱。

图33包括将使用标准NexION仪器对元素的测量值与混合式发生器(以驱动模式和以振荡模式)的测量值进行比较的表格。使用混合式发生器的振荡测量值类似于或好于利用NexION发生器获得的那些。对于某些元素(Be、Mg)来说，使用混合式发生器的驱动模式相较于振荡模式提供更好的结果。

实例3

使混合式发生器失衡以测试其稳定性。零点(虚拟接地)通过使用处理器使驱动差分信号在34.44MHz时的振幅和相位失衡来沿负载线圈电子地移动。相位平衡可影响灵敏度(包括氧化率)，并且振幅平衡也可以影响灵敏度。图34示出在不同时间使用的各种相位。

当发生器被差分地驱动(0、180度)同时相位镜处于约5度内时观察到最佳信号(见图34中的顶部两条曲线，所述曲线表示Ce信号(顶部曲线)和In信号(顶部曲线下方的曲线))。约20度的相位误差使氧化率大幅度增大(见朝向图表底部而位于x轴上方的CeO曲线)。

实例4

使用略微不同的频率重复实例2中所执行的测量。图35的表格示出结果。混合式发生器的振荡模式提供类似于标准NexION发生器的那些结果。对于所测量的全部元素来说，振荡模式中所使用的频率(35.96MHz)相较于用来获得图33的测量值的那个频率(34.7MHz)的略微增大致使振荡模式提供比驱动模式更好的结果。

当引入本文公开的实例的元件时，冠词“一个(a)”、“一个(an)”、“所述(the)”和“所述(said)”意欲指存在所述元素中的一个或多个。术语“包括(comprising)”、“包括(including)”和“具有”意欲是可扩展的并且意指可能存在不同于已列出的元素的额外元素。本领域的普通技术人员将认识到，就本公开的权益而言，所述实例的各种组件可与其他实例的各种组件互换或用其替换。

尽管上文已经描述某些方面、实例和实施例，但是本领域的普通技术人员将认识到，就本公开的权益而言，公开的说明性方面、实例和实施例的添加、替换、修改和更改是可能的。

Claims (304)

1.一种混合式发生器，其被配置来以驱动模式和以振荡模式提供功率以便维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，所述发生器包括：

电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率，以便以所述驱动模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率，以便以所述振荡模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体；以及

处理器，其电耦合到所述电路并且被配置来在所述驱动模式与所述振荡模式之间切换所述电路的操作。

2.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

3.根据权利要求2所述的混合式发生器，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

4.根据权利要求2所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

5.根据权利要求4所述的混合式发生器，其特征在于所述处理器被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

6.根据权利要求4所述的混合式发生器，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

7.根据权利要求6所述的混合式发生器，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

8.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

9.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

10.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

11.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

12.根据权利要求11所述的混合式发生器，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

13.根据权利要求1所述的混合式发生器，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述处理器并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

14.根据权利要求13所述的混合式发生器，其特征在于所述处理器被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

15.根据权利要求14所述的混合式发生器，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述处理器与所述检测器之间。

16.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

17.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

18.根据权利要求17所述的混合式发生器，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

19.根据权利要求17所述的混合式发生器，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

20.根据权利要求1所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

21.一种混合式发生器，其被配置来以驱动模式和以振荡模式提供功率以便维持焰炬主体中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体。

22.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

23.根据权利要求22所述的混合式发生器，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

24.根据权利要求22所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

25.根据权利要求24所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

26.根据权利要求24所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

27.根据权利要求26所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

28.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

29.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

30.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

31.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

32.根据权利要求31所述的混合式发生器，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

33.根据权利要求21所述的混合式发生器，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述电路并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

34.根据权利要求33所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

35.根据权利要求34所述的混合式发生器，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述电路与所述检测器之间。

36.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括至 少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

