CN205965835U - 锗烷反应系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及锗烷生产技术领域，公开了锗烷反应系统，包括了清洗组件、进料组件、反应釜、冷却夹套、搅拌器、压力表、液位计、PLC控制组件和隔膜泵，根据系统的整体结构对反应釜采用新型的方法对内部进行清洗，并且利用PLC控制器控制清洗组件和进料组件的输送工作，从而使锗烷反应更加的安全、高效纯度更高和稳定；经过合理设计，同时可在反应罐增设冷却夹套，搅拌器，方便在反应的过程中温度的控制和反应的均匀性。整体系统的设计弥补了锗烷反应安全性、稳定性、高效性的空缺，填补了国内锗烷生产中不成熟的技术难题。
Description
技术领域
本实用新型涉及锗烷生产技术领域，特别是锗烷反应系统。
背景技术
锗烷是一种在半导体工业上有重要用途的分解爆炸危险性，同时毒性很高的无色气体，一直以来，我国的锗烷基本都是从外面进口的，在此之前在国内基本没有锗烷的生产基地，有也只是比较简陋，没有一个很好的反应系统，无法确保安全和稳定性，而锗烷的生产设施设备更是一片空白，在我国锗烷的生产一直都是技术的一个难题，同时对整个的锗烷反应系统的要求较高，对反应釜内部的清洁度要求很高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种锗烷反应系统，以满足国内锗烷生产的空白，同时提高反应的安全性和稳定性。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型公开了一种锗烷反应系统，锗烷反应系统包括了清洗组件、进料组件、反应釜、冷却夹套、搅拌器、压力表、液位计、PLC控制组件和隔膜泵，清洗组件和进料组件通过输配管路与反应釜相连，冷却夹套安装于反应釜的外侧，搅拌器和液位计安装于反应釜内，压力表安装于反应釜的顶部，反应釜底部通过隔膜泵与废水罐相连。
其中，清洗组件包括了氮气管道、氦气管道和尾气处理管道，氮气管道、氦气管道和尾气处理管道与反应釜相连，氮气管道、氦气管道和尾气处理管道上分别设置有隔离阀和单向阀。
其中，进料组件包括了碱液管道、酸液管道、真空管道、超纯水管道和纯化系统输送管道，碱液管道、酸液管道、真空管道和超纯水管道上分别安装有隔离阀。
其中，PLC控制组件包括了清洗PLC控制器和进料PLC控制器，清洗PLC控制器通过信号线路与清洗组件相连，进料PLC控制器通过信号线路与进料组件相连。
其中，紧急排放组件包括了爆破片和紧急排放罐，紧急排放罐通过输配管路与反应釜相连，爆破片设置于输配管路上。
优选的，反应釜为不锈钢材质制成，内衬聚四氟乙烯。
本实用新型具有以下有益效果：
1.根据系统的整体结构对反应釜采用新型的方法对内部进行清洗，并且利用PLC控制器控制清洗组件和进料组件的输送工作，从而使锗烷反应更加的安全、高效纯度更高和稳定。
2.经过合理设计，同时可在反应罐增设冷却夹套，搅拌器，方便在反应的过程中温度的控制和反应的均匀性。整体系统的设计弥补了锗烷反应安全性、稳定性、高效性的空缺，填补了国内锗烷生产中不成熟的技术难题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
1：氮气管道，2：氦气管道，3：尾气处理管道，4：碱液管道，5：酸液管道，6：真空管道，7：超纯水管道，8：纯化系统输送管道，9：反应釜，10：冷却夹套，11：搅拌器，12：压力表，13：液位计，14：清洗PLC控制器，15：进料PLC控制器，16：爆破片，17：紧急排放罐，18：隔膜泵，19：废水罐。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型公开了一种锗烷反应系统，锗烷反应系统包括了清洗组件、进料组件、反应釜9、冷却夹套10、搅拌器11、压力表12、液位计13、PLC控制组件、爆破片16、紧急排放罐17、隔膜泵18，清洗组件和进料组件通过输配管路与反应釜9相连，冷却夹套10安装于反应釜9的外侧，搅拌器11和液位计13安装于反应釜9内，压力表12安装于反应釜9的顶部，紧急排放罐17通过输配管路与反应釜9相连，爆破片16设置于输配管路上，反应釜9底部通过隔膜泵18与废水罐19相连。
