CN206154083U - 一种智能节能的半导体研磨装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种智能节能的半导体研磨装置,包括装置本体、第一电动机、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、第二研磨石、第二电动伸缩杆、第二电动机、风能发电机、太阳能电池板、电气箱、第一频率控制器、第二频率控制器、第一变速控制器、第二变速控制器和第三变速控制器，所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述装置本体上设置有太阳能电池板和风能发电机。该实用新型的有益效果是智能化程度高，工作效率高和节能环保，并能保证清洁能源的充分供应。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体研磨装置技术领域，具体涉及一种智能节能的半导体研磨装置。
背景技术
在生产半导体的过程中，需要对半导体进行研磨抛光，目前的半导体研磨装置，使用的电能来源不清洁，清洁能源供应不充足和智能化程度低。
因此，发明一种智能节能的半导体研磨装置显得非常必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种智能节能的半导体研磨装置，以解决上述背景技术中提出目前的半导体研磨装置，使用的电能来源不清洁，清洁能源供应不充足和智能化程度低的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种智能节能的半导体研磨装置,包括研磨装置本体、第一电动机、研磨液储存桶、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、钢化玻璃窗、安全防护门、第二研磨石、折页、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机、注料漏斗、支撑柱、风能发电机、太阳能电池板、电气箱、第一频率控制器、第二频率控制器、第一变速控制器、第二变速控制器、第三变速控制器、滴定管和开关阀门，所述研磨装置本体的左上端与第一电动机固定连接；所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的右上端与第二电动机固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的中上端与研磨液储存桶固定连接；所述研磨液储存桶的下端与滴定管的上端连接；所述研磨装置本体的内部下端与第三电动机固定连接；所述第三电动机的转动端通过轴承与研磨载料台中间固定连接；所述研磨装置本体的右端设置有安全防护门；所述安全防护门通过折页与研磨装置本体铰接；所述装置本体的右上端通过支撑柱与太阳能电池板固定连接；所述装置本体的左上端通过支撑柱与风能发电机固定连接；所述装置本体的下端与电气箱固定连接；所述电气箱的内部从左到右依次固定有第一频率控制器、第二频率控制器、第一变速控制器、第二变速控制器和第三变速控制器；所述第一频率控制器与第一电动伸缩杆电性连接；所述第二频率控制器与第二电动伸缩杆电性连接；所述第一变速控制器与第一电动机电性连接；所述第二变速控制器与第二电动机电性连接；所述第三变速控制器与第三电动机电性连接。
进一步，所述研磨液储存桶的上端设置有注料漏斗。
进一步，所述滴定管的上端设置有开关阀门。
进一步，所述安全防护门上设置有钢化玻璃窗。
进一步，所述支撑柱的下端通过连接法兰与研磨装置本体固定连接。
进一步，所述风能发电机采用的是家用W水平轴式风能发电机。
本实用新型的技术效果和优点：该智能节能的半导体研磨装置，通过设置风能发电机和太阳能电池板同时给装置提供清洁的电能，使得节能环保，并且能够保证清洁能源的充分供应；通过设置第一频率控制器控制第一电动伸缩杆，使得第一电动伸缩杆有频率的定时伸缩，并带动第一研磨石伸到半导体上，第二频率控制器控制第二电动伸缩杆有频率的定时伸缩，并带动第二研磨石伸到半导体上；通过设置第一变速控制器控制第一电动机的转动速度，第二变速控制器控制第二电动机的转动速度，第三变速控制器控制第三电动机的转动速度，使得装置的自动化程度高，可以通过调节相应电动机的转速，来提高工作效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：1-装置本体；2-第一电动机；3-研磨液储存桶；4-第一电动伸缩杆；5-第一研磨石；6-研磨载料台；7-第三电动机；8-钢化玻璃窗；9-安全防护门；10-第二研磨石；11-折页；12-第二电动伸缩杆；13-轴承；14-第二电动机；15-注料漏斗；16-支撑柱；17-风能发电机；18-太阳能电池板；19-电气箱；20-第一频率控制器；21-第二频率控制器；22-第一变速控制器；23-第二变速控制器；24-第三变速控制器；25-滴定管；26-开关阀门。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1所示的一种智能节能的半导体研磨装置,包括研磨装置本体1、第一电动机2、研磨液储存桶3、第一电动伸缩杆4、第一研磨石5、研磨载料台6、第三电动机7、钢化玻璃窗8、安全防护门9、第二研磨石10、折页11、第二电动伸缩杆12、轴承13、第二电动机14、注料漏斗15、支撑柱16、风能发电机17、太阳能电池板18、电气箱19、第一频率控制器20、第二频率控制器21、第一变速控制器22、第二变速控制器23、第三变速控制器24、滴定管25和开关阀门26，所述研磨装置本体1的左上端与第一电动机2固定连接；所述第一电动机2的转动端通过轴承13与第一电动伸缩杆4的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆4的伸缩杆端部与第一研磨石5的中间固定连接；所述研磨装置本体1的右上端与第二电动机14固定连接；所述第二电动机14的转动端通过轴承13与第二电动伸缩杆12