37.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

38.根据权利要求37所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

39.根据权利要求37所述的混合式发生器，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

40.根据权利要求21所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

41.一种混合式发生器，其被配置来向感应装置供电，所述混合式发生器包括电路，所述电路被配置来在所述电路的第一状态下以驱动模式向所述感应装置提供功率，并且在所述电路的第二状态下以振荡模式向所述感应装置提供功率。

42.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以所述驱动模式操作。

43.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述发生器被配置来在所述感应耦合等离子体点火之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

44.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向所述感应装置提供使所述感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。

45.根据权利要求44所述的混合式发生器，其特征在于所述信号源在所述电路的所述第二状态下被禁用。

46.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。

47.根据权利要求46所述的混合式发生器，其特征在于所述发生器在所述传感器检测到所述等离子体已经点燃之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

48.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在所述第一状态下被禁用并且在所述第二状态期间被启用。

49.根据权利要求48所述的混合式发生器，其特征在于所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到所述感应装置。

50.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到所述感应装置，所述电路被配置来以所述驱动模式向所述感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到所述感应装置并且被配置来在所述振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到所述电路和所述反馈装置并且被配置来使所述混合式发生器的操作从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

51.根据权利要求50所述的混合式发生器，其特征在于所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

52.根据权利要求50所述的混合式发生器，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被启用并在所述振荡模式中被禁用。

53.根据权利要求52所述的混合式发生器，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被禁用并在所述振荡模式中被启用。

54.根据权利要求53所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

55.根据权利要求53所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

56.根据权利要求53所述的混合式发生器，其还包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到所述感应装置。

57.根据权利要求56所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体点火时从所述驱动模式切换到所述电路模式。

58.根据权利要求57所述的混合式发生器，其还包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到所述检测器。

59.根据权利要求53所述的混合式发生器，其特征在于所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。

60.根据权利要求41所述的混合式发生器，其特征在于所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

61.一种系统，其包括：

感应装置；以及

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来提供功率以便维持由所述感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到所述电路并且被配置来使所述电路的操作在所述驱动模式与所述振荡模式之间切换。

62.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

63.根据权利要求62所述的系统，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

64.根据权利要求62所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

65.根据权利要求64所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

66.根据权利要求64所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

67.根据权利要求66所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

68.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

69.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

70.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

71.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

72.根据权利要求71所述的系统，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

73.根据权利要求61所述的系统，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述处理器并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

74.根据权利要求73所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

75.根据权利要求74所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述处理器与所述检测器之间。

76.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

77.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

78.根据权利要求77所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

79.根据权利要求77所述的系统，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

80.根据权利要求61所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

81.一种系统，其包括：

感应装置；以及

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来向所述感应装置提供功率以便维持由所述感应装置接收的焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述 驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述焰炬主体中的所述感应耦合等离子体。

82.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

83.根据权利要求82所述的系统，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

84.根据权利要求82所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

85.根据权利要求84所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

86.根据权利要求84所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

87.根据权利要求86所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

88.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

89.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

90.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

91.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

92.根据权利要求91所述的系统，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

93.根据权利要求81所述的系统，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述电路并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

94.根据权利要求93所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

95.根据权利要求94所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述电路与所述检测器之间。

96.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

97.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

98.根据权利要求97所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

99.根据权利要求97所述的系统，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

100.根据权利要求81所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

101.一种系统，其包括：

感应装置；以及

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在所述电路的第一状态下以驱动模式向所述感应装置提供功率，并且在所述电路的第二状态下以振荡模式向所述感应装置提供功率。

102.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述混合式发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以所述驱动模式操作。

103.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述混合式发生器被配置来在所述感应耦合等离子体点火之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

104.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向所述感应装置提供使所述感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。

105.根据权利要求104所述的系统，其特征在于所述信号源在所述电路的所述第二状态下被禁用。

106.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述电路包括传感器， 所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。

107.根据权利要求106所述的系统，其特征在于所述混合式发生器在所述传感器检测到所述等离子体已经点燃之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

108.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在所述第一状态下被禁用并且在所述第二状态期间被启用。

