CN206015086U - 一种适用于perc电池双面管式pecvd镀膜的石墨舟 - Google Patents
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Abstract
一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置；所述石墨舟片的表面为平坦结构。本实用新型改变目前的镂空结构，从而避免外观不良的产生，以实现双面管式PECVD镀膜的PERC电池的量产，提高正面减反射，背面增反射效果和钝化效果，提高PERC的转换效率；本实用新型的石墨舟片表面为平坦结构，等离子分布更均匀，提高了正面氮化硅膜均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产领域，尤其涉及一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳电池中，晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能，因此，晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。
现有技术中，晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括：清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、镀膜、印刷、烧结、电池片测试。其中，沉积减反射膜是晶体硅太阳能电池生产过程中的一个重要工序。
随着PERC技术发展，PECVD作为镀膜的关键手段，管式PECVD相对板式PECVD，膜层结构的设计窗口大，正面减反射和背面增反射膜效果更优，且管式PECVD有更好的钝化效果，逐渐成为技术热点。但在双面采用管式PECVD镀膜的时候，氧化铝镀膜结束后在电池片背面镀氮化硅（作用是保护氧化铝膜层）时，参见图1和图2所示，石墨舟片1上设置有用于承载硅片4的销钉2，石墨舟片1上设置有镂空窗口3，等离子通过镂空窗口3进入硅片4上对应的镂空区域5，在硅片4上形成一层氮化硅膜，在正面进行镀膜时就会出现外观不良，镂空区域5的膜厚高于正常区域，形成色差。经研究，申请人认为其原因在于：现有的石墨舟中，在进行背面膜层（P面）镀膜时，由于硅片无法完全贴合石墨舟片，等离子体会从缝隙中进入硅片N面区域，中央的镂空区域和边缘的非镂空区域等离子浓度分布不同，造成沉积的氮化硅厚度高于非镂空边缘区域，膜厚低肉眼不可见，当硅片旋转后在N面进行镀膜（减反射膜），会出现肉眼可见的色差，造成外观不良。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置；
所述石墨舟片的表面为平坦结构。
上述方案中，各石墨舟片之间通过陶瓷杆连接。
上述方案中，所述石墨舟片上对应于硅片设置有销钉以定位硅片。
上述方案中，所述石墨舟片上对应于每片硅片设置有三个销钉，三个销钉分别对应硅片的左侧边、右侧边和下侧边，以此将硅片定位在石墨舟片上。
上述方案中，“石墨舟片的表面为平坦结构”指的是：石墨舟片的表面上没有开设镂空窗口或者孔洞，其表面为封闭的结构，等离子无法穿透过石墨舟片沉积在硅片上。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1．本实用新型改变目前的镂空结构，从而避免外观不良的产生，以实现双面管式PECVD镀膜的PERC电池的量产，提高正面减反射，背面增反射效果和钝化效果，提高PERC的转换效率；
2. 本实用新型能够避免因为对面或者背面漏插造成的返工；
3. 本实用新型的石墨舟片表面为平坦结构，等离子分布更均匀，提高了正面氮化硅膜均匀性，减少了N面镀膜时产生色差的不良现象。
附图说明
图1为现有技术石墨舟片结构示意图。
图2为现有技术的石墨舟生产出的硅片结构示意图。
图3为本实用新型实施例一石墨舟片结构示意图。
图4为本实用新型实施例一石墨舟俯视图。
其中：1、石墨舟片；2、销钉；3、镂空窗口；4、硅片；5、镂空区域；6、陶瓷杆。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例一：
参见图3和图4所示，一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片1，各石墨舟片1在其厚度方向上间隔设置；
所述石墨舟片1的表面为平坦结构。
各石墨舟片1之间通过陶瓷杆6连接。
所述石墨舟片1上对应于每片硅片设置有三个销钉2，三个销钉2分别对应硅片的左侧边、右侧边和下侧边，以此将硅片定位在石墨舟片1上。
在使用状态下，硅片置于两片相邻石墨舟片1之间，并通过销钉2承载将硅片定位于石墨舟片1上，图4所示的石墨舟片1上可以同时承载两片硅片，而每片石墨舟片1上承载硅片的数量可根据实际情况进行调整。
Claims (4)
1.一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置，其特征在于：
所述石墨舟片的表面为平坦结构。
2.根据权利要求1所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，其特征在于：各石墨舟片之间通过陶瓷杆连接。
3.根据权利要求1所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片上对应于硅片设置有销钉以定位硅片。
4.根据权利要求3所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片上对应于每片硅片设置有三个销钉，三个销钉分别对应硅片的左侧边、右侧边和下侧边，以此将硅片定位在石墨舟片上。
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| CN201620785817.9U CN206015086U (zh) | 2016-07-25 | 2016-07-25 | 一种适用于perc电池双面管式pecvd镀膜的石墨舟 |
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|---|---|---|---|---|
| CN110311015A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-08 | 理想晶延半导体设备上海(有限)公司 | 晶硅太阳能电池的薄膜沉积方法 |
| JP2020506529A (ja) * | 2017-05-18 | 2020-02-27 | 広東愛旭科技股▲フン▼有限公司Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ Ａｉｋｏ Ｓｏｌａｒ Ｅｎｅｒｇｙ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | 管型ｐｅｒｃ両面受光型太陽電池、その製造方法及びその専用装置 |
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