CN101447531A - 一种太阳能电池正面电极的制备方法 - Google Patents

一种太阳能电池正面电极的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101447531A
CN101447531A CNA2008102074907A CN200810207490A CN101447531A CN 101447531 A CN101447531 A CN 101447531A CN A2008102074907 A CNA2008102074907 A CN A2008102074907A CN 200810207490 A CN200810207490 A CN 200810207490A CN 101447531 A CN101447531 A CN 101447531A
Authority
CN
China
Prior art keywords
front electrode
electrode
preparation
solar cell
silver
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2008102074907A
Other languages
English (en)
Inventor
陶龙忠
邢国强
何胜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JA SOLAR HOLDINGS CO Ltd
Original Assignee
JA SOLAR HOLDINGS CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JA SOLAR HOLDINGS CO Ltd filed Critical JA SOLAR HOLDINGS CO Ltd
Priority to CNA2008102074907A priority Critical patent/CN101447531A/zh
Publication of CN101447531A publication Critical patent/CN101447531A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种太阳能电池正面电极的制备方法，即采用电镀的方法制作正面电极，包括两种方式，第一种方法是先采用喷墨印刷的方法在栅线区域印刷一层银电极，然后采用电镀的方法继续在其上沉积一层银，使得正面电极增高；另一种方法是先采用激光开正面电极接触窗口，然后采用电镀的方法电镀上正面电极。本发明可以使正面的栅线电极的宽度变小，高度变大，这样使得电池的串联电阻可以得到减小，受光面积增大，有利于提高太阳能电池的性能。

Description

一种太阳能电池正面电极的制备方法
技术领域
本发明涉及太阳能光电利用领域，具体涉及一种晶体硅太阳电池的正面电极的制备方法。
背景技术
目前的商业化太阳能电池的生产工艺流程如图1所示：去除硅片表面损伤层、制绒面→在POCl3气氛中进行P扩散，形成n+扩散层→利用PECVD工艺在正面镀SiNx减反射膜→丝网印刷正背面电极、背电场→在烧结炉内烧结形成欧姆接触。这种商业化太阳能电池制造技术相对简单、成本较低，适合工业化、自动化生产，因而得到广泛应用。