的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆12的伸缩杆端部与第二研磨石10的中间固定连接；所述研磨装置本体1的中上端与研磨液储存桶3固定连接；所述研磨液储存桶3的下端与滴定管25的上端连接；所述研磨装置本体1的内部下端与第三电动机7固定连接；所述第三电动机7的转动端通过轴承13与研磨载料台6中间固定连接；所述研磨装置本体1的右端设置有安全防护门9；所述安全防护门9通过折页11与研磨装置本体1铰接；所述装置本体1的右上端通过支撑柱16与太阳能电池板18固定连接；所述装置本体1的左上端通过支撑柱16与风能发电机17固定连接；所述装置本体1的下端与电气箱19固定连接；所述电气箱19的内部从左到右依次固定有第一频率控制器20、第二频率控制器21、第一变速控制器22、第二变速控制器23和第三变速控制器24；所述第一频率控制器20与第一电动伸缩杆4电性连接；所述第二频率控制器21与第二电动伸缩杆12电性连接；所述第一变速控制器22与第一电动机2电性连接；所述第二变速控制器23与第二电动机14电性连接；所述第三变速控制器24与第三电动机7电性连接。
进一步，所述研磨液储存桶3的上端设置有注料漏斗15。
进一步，所述滴定管25的上端设置有开关阀门26。
进一步，所述安全防护门9上设置有钢化玻璃窗8。
进一步，所述支撑柱16的下端通过连接法兰与研磨装置本体1固定连接。
进一步，所述风能发电机17采用的是家用600W水平轴式风能发电机。
工作原理：该智能节能的半导体研磨装置，通过设置风能发电机17和太阳能电池板18同时给装置提供清洁的电能，使得节能环保，并且能够保证清洁能源的充分供应；通过设置第一频率控制器20控制第一电动伸缩杆4，使得第一电动伸缩杆4有频率的定时伸缩，并带动第一研磨石5伸到半导体上，第二频率控制器21控制第二电动伸缩杆12有频率的定时伸缩，并带动第二研磨石10伸到半导体上；通过设置第一变速控制器22控制第一电动机2的转动速度，第二变速控制器23控制第二电动机14的转动速度，第三变速控制器24控制第三电动机7的转动速度，使得装置的自动化程度高，可以通过调节相应电动机的转速，来提高工作效率。
利用本实用新型所述技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种智能节能的半导体研磨装置,包括研磨装置本体（1）、第一电动机（2）、研磨液储存桶（3）、第一电动伸缩杆（4）、第一研磨石（5）、研磨载料台（6）、第三电动机（7）、钢化玻璃窗（8）、安全防护门（9）、第二研磨石（10）、折页（11）、第二电动伸缩杆（12）、轴承（13）、第二电动机（14）、注料漏斗（15）、支撑柱（16）、风能发电机（17）、太阳能电池板（18）、电气箱（19）、第一频率控制器（20）、第二频率控制器（21）、第一变速控制器（22）、第二变速控制器（23）、第三变速控制器（24）、滴定管（25）和开关阀门（26），其特征在于：所述研磨装置本体（1）的左上端与第一电动机（2）固定连接；所述第一电动机（2）的转动端通过轴承（13）与第一电动伸缩杆（4）的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆（4）的伸缩杆端部与第一研磨石（5）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右上端与第二电动机（14）固定连接；所述第二电动机（14）的转动端通过轴承（13）与第二电动伸缩杆（12）的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆（12）的伸缩杆端部与第二研磨石（10）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的中上端与研磨液储存桶（3）固定连接；所述研磨液储存桶（3）的下端与滴定管（25）的上端连接；所述研磨装置本体（1）的内部下端与第三电动机（7）固定连接；所述第三电动机（7）的转动端通过轴承（13）与研磨载料台（6）中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右端设置有安全防护门（9）；所述安全防护门（9）通过折页（11）与研磨装置本体（1）铰接；所述装置本体（1）的右上端通过支撑柱（16）与太阳能电池板（18）固定连接；所述装置本体（1）的左上端通过支撑柱（16）与风能发电机（17）固定连接；所述装置本体（1）的下端与电气箱（19）固定连接；所述电气箱（19）的内部从左到右依次固定有第一频率控制器（20）、第二频率控制器（21）、第一变速控制器（22）、第二变速控制器（23）和第三变速控制器（24）；所述第一频率控制器（20）与第一电动伸缩杆（4）电性连接；所述第二频率控制器（21）与第二电动伸缩杆（12）电性连接；所述第一变速控制器（22）与第一电动机（2）电性连接；所述第二变速控制器（23）与第二电动机（14）电性连接；所述第三变速控制器（24）与第三电动机（7）电性连接。
2.根据权利要求1所述的智能节能的半导体研磨装置，其特征在于：所述研磨液储存桶（3）的上端设置有注料漏斗（15）。
3.根据权利要求1所述的智能节能的半导体研磨装置，其特征在于：所述滴定管（25）的上端设置有开关阀门（26）。
4.根据权利要求1所述的智能节能的半导体研磨装置，其特征在于：所述安全防护门（9）上设置有钢化玻璃窗（8）。
5.根据权利要求1所述的智能节能的半导体研磨装置，其特征在于：所述支撑柱（16）的下端通过连接法兰与研磨装置本体（1）固定连接。
6.根据权利要求1所述的智能节能的半导体研磨装置，其特征在于：所述风能发电机（17）采用的是家用600W水平轴式风能发电机。
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2016
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