CN206047874U - 一种高效便捷的半导体研磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效便捷的半导体研磨装置，包括研磨装置本体、第一电动机、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、第二研磨石、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机和滴定管，所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的内部下端与第三电动机固定连接；所述第三电动机的转动端通过轴承与研磨载料台中间固定连接。该实用新型的有益效果是研磨抛光效果好，使用便捷和工作效率高。

Description

一种高效便捷的半导体研磨装置

技术领域

本实用新型属于半导体研磨装置技术领域，具体涉及一种高效便捷的半导体研磨装置。

背景技术

在半导体制造中，需要对初步生产出来的半导体晶圆进行表面抛光，所以需要使用到半导体研磨装置。

目前的半导体研磨装置，存在使用不便捷、生产效率低和研磨抛光效果差的问题。

因此，发明一种高效便捷的半导体研磨装置显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效便捷的半导体研磨装置，以解决上述背景技术中提出目前的半导体研磨装置使用不便捷、生产效率低和研磨抛光效果差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效便捷的半导体研磨装置，包括研磨装置本体、第一电动机、研磨液储存桶、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、钢化玻璃窗、安全防护门、第二研磨石、折页、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机、注料漏斗、滴定管和开关阀门，所述研磨装置本体的左上端与第一电动机固定连接；所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的右上端与第二电动机固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的中上端与研磨液储存桶固定连接；所述研磨液储存桶的下端与滴定管的上端连接；所述研磨装置本体的内部下端与第三电动机固定连接；所述第三电动机的转动端通过轴承与研磨载料台中间固定连接；所述研磨装置本体的右端设置有安全防护门；所述安全防护门通过折页与研磨装置本体铰接；所述安全防护门的中间与钢化玻璃窗固定连接。

进一步，所述研磨液储存桶的上端设置有注料漏斗。

进一步，所述滴定管上设置有开关阀门。

进一步，所述安全防护门的一侧设置有手拉环，并且安全防护门与研磨装置本体的接触处设置有橡胶密封圈。

本实用新型的技术效果和优点：该高效便捷的半导体研磨装置，通过设置第一电动机带动第一研磨石和第二电动机带动第二研磨石对研磨载料台上的半导体晶圆进行研磨抛光，并且第三电动机带动研磨载料台转动配合第一电动机和第二电动机的工作，使得研磨抛光效果好，并且设置第一研磨石和第二研磨石，可以同时进行工作，使得生产效果高；通过设置第一电动伸缩杆带动第一研磨石自动升降和第二电动伸缩杆带动第二研磨石自动升降，代替原来的手动操作或气动操作，使得使用便捷和灵敏度高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1-研磨装置本体；2-第一电动机；3-研磨液储存桶；4-第一电动伸缩杆；5-第一研磨石；6-研磨载料台；7-第三电动机；8-钢化玻璃窗；9-安全防护门；10-第二研磨石；11-折页；12-第二电动伸缩杆；13-轴承；14-第二电动机；15-注料漏斗；16-滴定管；17-开关阀门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1所示的一种高效便捷的半导体研磨装置，包括研磨装置本体1、第一电动机2、研磨液储存桶3、第一电动伸缩杆4、第一研磨石5、研磨载料台6、第三电动机7、钢化玻璃窗8、安全防护门9、第二研磨石10、折页11、第二电动伸缩杆12、轴承13、第二电动机14、注料漏斗15、滴定管16和开关阀门17，所述研磨装置本体1的左上端与第一电动机2固定连接；所述第一电动机2的转动端通过轴承13与第一电动伸缩杆4的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆4的伸缩杆端部与第一研磨石5的中间固定连接；所述研磨装置本体1的右上端与第二电动机14固定连接；所述第二电动机14的转动端通过轴承13与第二电动伸缩杆12的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆12的伸缩杆端部与第二研磨石10的中间固定连接；所述研磨装置本体1的中上端与研磨液储存桶3固定连接；所述研磨液储存桶3的下端与滴定管16的上端连接；所述研磨装置本体1的内部下端与第三电动机7固定连接；所述第三电动机7的转动端通过轴承13与研磨载料台6中间固定连接；所述研磨装置本体1的右端设置有安全防护门9；所述安全防护门9通过折页11与研磨装置本体1铰接；所述安全防护门9的中间与钢化玻璃窗8固定连接。

进一步，所述研磨液储存桶3的上端设置有注料漏斗15。

进一步，所述滴定管16上设置有开关阀门17。

进一步，所述安全防护门9的一侧设置有手拉环，并且安全防护门9与研磨装置本体1的接触处设置有橡胶密封圈。

工作原理：该高效便捷的半导体研磨装置，通过设置第一电动机2带动第一研磨石5和第二电动机14带动第二研磨石10对研磨载料台6上的半导体晶圆进行研磨抛光，并且第三电动机7带动研磨载料台6转动配合第一电动机2和第二电动机14的工作，使得研磨抛光效果好，并且设置第一研磨石5和第二研磨石10，可以同时进行工作，使得生产效果高；通过设置第一电动伸缩杆4带动第一研磨石5自动升降和第二电动伸缩杆12带动第二研磨石10自动升降，代替原来的手动操作或气动操作，使得使用便捷和灵敏度高。

利用本实用新型所述技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种高效便捷的半导体研磨装置，包括研磨装置本体（1）、第一电动机（2）、研磨液储存桶（3）、第一电动伸缩杆（4）、第一研磨石（5）、研磨载料台（6）、第三电动机（7）、钢化玻璃窗（8）、安全防护门（9）、第二研磨石（10）、折页（11）、第二电动伸缩杆（12）、轴承（13）、第二电动机（14）、注料漏斗（15）、滴定管（16）和开关阀门（17），其特征在于：所述研磨装置本体（1）的左上端与第一电动机（2）固定连接；所述第一电动机（2）的转动端通过轴承（13）与第一电动伸缩杆（4）的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆（4）的伸缩杆端部与第一研磨石（5）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右上端与第二电动机（14）固定连接；所述第二电动机（14）的转动端通过轴承（13）与第二电动伸缩杆（12）的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆（12）的伸缩杆端部与第二研磨石（10）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的中上端与研磨液储存桶（3）固定连接；所述研磨液储存桶（3）的下端与滴定管（16）的上端连接；所述研磨装置本体（1）的内部下端与第三电动机（7）固定连接；所述第三电动机（7）的转动端通过轴承（13）与研磨载料台（6）中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右端设置有安全防护门（9）；所述安全防护门（9）通过折页（11）与研磨装置本体（1）铰接；所述安全防护门（9）的中间与钢化玻璃窗（8）固定连接。

2.根据权利要求1所述的高效便捷的半导体研磨装置，其特征在于：所述研磨液储存桶（3）的上端设置有注料漏斗（15）。

3.根据权利要求1所述的高效便捷的半导体研磨装置，其特征在于：所述滴定管（16）上设置有开关阀门（17）。

4.根据权利要求1所述的高效便捷的半导体研磨装置，其特征在于：所述安全防护门（9）的一侧设置有手拉环，并且安全防护门（9）与研磨装置本体（1）的接触处设置有橡胶密封圈。