目前采用丝网印刷制备的正面电极的细栅电极其高度在5-30微米、宽度在60-180微米范围之间，较宽的正面栅线宽度遮挡了较多的太阳光，使得太阳能电池的光利用效率还不是很好，需要将栅线宽度进一步变窄，传统的丝网印刷工艺已很难使得细栅宽度降到一个更低的水平。较矮的细栅增加了太阳能电池的串联电阻，较大一部分电流会以热的形式被消耗掉，最后收集的电流变小。传统的工艺也很难使得细栅高度增加到一个较高的水平。在做高方块电阻的电池片时，需要用密栅来减少横向电阻对电流造成的损失。增加了栅线的条数后需要将栅线的宽度减小才不会遮挡更多的太阳光，因此栅线较窄有利于更好的制作高方阻太阳能电池。
发明内容
本发明的目的在于提供一种新的晶体硅太阳电池正面电极的制备方法，该方法可克服传统印刷工艺的瓶颈，使正面栅线电极的高度更高，宽度更窄，更多的利用太阳光并尽量减小电池的串联电阻。
本发明的目的通过采取以下技术措施予以实现：
一种太阳能电池正面电极的制备方法，其特征在于，在制作正面电极的过程中引入电镀的方法，采用电镀的方法制作正面电极可以使得正面的栅线电极的宽度变小，高度变大，这样使得电池的串联电阻可以得到减小，受光面积增大，有利于提高太阳能电池的性能。
作为本发明的一种实施方式，首先采用喷墨印刷的方法在正面电极区域印刷一层银电极，然后采用电镀的方法继续在银电极上沉积一层银。
作为本发明的另一种实施方式，首先采用激光开正面电极接触窗口，然后采用电镀的方法电镀上正面电极，其中在正面电极区域电镀的正面电极为钛、钯、镍、铜或银。
本发明的其中一个实施方式是在喷墨印刷后采用电镀的方法，可以在不增加宽度的情况下使得正面细栅电极的高度得到进一步提高，有利于进一步提高太阳能电池的性能。另外一个实施方式是先用激光开正面电极接触窗口，再利用电镀的方法电镀上正面电极。本发明采用喷墨印刷和电镀相结合或激光开正面电极接触窗口和电镀相结合的方法可以更好的控制正面细栅电极的高宽度，使得正面细栅电极的宽度更窄，高度更高，进一步提高太阳能电池的转化效率。另外，本发明有利于制备高方阻太阳能电池，并使得正面栅线的宽度较窄较高，从而可以印刷更多的栅线条数，减少横向电阻对电流造成的损失。
附图说明
图1是现有的商业化生产晶体硅太阳能电池的制备工艺流程图；
图2是本发明实施例1生产晶体硅太阳能电池的的工艺流程图；
图3是本发明实施例2生产晶体硅太阳能电池的的工艺流程图。
具体实施方法
如图2所示，本发明实施例1的工艺流程是：
①去除硅片表面损伤层、制绒面；
②在POCl3气氛中进行P扩散，形成n+扩散层；
③利用PECVD工艺在正面镀SiNx减反射膜；
④丝网印刷背面电极和背电场；
⑤利用喷墨印刷制备正面栅线银电极；
⑥利用电镀的方法在正面电极上再电镀上一层银；
⑦在烧结炉内烧结。
如图3所示，本发明实施例2的工艺流程是：
①去除硅片表面损伤层、制绒面；
②在POCl3气氛中进行P扩散，形成n+扩散层；
③利用PECVD工艺在正面镀SiNx减反射膜；
④丝网印刷背面电极和背电场；
⑤利用激光开前电极接触窗口并清洗；
⑥利用电镀的方法电镀上正面电极，正面电极材料可以是钛、钯、镍、铜或银等；
⑦在烧结炉内烧结。
本发明实施例1是在喷墨印刷后采用电镀的方法，可以在不增加宽度的情况下使得正面细栅电极的高度得到进一步提高，有利于进一步提高太阳能电池的性能。实施例2先用激光开正面电极接触窗口，再利用电镀的方法电镀上正面电极。本发明实施例采用喷墨印刷和电镀相结合或激光开正面电极接触窗口和电镀相结合的方法可以更好的控制正面细栅电极的高宽度，使得正面细栅电极的宽度更窄，高度更高，进一步提高太阳能电池的转化效率。
总之，本发明例举了上述优选实施方式，但是应该说明，本领域的技术人员可以进行各种变化和改型。因此，除非这样的变化和改型偏离了本发明的范围，否则都应该包括在本发明的保护范围内。

