CN206046443U - 超声波换能器 - Google Patents
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000006854 communication Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开一种超声波换能器，包括底板和设置在底板上的换能模块和外壳，换能模块固定设置在外壳中，换能模块和外壳均为圆弧形。本实用新型提供的超声波换能器采用超声波换能模块，且换能模块和外壳均为圆弧形，因此，具有清洗槽制造成本更低，超声波能量损耗更小，传播范围不变的情况下换能器结构尺寸更小的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种超声波换能器。
背景技术
在半导体集成电路制造过程中，晶片在生产中，要经过超声波的清洗步骤，用以保证晶片后续加工制造过程中的质量。通常超声波在清洗过程中，因为清洗槽或振子的原因会产生出金属分离物，对晶片造成污染，造成对晶片的不良后果。现有技术的清洗方法是将清洗槽做成一个内槽，一个外槽，晶片放在内槽中，通过外槽的超声波能量传递到内槽进行清洗。现有技术的清洗方法制做成本较大，超声波能量在传递过程中会有损耗的情况。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种超声波换能器，用以解决现有技术中超声波能量损耗大的问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供了一种超声波换能器，包括底板和设置在底板上的换能模块和外壳，换能模块固定设置在外壳中，换能模块和外壳均为圆弧形。
进一步的，换能模块采用超声波换能模块。
进一步的，换能模块粘贴固定于外壳内壁上面。
进一步的，外壳采用石英制成。
采用上述本实用新型技术方案的有益效果是：通过采用超声波换能模块，且换能模块和外壳均为圆弧形，因此，具有清洗槽制造成本更低，超声波能量损耗更小，传播范围不变的情况下换能器结构尺寸更小的优点。
附图说明
图1为本实用新型超声波换能器的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
本实用新型公开了一种超声波换能器，如图1所示，包括底板1和设置在底板1上的换能模块2和外壳3，其中，换能模块2固定设置在外壳3中，在传播范围不变的情况下使换能器的结构尺寸最小，换能模块2和外壳3均为圆弧形，以扩展传播辐射面。
在本实施例中，换能模块2可以通过粘贴方式固定于外壳3的内壁上面。具体的，为降低清洗槽制做成本，减少传播过程中的能量损耗，换能模块2可以采用超声波换能模块，外壳3则可以采用石英制成，因石英具有良好的化学兼容性，可以与大部分化学药液直接接触。
本实用新型提供的超声波换能器采用超声波换能模块，且换能模块和外壳均为圆弧形，因此，具有清洗槽制造成本更低，超声波能量损耗更小，传播范围不变的情况下换能器结构尺寸更小的优点。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (4)
1.一种超声波换能器，其特征在于，包括底板和设置在所述底板上的换能模块和外壳，所述换能模块固定设置在外壳中，所述换能模块和外壳均为圆弧形。
2.根据权利要求1所述的超声波换能器，其特征在于，所述换能模块采用超声波换能模块。
3.根据权利要求1所述的超声波换能器，其特征在于，所述换能模块粘贴固定于所述外壳内壁上面。
4.根据权利要求1～3任一项所述的超声波换能器，其特征在于，所述外壳采用石英制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621018613.9U CN206046443U (zh) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | 超声波换能器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621018613.9U CN206046443U (zh) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | 超声波换能器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206046443U true CN206046443U (zh) | 2017-03-29 |
Family
ID=58374146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621018613.9U Active CN206046443U (zh) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | 超声波换能器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206046443U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107550326A (zh) * | 2017-09-04 | 2018-01-09 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种超声波破壁料理机 |
-
2016
- 2016-08-31 CN CN201621018613.9U patent/CN206046443U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107550326A (zh) * | 2017-09-04 | 2018-01-09 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种超声波破壁料理机 |
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