CN206106121U - 金刚石线切割硅片用槽轮 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体，槽轮主体包括刚性主体和设置在刚性主体外部的聚氨酯涂覆层，槽轮主体头部直径和尾部直径相同，槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径，槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。本实用新型的有益效果在于：本实用新型所述的槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径，且槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化，有效改善槽轮中部线弓及硅片参数离散的情况，提高了硅片成品率。

Description

金刚石线切割硅片用槽轮

技术领域：

本实用新型涉及一种槽轮，具体涉及一种金刚石线切割硅片用槽轮。

背景技术：

太阳能是未来最清洁、安全和可靠的能源，光伏产业正日益成为国际上继IT、微电子产业之后又一爆炸式发展的行业。太阳能光伏发电的最基本单元是太阳能电池片，包括单晶硅、多晶硅、非晶硅和薄膜电池等。从硅锭到硅片的制备需要经过切片、研磨、抛光、制绒等一整套复杂的工序才能制成太阳能电池。作为整套工艺的第一道工序，硅片的切割在太阳能电池的制作中至关重要。

作为新一代硅片切割技术，金刚石线切割硅片已经逐步替代传统的砂浆多线切割设备，相较于砂浆多线切割，其切割效率高、切割硅屑更容易回收、成本更低。金刚石线多线切割硅片设备一般包括绕线部分、槽轮部分、机头、切削液回路以及水冷回路等组成部分。目前，金刚石线切割硅片设备采用将一定张力的金刚石线缠绕在有间距的聚氨酯槽轮上形成线网，通过线网往返运行，硅锭下压进入线网，形成钢线切割硅锭，最终完成硅锭到硅片的加工过程。

如图1所示，现有槽轮的槽轮主体1由刚性主体11和聚氨酯涂覆层12。现有槽轮主体1形状为圆柱形，外径直径为Φ270mm，圆柱形槽轮主体1导致在线网切割硅锭初期，由于线网进入硅锭形成线弓，进入硅锭的线网受张力影响，导致线弓高度不一，尤其是槽轮主体1中部线弓最大，出现槽轮主体1头部和中尾部线弓差4mm，钢线间受力不均，硅片厚度等参数上出现参数离散异常。如图2所示，线网头部到线网尾部(槽轮头部到尾部)出现硅片厚度离散超标(水平线为尺寸控制线)，导致硅片不良率提升。

实用新型内容：

鉴于上述现有技术中所存在的问题，本实用新型提供一种金刚石线切割硅片用槽轮，以解决线网中部硅片参数离散及超标的问题。

本实用新型的具体技术方案为：金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体，所述槽轮主体包括刚性主体和设置在所述刚性主体外部的聚氨酯涂覆层，所述槽轮主体头部直径和尾部直径相同，所述槽轮主体中部直径大于所述槽轮主体头部、尾部直径，所述槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。

所述刚性主体为圆柱体，所述聚氨酯涂覆层的头部厚度和尾部厚度相同，所述聚氨酯涂覆层的中部厚度大于所述聚氨酯涂覆层的头部、尾部厚度，所述聚氨酯涂覆层的头部、尾部至中部之间的过渡区域厚度均按线性变化。

所述刚性主体为变径主体，所述聚氨酯涂覆层各个部分的厚度相同；所述刚性主体的头部厚度和尾部直径相同，所述刚性主体的中部直径大于所述刚性主体的头部、尾部直径，所述刚性主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型所述的槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径，且槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化，有效改善槽轮中部线弓及硅片参数离散的情况，提高了硅片成品率。

附图说明：

图1为现有圆柱形金刚石线切割硅片用槽轮轴向剖视图。

图2为一种现有圆柱形金刚线切割硅片用槽轮切割硅片后，硅片中心厚度参数分布图。

图3为实施例1的整体结构示意图。

图4为实施例2的整体结构示意图。

图中所示标记如下：槽轮主体1、刚性主体11、聚氨酯涂覆层12。

具体实施方式：

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分，不是全部的实施例。基于下述实施例，本领域的普通技术人员所获得的所有其他实施例都应当属于本实用新型的保护范围。

实施例1：如图3所示，一种金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体1，槽轮主体1头部直径和尾部直径相同，槽轮主体1中部直径大于槽轮主体1头部、尾部直径，槽轮主体1的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化；具体为，将槽轮主体1头部和尾部按Φ270mm直径加工，将槽轮主体1中部按Φ274mm直径加工；槽轮主体1包括刚性主体11和设置在刚性主体11外部的聚氨酯涂覆层12，刚性主体11为圆柱体，聚氨酯涂覆层12的头部厚度和尾部厚度相同，聚氨酯涂覆层12的中部厚度大于聚氨酯涂覆层12的头部、尾部厚度，聚氨酯涂覆层12的头部、尾部至中部之间的过渡区域厚度均按线性变化，从而解决槽轮中部线网线弓大的问题，以改善硅片参数离散异常的问题。

实施例2：如图4所示，一种金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体1，槽轮主体1头部直径和尾部直径相同，槽轮主体1中部直径大于槽轮主体1头部、尾部直径；槽轮主体1的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化；具体为，将槽轮主体1头部和尾部按Φ270mm直径加工，将槽轮主体1中部按Φ274mm直径加工；槽轮主体1包括刚性主体11和设置在刚性主体11外部的聚氨酯涂覆层12，刚性主体11为变径主体，聚氨酯涂覆层12各个部分的厚度相同；刚性主体11的头部厚度和尾部直径相同，刚性主体11的中部直径大于刚性主体11的头部、尾部直径，刚性主体11的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化，从而解决槽轮中部线网线弓大的问题，以改善硅片参数离散异常的问题。

综上所述，本实用新型解决了现有硅片参数离散异常的问题，有效提高了硅片成品率，可应用于电镀金刚线加工太阳能级硅片。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体，所述槽轮主体包括刚性主体和设置在所述刚性主体外部的聚氨酯涂覆层，其特征在于，所述槽轮主体头部直径和尾部直径相同，所述槽轮主体中部直径大于所述槽轮主体头部、尾部直径，所述槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。

2.根据权利要求1所述的金刚石线切割硅片用槽轮，其特征在于，所述刚性主体为圆柱体，所述聚氨酯涂覆层的头部厚度和尾部厚度相同，所述聚氨酯涂覆层的中部厚度大于所述聚氨酯涂覆层的头部、尾部厚度，所述聚氨酯涂覆层的头部、尾部至中部之间的过渡区域厚度均按线性变化。

3.根据权利要求1所述的金刚石线切割硅片用槽轮，其特征在于，所述刚性主体为变径主体，所述聚氨酯涂覆层各个部分的厚度相同；所述刚性主体的头部厚度和尾部直径相同，所述刚性主体的中部直径大于所述刚性主体的头部、尾部直径，所述刚性主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。