Claims (4)

1.一种太阳能电池正面电极的制备方法，其特征在于，在制作正面电极的过程中引入电镀的方法。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池正面电极的制备方法，其特征在于，在制作正面电极的过程中，首先采用喷墨印刷的方法在正面电极区域印刷一层银电极，然后采用电镀的方法继续在银电极上沉积一层银。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池正面电极的制备方法，其特征在于，在制作正面电极的过程中，首先采用激光开正面电极接触窗口，然后采用电镀的方法电镀上正面电极。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池正面电极的制备方法，其特征在于，在正面电极区域电镀的正面电极为钛、钯、镍、铜或银。
CNA2008102074907A 2008-12-22 2008-12-22 一种太阳能电池正面电极的制备方法 Pending CN101447531A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2008102074907A CN101447531A (zh) 2008-12-22 2008-12-22 一种太阳能电池正面电极的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2008102074907A CN101447531A (zh) 2008-12-22 2008-12-22 一种太阳能电池正面电极的制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101447531A true CN101447531A (zh) 2009-06-03

Family

ID=40743045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2008102074907A Pending CN101447531A (zh) 2008-12-22 2008-12-22 一种太阳能电池正面电极的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101447531A (zh)

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101853898A (zh) * 2010-03-31 2010-10-06 晶澳(扬州)太阳能光伏工程有限公司 一种n型晶体硅太阳电池的制备工艺
CN101853897A (zh) * 2010-03-31 2010-10-06 晶澳(扬州)太阳能光伏工程有限公司 一种n型晶体硅局部铝背发射极太阳电池的制备方法
CN101872808A (zh) * 2010-06-04 2010-10-27 珈伟太阳能(武汉)有限公司 一种晶硅太阳能电池选择性发射极的制作方法
CN101950761A (zh) * 2010-09-29 2011-01-19 上海晶澳太阳能科技有限公司 一种新型太阳能电池及由其组成的太阳能光伏组件
CN101950771A (zh) * 2010-07-27 2011-01-19 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种复合电极的制备方法
CN102082209A (zh) * 2010-12-18 2011-06-01 广东爱康太阳能科技有限公司 一种丝网印刷技术印刷晶硅太阳电池细栅线方法
WO2011063743A1 (zh) * 2009-11-27 2011-06-03 无锡尚德太阳能电力有限公司 太阳电池正面电极的形成方法
CN102085766A (zh) * 2010-11-29 2011-06-08 奥特斯维能源（太仓）有限公司 一种太阳能电池片栅线的喷墨印刷工艺
CN102152676A (zh) * 2010-11-29 2011-08-17 奥特斯维能源（太仓）有限公司 一种节约式太阳能电池片栅线喷墨印刷工艺
CN102299201A (zh) * 2011-08-25 2011-12-28 上海市激光技术研究所 太阳电池前电极激光加工方法及装置
CN103258867A (zh) * 2013-04-28 2013-08-21 宁波日地太阳能电力有限公司 一种硅太阳能电池的正面电极及其制备方法
WO2013143350A1 (zh) * 2012-03-29 2013-10-03 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种太阳电池、组件及太阳电池电极的制造方法
CN103367528A (zh) * 2012-03-29 2013-10-23 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种太阳电池、组件及太阳电池电极的制造方法
CN103646994A (zh) * 2013-11-29 2014-03-19 奥特斯维能源（太仓）有限公司 一种太阳电池正面电极的制备方法
CN103811581A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 上海神舟新能源发展有限公司 一种喷墨印刷制作晶体硅太阳电池的方法
CN103996752A (zh) * 2014-06-10 2014-08-20 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 一种太阳能电池正电极栅线制备方法
CN104603956A (zh) * 2012-09-17 2015-05-06 Imec非营利协会 用于改进镀金属层到硅的粘合的方法
CN108321252A (zh) * 2018-02-02 2018-07-24 浙江晶科能源有限公司 一种太阳能电池栅线的制备方法
CN109004039A (zh) * 2018-08-02 2018-12-14 君泰创新（北京）科技有限公司 一种太阳能电池芯片及其制备方法
CN111341884A (zh) * 2020-03-20 2020-06-26 浙江晶科能源有限公司 一种硅片及其表面倒金字塔结构制备方法