清洗组件包括了氮气管道1、氦气管道2和尾气处理管道3，氮气管道1、氦气管道2和尾气处理管道3与反应釜9相连，氮气管道1、氦气管道2和尾气处理管道3上分别设置有隔离阀和单向阀。
进料组件包括了碱液管道4、酸液管道5、真空管道6、超纯水管道7和纯化系统输送管道8，碱液管道4、酸液管道5、真空管道6和超纯水管道7上分别安装有隔离阀。
PLC控制组件包括了清洗PLC控制器14和进料PLC控制器15，清洗PLC控制器14通过信号线路与清洗组件相连，进料PLC控制器15通过信号线路与进料组件相连。
工作原理：
在锗烷反应之前，先对反应釜9内部进行氮气、氦气清洗抽真空，重复若干次至满足反应要求，同时对冷却夹套10进行冷却，反应釜9内进料液位通过液位计13进行观察，反应的过程中通过进料PLC控制器15来控制反应的速度，产品锗烷气体从纯化系统输送管道8输送进入纯化系统。最后重复锗烷反应前步骤对反应反应釜9内部进行清洗，清洗干净之后，通过氮气管道1往里面加入一定数值的氮气，然后打开隔膜泵18把反应完的废液排放到废水罐19。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.锗烷反应系统，其特征在于，所述的锗烷反应系统包括了清洗组件、进料组件、反应釜、隔膜泵、冷却夹套、搅拌器、压力表、液位计和PLC控制组件，所述的清洗组件和进料组件通过输配管路与反应釜相连，所述的冷却夹套安装于反应釜的外侧，所述的搅拌器和液位计安装于反应釜内，所述的压力表安装于反应釜的顶部，所述的反应釜底部通过隔膜泵与废水罐相连。
2.如权利要求1所述的锗烷反应系统，其特征在于，所述的清洗组件包括了氮气管道、氦气管道和尾气处理管道，所述的氮气管道、氦气管道和尾气处理管道与反应釜相连，氮气管道、氦气管道和尾气处理管道上分别设置有隔离阀和单向阀。
3.如权利要求1所述的锗烷反应系统，其特征在于，所述的进料组件包括了碱液管道、酸液管道、真空管道、超纯水管道和纯化系统输送管道，所述的碱液管道、酸液管道、真空管道和超纯水管道上分别安装有隔离阀。
4.如权利要求1所述的锗烷反应系统，其特征在于，所述的PLC控制组件包括了清洗PLC控制器和进料PLC控制器，所述的清洗PLC控制器通过信号线路与清洗组件相连，所述的进料PLC控制器通过信号线路与进料组件相连。
5.如权利要求1所述的锗烷反应系统，其特征在于：还包括有紧急排放组件，所述的紧急排放组件包括了爆破片和紧急排放罐，所述的紧急排放罐通过输配管路与反应釜相连，所述的爆破片设置于输配管路上。
6.如权利要求1所述的锗烷反应系统，其特征在于：所述的反应釜为不锈钢材质制成，内衬聚四氟乙烯。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110612365A (zh) * | 2017-05-19 | 2019-12-24 | 昭和电工株式会社 | 电化学制造锗烷的方法 |
| CN114524413A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-05-24 | 沧州华宇特种气体科技有限公司 | 一种制备锗烷的系统及其制备方法 |
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2016
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| CN110612365B (zh) * | 2017-05-19 | 2022-04-05 | 昭和电工株式会社 | 电化学制造锗烷的方法 |
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