CN206074819U - 一种电子能谱仪用真空泵减震装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电子能谱仪领域，具体涉及一种电子能谱仪用真空泵减震装置，包括底板，底板从下至上依次包括下底板、橡胶波纹板、上底板，竖直减震簧均匀固定于上底板上且左右两侧各设置2个，左右两侧的2对竖直减震簧的上表面上固定有2个弧形支撑座，且2个弧形支撑座通过横向减震簧连接，在底板的前后两侧面上固定有“L”形的侧板，侧板与2个弧形支撑座的前后两侧面均通过纵向减震簧相连接；本实用新型将真空泵固定于弧形支撑座上后，竖直、横向和纵向的减震簧相配合，有效的吸收了真空泵在各个方向上产生的震动，同时橡胶波纹板和橡胶缓冲脚的设置，进一步地吸收震动，从而降低真空泵工作时产生的噪音，优化了实验室的工作环境。

Description

一种电子能谱仪用真空泵减震装置

技术领域

本实用新型涉及电子能谱仪领域，具体涉及一种电子能谱仪用真空泵减震装置。

背景技术

电子能谱仪是利用光电效应测出光电子的动能及其数量的关系，由此来判断样品表面各种元素含量的仪器。可分析固、液、气样品中除氢以外的一切元素。

电子能谱仪一般由超高真空系统、激发源X射线光源、UV光源、电子枪、电子能量分析器、检测器、数据系统以及其他附件等构成。

其中的超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。能谱仪的光源灯激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超真空中。对真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤、无磁性、无震动等。超高真空系统一般由真空泵来获得，现有的真空泵在工作时噪音比较大，噪音来源1、首先泵内流体的作用引起的震动，如泵的叶片内产生不均匀液流和不稳定回流；局部压力降低造成汽蚀的发生等；2、机械原因引起的震动，如转子组件不平衡，泵、电机、联轴器不对中，轴弯曲，齿轮齿面磨损，滑动轴承油膜震荡，滚动轴承轨道、钢球不圆或内外，圈脱落，设计不合理或热膨胀引起过大的管路共振等。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，解决了现有电子能谱仪用真空泵噪音大的问题，本实用新型提供了一种电子能谱仪用真空泵减震装置。

具体技术方案如下：

一种电子能谱仪用真空泵减震装置，包括底板、竖直减震簧、弧形支撑座，所述底板从下至上依次包括下底板、相对面相互咬合的橡胶波纹板、上底板，所述竖直减震簧均匀固定于所述上底板的上表面且左右两侧各设置2个，左右两侧的2对所述竖直减震簧的上表面上固定有2个所述弧形支撑座，且2个所述弧形支撑座通过横向减震簧连接，在所述底板的前后两侧面上固定有“L”形的侧板，所述侧板与2个所述弧形支撑座的前后两侧面均通过纵向减震簧相连接；

优选的，所述下底板的下表面的四角处固定有橡胶缓冲脚；

优选的，所述弧形支撑座的前后两侧各通过1个所述横向减震簧连接；

优选的，“L”形的所述侧板为4个，且前后对称分布于所述竖直减震簧的两侧；

优选的，所述纵向减震簧为4个，每个所述侧板上设置1个。

有益效果：

本实用新型将真空泵固定于弧形支撑座上后，竖直减震簧、横向减震簧以及纵向减震簧的相配合，可以有效的吸收真空泵在各个方向上产生的震动，从而减少由于工作时的震动产生的噪音，同时底板上的上下相对表面相互咬合的橡胶波纹板和置于下底板下表面四角处的橡胶缓冲脚的设置，进一步地吸收真空泵工作时产生的震动，从而降低真空泵工作时产生的噪音，优化了实验室的工作环境。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1：电子能谱仪用真空泵减震装置的立体结构示意图。

附图标记如下：

1、底板，101、下底板，102、橡胶波纹板，103、上底板，2、竖直减震簧，3、弧形支撑座，4、横向减震簧，5、侧板，6、纵向减震簧，7、橡胶缓冲脚。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参看图1：一种电子能谱仪用真空泵减震装置，包括底板1、竖直减震簧2、弧形支撑座3，底板1从下至上依次包括下底板101、相对面相互咬合的橡胶波纹板102、上底板103，竖直减震簧2均匀固定于上底板103的上表面且左右两侧各设置2个，左右两侧的2对竖直减震簧2的上表面上固定有2个弧形支撑座3，且2个弧形支撑座3通过横向减震簧4连接，在底板1的前后两侧面上固定有“L”形的侧板5，侧板5与2个弧形支撑座3的前后两侧面均通过纵向减震簧6相连接；弧形支撑座3的前后两侧各通过1个横向减震簧4连接；“L”形的侧板5为4个，且前后对称分布于竖直减震簧2的两侧；下底板101的下表面的四角处固定有橡胶缓冲脚7；纵向减震簧6为4个，每个侧板5上设置1个。

本实用新型将真空泵固定于弧形支撑座上后，竖直减震簧、横向减震簧以及纵向减震簧的相配合，可以有效的吸收真空泵在各个方向上产生的震动，从而减少由于工作时的震动产生的噪音，同时底板上的上下相对表面相互咬合的橡胶波纹板和置于下底板下表面四角处的橡胶缓冲脚的设置，进一步地吸收真空泵工作时产生的震动，从而降低真空泵工作时产生的噪音，优化了实验室的工作环境。

仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种电子能谱仪用真空泵减震装置，其特征在于：包括底板(1)、竖直减震簧(2)、弧形支撑座(3)，所述底板(1)从下至上依次包括下底板(101)、相对面相互咬合的橡胶波纹板(102)、上底板(103)，所述竖直减震簧(2)均匀固定于所述上底板(103)的上表面且左右两侧各设置2个，左右两侧的2对所述竖直减震簧(2)的上表面上固定有2个所述弧形支撑座(3)，且2个所述弧形支撑座(3)通过横向减震簧(4)连接，在所述底板(1)的前后两侧面上固定有“L”形的侧板(5)，所述侧板(5)与2个所述弧形支撑座(3)的前后两侧面均通过纵向减震簧(6)相连接。

2.如权利要求1所述的电子能谱仪用真空泵减震装置，其特征在于：所述下底板(101)的下表面的四角处固定有橡胶缓冲脚(7)。

3.如权利要求1所述的电子能谱仪用真空泵减震装置，其特征在于：所述弧形支撑座(3)的前后两侧各通过1个所述横向减震簧(4)连接。

4.如权利要求1所述的电子能谱仪用真空泵减震装置，其特征在于：“L”形的所述侧板(5)为4个，且前后对称分布于所述竖直减震簧(2)的两侧。

5.如权利要求1所述的电子能谱仪用真空泵减震装置，其特征在于：所述纵向减震簧(6)为4个，每个所述侧板(5)上设置1个。