109.根据权利要求108所述的系统，其特征在于所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到所述感应装置。

110.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到所述感应装置，所述电路被配置来以所述驱动模式向所述感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到所述感应装置并且被配置来在所述振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到所述电路和所述反馈装置并且被配置来使所述混合式发生器的操作从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

111.根据权利要求110所述的系统，其特征在于所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

112.根据权利要求110所述的系统，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被启用并在所述振荡模式中被禁用。

113.根据权利要求112所述的系统，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被禁用并在所述振荡模式中被启用。

114.根据权利要求113所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

115.根据权利要求113所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

116.根据权利要求113所述的系统，其还包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到所述感应装置。

117.根据权利要求116所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体点火时从所述驱动模式切换到所述电路模式。

118.根据权利要求117所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到所述检测器。

119.根据权利要求113所述的系统，其特征在于所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。

120.根据权利要求101所述的系统，其特征在于所述电路被配置来电耦合到感应装置，所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

121.一种质谱仪，其包括：

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到被接收焰炬部分中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来提供功率以便维持由所述感应装置接收的所述焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到所述电路并且被配置来使所述电路的操作在所述驱动模式与所述振荡模式之间切换；以及

质量分析器，其流体地耦合到所述焰炬。

122.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

123.根据权利要求122所述的质谱仪，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

124.根据权利要求122所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

125.根据权利要求124所述的质谱仪，其特征在于所述处理器被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

126.根据权利要求124所述的质谱仪，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

127.根据权利要求126所述的质谱仪，其特征在于所述处理器被配置来 在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

128.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

129.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

130.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

131.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

132.根据权利要求131所述的质谱仪，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

133.根据权利要求121所述的质谱仪，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述处理器并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

134.根据权利要求133所述的质谱仪，其特征在于所述处理器被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

135.根据权利要求134所述的质谱仪，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述处理器与所述检测器之间。

136.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

137.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

138.根据权利要求137所述的质谱仪，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

139.根据权利要求137所述的质谱仪，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

140.根据权利要求121所述的质谱仪，其特征在于所述感应装置包括感 应线圈或板状电极。

141.一种质谱仪，其包括：

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到被接收焰炬部分中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来提供功率以便维持由所述感应装置接收的所述焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体；以及

质量分析器，其流体地耦合到所述焰炬。

142.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

143.根据权利要求142所述的质谱仪，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

144.根据权利要求142所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

145.根据权利要求144所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

146.根据权利要求144所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

147.根据权利要求146所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

148.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

149.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

150.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在 以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

151.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

152.根据权利要求151所述的质谱仪，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

153.根据权利要求141所述的质谱仪，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述电路并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

154.根据权利要求153所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

155.根据权利要求154所述的质谱仪，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述电路与所述检测器之间。

156.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

157.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

158.根据权利要求157所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

159.根据权利要求157所述的质谱仪，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

160.根据权利要求141所述的质谱仪，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

161.一种质谱仪，其包括：

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且包括电路，所述电路被配 置来在所述电路的第一状态下以驱动模式向所述感应装置提供功率，并且在所述电路的第二状态下以振荡模式向所述感应装置提供功率；以及

质量分析器，其流体地耦合到所述焰炬。

162.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述混合式发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以所述驱动模式操作。

163.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述混合式发生器被配置来在所述感应耦合等离子体点火之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

164.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向所述感应装置提供使所述感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。

165.根据权利要求164所述的质谱仪，其特征在于所述信号源在所述电路的所述第二状态下被禁用。

166.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。

167.根据权利要求166所述的质谱仪，其特征在于所述混合式发生器在所述传感器检测到所述等离子体已经点燃之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

168.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在所述第一状态下被禁用并且在所述第二状态期间被启用。

169.根据权利要求168所述的质谱仪，其特征在于所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到所述感应装置。

170.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到所述感应装置，所述电路被配置来以所述驱动模式向所述感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到所述感应装置并且被配置来在所述振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到所述电路和所述反馈装置，并且被配置来使所述混合式发生器的操作从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