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011063743A1 (zh) * 2009-11-27 2011-06-03 无锡尚德太阳能电力有限公司 太阳电池正面电极的形成方法
CN101853897A (zh) * 2010-03-31 2010-10-06 晶澳(扬州)太阳能光伏工程有限公司 一种n型晶体硅局部铝背发射极太阳电池的制备方法
CN101853898A (zh) * 2010-03-31 2010-10-06 晶澳(扬州)太阳能光伏工程有限公司 一种n型晶体硅太阳电池的制备工艺
CN101872808A (zh) * 2010-06-04 2010-10-27 珈伟太阳能(武汉)有限公司 一种晶硅太阳能电池选择性发射极的制作方法
CN101950771A (zh) * 2010-07-27 2011-01-19 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种复合电极的制备方法
CN101950761A (zh) * 2010-09-29 2011-01-19 上海晶澳太阳能科技有限公司 一种新型太阳能电池及由其组成的太阳能光伏组件
CN102085766A (zh) * 2010-11-29 2011-06-08 奥特斯维能源（太仓）有限公司 一种太阳能电池片栅线的喷墨印刷工艺
CN102152676A (zh) * 2010-11-29 2011-08-17 奥特斯维能源（太仓）有限公司 一种节约式太阳能电池片栅线喷墨印刷工艺
CN102082209B (zh) * 2010-12-18 2013-08-28 广东爱康太阳能科技有限公司 一种丝网印刷技术印刷晶硅太阳电池细栅线方法
CN102082209A (zh) * 2010-12-18 2011-06-01 广东爱康太阳能科技有限公司 一种丝网印刷技术印刷晶硅太阳电池细栅线方法
CN102299201A (zh) * 2011-08-25 2011-12-28 上海市激光技术研究所 太阳电池前电极激光加工方法及装置
WO2013143350A1 (zh) * 2012-03-29 2013-10-03 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种太阳电池、组件及太阳电池电极的制造方法
CN103367528A (zh) * 2012-03-29 2013-10-23 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种太阳电池、组件及太阳电池电极的制造方法
CN104603956A (zh) * 2012-09-17 2015-05-06 Imec非营利协会 用于改进镀金属层到硅的粘合的方法
CN103811581B (zh) * 2012-11-08 2016-05-18 上海神舟新能源发展有限公司 一种喷墨印刷制作晶体硅太阳电池的方法
CN103811581A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 上海神舟新能源发展有限公司 一种喷墨印刷制作晶体硅太阳电池的方法
CN103258867B (zh) * 2013-04-28 2016-04-13 宁波日地太阳能电力有限公司 一种硅太阳能电池的正面电极及其制备方法
CN103258867A (zh) * 2013-04-28 2013-08-21 宁波日地太阳能电力有限公司 一种硅太阳能电池的正面电极及其制备方法
CN103646994A (zh) * 2013-11-29 2014-03-19 奥特斯维能源（太仓）有限公司 一种太阳电池正面电极的制备方法
CN103996752A (zh) * 2014-06-10 2014-08-20 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 一种太阳能电池正电极栅线制备方法
CN103996752B (zh) * 2014-06-10 2016-04-13 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 一种太阳能电池正电极栅线制备方法
CN108321252A (zh) * 2018-02-02 2018-07-24 浙江晶科能源有限公司 一种太阳能电池栅线的制备方法
CN109004039A (zh) * 2018-08-02 2018-12-14 君泰创新（北京）科技有限公司 一种太阳能电池芯片及其制备方法
WO2020024425A1 (zh) * 2018-08-02 2020-02-06 君泰创新（北京）科技有限公司 一种太阳能电池芯片及其制备方法
CN111341884A (zh) * 2020-03-20 2020-06-26 浙江晶科能源有限公司 一种硅片及其表面倒金字塔结构制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101447531A (zh) 一种太阳能电池正面电极的制备方法
CN106449876B (zh) 选择性发射极双面perc晶体硅太阳能电池的制作方法
CN102299200B (zh) 一种晶体硅太阳能电池金属电极的制备方法
CN108470781A (zh) 选择性发射极黑硅双面perc晶体硅太阳能电池的制作方法
CN106409956A (zh) 一种n型晶体硅双面太阳能电池结构及其制备方法
CN106328765A (zh) 一种高效perc晶体硅太阳能电池的制备方法及工艺
CN101807627B (zh) 一种硅基太阳能电池正面栅电极的制备方法
CN102185030B (zh) 基于n型硅片的背接触式hit太阳能电池制备方法
CN102185033A (zh) 选择性发射极高效晶体硅太阳能电池的制备工艺
CN104137270A (zh) 用于接触半导体衬底、特别是用于接触太阳能电池的方法以及由此得到接触的太阳能电池
CN101635319B (zh) 一种制作背面铝扩散的n型太阳能电池的方法
CN102544235A (zh) 一种mwt太阳能电池电极的制备方法
CN202585429U (zh) 一种背面点接触晶硅太阳电池
CN102629641A (zh) 一种背接触硅太阳能电池的制备方法
CN203674218U (zh) Mwt与背钝化结合的晶硅太阳能电池
CN202796971U (zh) 一种晶体硅太阳能电池的背面结构
CN204315584U (zh) 一种新型电极结构的太阳能电池片
CN101958364B (zh) 一种背面钝化的太阳能电池的生产方法
CN104576824B (zh) 一种新的晶硅太阳能电池前栅线电极开槽方法以及该太阳能电池的制造方法
CN102912397A (zh) 一种节约式太阳能电池片电镀方法
CN206864485U (zh) 一种p型晶体硅电池结构
CN103035771B (zh) N型mwt太阳能电池结构及其制造工艺
CN203085565U (zh) 一种新型太阳能电池正电极
CN102185031B (zh) 基于p型硅片的背接触式hit太阳能电池制备方法
CN102569437B (zh) 一种电场钝化背面点接触晶体硅太阳电池及其制备工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20090603