171.根据权利要求170所述的质谱仪，其特征在于所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

172.根据权利要求170所述的质谱仪，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被启用并在所述振荡模式中被禁用。

173.根据权利要求172所述的质谱仪，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被禁用并在所述振荡模式中被启用。

174.根据权利要求173所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

175.根据权利要求173所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

176.根据权利要求173所述的质谱仪，其还包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到所述感应装置。

177.根据权利要求176所述的质谱仪，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体点火时从所述驱动模式切换到所述电路模式。

178.根据权利要求177所述的质谱仪，其还包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到所述检测器。

179.根据权利要求173所述的质谱仪，其特征在于所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。

180.根据权利要求161所述的质谱仪，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

181.一种用于检测光学发射的系统，所述系统包括：

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来提供功率以便维持由所述感应装置接收的所述焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到所述电路并且被配置来使所述电路的操作在所 述驱动模式与所述振荡模式之间切换；以及

光学检测器，其被配置来检测所述焰炬中的光学发射。

182.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

183.根据权利要求182所述的系统，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

184.根据权利要求182所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

185.根据权利要求184所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

186.根据权利要求184所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

187.根据权利要求186所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

188.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

189.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

190.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

191.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

192.根据权利要求191所述的系统，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

193.根据权利要求181所述的系统，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述处理器并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

194.根据权利要求193所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

195.根据权利要求194所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述处理器与所述检测器之间。

196.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

197.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

198.根据权利要求197所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

199.根据权利要求197所述的系统，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

200.根据权利要求181所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

201.一种用于检测光学发射的系统，所述系统包括：

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来向所述感应装置提供功率以便维持由所述感应装置接收的所述焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体；以及

光学检测器，其被配置来检测所述焰炬中的光学发射。

202.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

203.根据权利要求202所述的系统，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

204.根据权利要求202所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

205.根据权利要求204所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

206.根据权利要求204所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

207.根据权利要求206所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

208.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

209.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

210.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

211.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

212.根据权利要求211所述的系统，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

213.根据权利要求201所述的系统，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述电路并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

214.根据权利要求213所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

215.根据权利要求214所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述电路与所述检测器之间。

216.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

217.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个 晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

218.根据权利要求217所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

219.根据权利要求217所述的系统，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

220.根据权利要求201所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

221.一种用于检测光学发射的系统，所述系统包括：

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在所述电路的第一状态下以驱动模式向所述感应装置提供功率，并且在所述电路的第二状态下以振荡模式向所述感应装置提供功率；以及

光学检测器，其被配置来检测所述焰炬中的光学发射。

222.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述混合式发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以所述驱动模式操作。

223.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述混合式发生器被配置来在所述感应耦合等离子体点火之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

224.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向所述感应装置提供使所述感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。

225.根据权利要求224所述的系统，其特征在于所述信号源在所述电路的所述第二状态下被禁用。

226.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。

227.根据权利要求226所述的系统，其特征在于所述混合式发生器在所述传感器检测到所述等离子体已经点燃之后从所述第一状态切换到所述第二 状态。

228.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在所述第一状态下被禁用并且在所述第二状态期间被启用。

229.根据权利要求228所述的系统，其特征在于所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到所述感应装置。

230.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到所述感应装置，所述电路被配置来以所述驱动模式向所述感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到所述感应装置并且被配置来在所述振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到所述电路和所述反馈装置并且被配置来使所述混合式发生器的操作从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

231.根据权利要求230所述的系统，其特征在于所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

232.根据权利要求230所述的系统，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被启用并在所述振荡模式中被禁用。

233.根据权利要求232所述的系统，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被禁用并在所述振荡模式中被启用。

234.根据权利要求233所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

235.根据权利要求233所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

236.根据权利要求233所述的系统，其还包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到所述感应装置。

237.根据权利要求236所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体点火时从所述驱动模式切换到所述电路模式。

238.根据权利要求237所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到所述检测器。

239.根据权利要求233所述的系统，其特征在于所述晶体管中的每一个 以混合模式被启用。

240.根据权利要求221所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

241.一种用于检测原子吸收发射的系统，所述系统包括

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来向所述感应装置提供功率以便维持由所述感应装置接收的所述焰炬部分中的感应耦合等离子体，所述混合式发生器包括：电路，其被配置来电耦合到感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体；以及处理器，其电耦合到所述电路并且被配置来使所述电路的操作在所述驱动模式与所述振荡模式之间切换；

光源，其被配置来向所述焰炬提供光；以及

光学检测器，其被配置来测量透射穿过所述焰炬的所提供光的量。

242.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

243.根据权利要求242所述的系统，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

244.根据权利要求242所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

245.根据权利要求244所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

246.根据权利要求244所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

247.根据权利要求246所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

248.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以 所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

249.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

250.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

251.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

252.根据权利要求251所述的系统，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

253.根据权利要求241所述的系统，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述处理器并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

254.根据权利要求253所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

255.根据权利要求254所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述处理器与所述检测器之间。

256.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

257.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

258.根据权利要求257所述的系统，其特征在于所述处理器被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

259.根据权利要求257所述的系统，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

260.根据权利要求241所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

261.一种用于检测原子吸收发射的系统，所述系统包括

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且包括电路，所述电路被配置来电耦合到所述感应装置，并且以所述驱动模式向所述感应装置提供功率以便以所述驱动模式维持被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体，并且被配置来以所述振荡模式向所述感应装置提供功率以便以所述振荡模式维持所述被接收焰炬部分中的所述感应耦合等离子体；

光源，其被配置来向所述焰炬提供光；以及

光学检测器，其被配置来测量透射穿过所述焰炬的所提供光的量。

262.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来电耦合到所述感应装置。

263.根据权利要求262所述的系统，其特征在于所述信号源包括RF频率合成器、压控振荡器以及可切换RF信号源中的至少一个。

264.根据权利要求262所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈装置，所述反馈装置被配置来电耦合到所述感应装置并且在所述感应装置以所述振荡模式操作期间被启用。

265.根据权利要求264所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间禁用所述反馈装置。

266.根据权利要求264所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间启用所述反馈装置。

267.根据权利要求266所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述信号源。

268.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作时提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

269.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

270.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

271.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路包括电耦合到所述感应装置的驱动电路和电耦合到所述感应装置的振荡电路。

272.根据权利要求271所述的系统，其还包括滤波器，所述滤波器电耦合到所述振荡电路并且存在于所述振荡电路的反馈装置与所述感应装置之间。

273.根据权利要求261所述的系统，其还包括检测器，所述检测器电耦合到所述电路并且被配置来确定何时点燃所述等离子体。

274.根据权利要求273所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体之后的任何时间从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

275.根据权利要求274所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器位于所述电路与所述检测器之间。

276.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中和在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

277.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述电路包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中电耦合到所述感应装置，并且所述电路包括至少一个额外的晶体管，所述至少一个额外的晶体管被配置来在所述振荡模式中电耦合到所述感应装置。

278.根据权利要求277所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间禁用所述至少一个晶体管。

279.根据权利要求277所述的系统，其特征在于所述至少一个晶体管和所述至少一个额外的晶体管两者以混合模式被启用。

280.根据权利要求261所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

281.一种用于检测原子吸收发射的系统，所述系统包括

焰炬，其被配置来维持电离源；

感应装置，其包括用于接收所述焰炬的一部分的孔口并且被配置来将射频能量提供到所述焰炬中；

混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且包括电路，所述电路被配置来在所述电路的第一状态下以驱动模式向所述感应装置提供功率，并且在所述电路的第二状态下以振荡模式向所述感应装置提供功率；

光源，其被配置来向所述焰炬提供光；以及

光学检测器，其被配置来测量透射穿过所述焰炬的所提供光的量。

282.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述混合式发生器被配置来在感应耦合等离子体点火期间以所述驱动模式操作。

283.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述混合式发生器被配置来在所述感应耦合等离子体点火之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

284.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源被配置来向所述感应装置提供使所述感应装置电压和/或功率最大化的选定频率。

285.根据权利要求284所述的系统，其特征在于所述信号源在所述电路的所述第二状态下被禁用。

286.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述电路包括传感器，所述传感器被配置来确定何时点燃感应耦合等离子体。

287.根据权利要求286所述的系统，其特征在于所述混合式发生器在所述传感器检测到所述等离子体已经点燃之后从所述第一状态切换到所述第二状态。

288.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述电路包括反馈构件，所述反馈构件被配置来在所述第一状态下被禁用并且在所述第二状态期间被启用。

289.根据权利要求288所述的系统，其特征在于所述反馈构件包括至少一个反馈装置，所述至少一个反馈装置电耦合到所述感应装置。

290.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述电路包括信号源，所述信号源通过驱动放大器电耦合到所述感应装置，所述电路被配置来以所述驱动模式向所述感应装置提供功率，所述电路还包括：反馈装置，其电耦合到所述感应装置并且被配置来在所述振荡模式期间被启用；以及开关，其电耦合到所述电路和所述反馈装置并且被配置来使所述混合式发生器的操作从所述驱动模式切换到所述振荡模式。

291.根据权利要求290所述的系统，其特征在于所述反馈电路被配置来提供约三个RF周期内的阻抗匹配。

292.根据权利要求290所述的系统，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被启用并 在所述振荡模式中被禁用。

293.根据权利要求292所述的系统，其特征在于所述混合式发生器包括至少一个晶体管，所述至少一个晶体管被配置来在所述驱动模式中被禁用并在所述振荡模式中被启用。

294.根据权利要求293所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述驱动模式操作期间向所述感应装置提供实质上恒定的频率和振幅。

295.根据权利要求293所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在以所述振荡模式操作期间提供可变的频率和振幅。

296.根据权利要求293所述的系统，其还包括检测器，所述检测器被配置来电耦合到所述感应装置。

297.根据权利要求296所述的系统，其特征在于所述电路被配置来在所述检测器检测到等离子体点火时从所述驱动模式切换到所述电路模式。

298.根据权利要求297所述的系统，其还包括信号转换器，所述信号转换器电耦合到所述检测器。

299.根据权利要求293所述的系统，其特征在于所述晶体管中的每一个以混合模式被启用。

300.根据权利要求281所述的系统，其特征在于所述感应装置包括感应线圈或板状电极。

301.一种化学反应器，其包括：

反应室；

感应装置，其包括被配置来接收所述反应室的某一部分的孔口；以及

根据权利要求1-60中的任一项所述的混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来使用所述感应装置将功率提供到所述反应室的被接收部分中。

302.一种材料沉积装置，其包括：

雾化室；

感应装置，其包括被配置来接收所述雾化室的某一部分的孔口；

根据权利要求1-60中的任一项所述的混合式发生器，其电耦合到所述感应装置并且被配置来使用所述感应装置将功率提供到所述雾化室的被接收部分中；以及

喷嘴，其流体地耦合到所述雾化室并且被配置来接收来自所述室的雾化 物质并且朝基底提供被接收的雾化物质。

303.一种系统，其包括：

焰炬；

第一感应装置，其包括被配置来接收所述焰炬的一部分的孔口；

第二感应装置，其包括被配置来接收所述焰炬的第二部分的孔口；

第一发生器，其电耦合到所述第一感应装置；以及第二发生器，其电耦合到所述第二感应装置，其特征在于所述第一发生器和所述第二发生器中的至少一个是根据权利要求1-60所述的混合式发生器中的任一个。

304.根据权利要求303所述的系统，其特征在于所述第一发生器和所述第二发生器中的每一个是根据权利要求1-60所述的混合式发生器中的任一个。