CN205958617U - 一种探针卡固定基板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型针提供一种探针卡固定基板,将以前的用环氧树脂固定的方式加以改进,采用可装卸的装夹方式,在底座上设有针槽及螺纹孔,针槽的位置按照测试点位设置,针槽的宽度按照选用的针的粗细来定,将探针在槽中摆放好位置,再将上盖通过螺栓固定在底座上,将针固定好位置,在有探针损坏的情况下,通过拆卸螺栓的方式,将坏针换掉,这样客户就可以制作较少数量的针卡,通过换针来达到大量测试降低成本的目的,为客户节约了制作针卡的开支。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体测试技术领域,具体涉及一种探针卡固定基板。
背景技术
现今,在半导体器件的生产和开发中,为了监控半导体器件的稳定性、调试新产品设计以及进行失效分析,经常需要测试半导体器件的各种电学特性。在上述测试过程中通常使用探针卡。在芯片测试中,有一类芯片的测试点位置和数量固定,都在同一条直线上,测试的量非常大,也就是说需要制作多张相同的探针卡来进行测试,并且随着测试数量增多导致的针卡的磨损,需要不断的制作针卡来进行测试。
如图1所示,现在的针卡的制作结构如下:先将探针按照固定的位置摆放好,使用环氧树脂将其全部涂好,等环氧树脂硬化后,位置就固定好了。但是,使用环氧树脂固定探针的位置,针损坏后,无法换掉损坏的针,需要重新制作,需要的针卡数量较多,这样客户的测试成本也增多。
发明内容
为解决上述技术问题,本实用新型的一种探针卡固定基板,采用可装卸的装夹方式可灵活的根据客户的要求进行换针,大大降低了探针卡的制作成本。
为了达到上述目的,本实用新型的一种探针卡固定基板,包括底座和上盖,所述底座为长方形平板,所述底座的表面上设置有沿底座垂直方向上布局的数个长度一致的针槽,所述针槽一端为开口,另一端为密封,所述针槽的开口端设置于底座一侧的侧边之上,所述底座的上下两端设置有第一螺纹孔和第二螺纹孔,所述上盖为和底座大小一致的长方形平板,所述上盖上设置有第三螺纹孔和第四螺纹孔,所述第一螺纹孔、第二螺纹孔的位置与第三螺纹孔和第四螺纹孔相对应,所述第一螺纹孔和第三螺纹孔,所述第二螺纹孔和第四螺纹孔均通过螺栓连接固定,用以将上盖安装固定于底座表面之上。
进一步的,所述针槽的长度小于探针的长度。
更进一步的,所述针槽的开槽位置和间距由被测装置的测试点来决定。
更进一步的,所述针槽等间距排列与底座的表面之上。
更进一步的,所述针槽的宽度与探针宽度一致。
本实用新型同现有技术相比,具有以下优点和有益效果:
本实用新型针提供一种探针卡固定基板,将以前的用环氧树脂固定的方式加以改进,采用可装卸的装夹方式,在底座上设有针槽及螺纹孔,针槽的位置按照测试点位设置,针槽的宽度按照选用的针的粗细来定,将探针在槽中摆放好位置,再将上盖通过螺栓固定在底座上,将针固定好位置,在有探针损坏的情况下,通过拆卸螺栓的方式,将坏针换掉,这样客户就可以制作较少数量的针卡,通过换针来达到大量测试降低成本的目的,为客户节约了制作针卡的开支。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型底座的主视图;
图2是本实用新型安装探针的底座的主视图;
图3是本实用新型上盖的主视图;
图4是本实用新型的侧面剖视图
附图标记
底座1 上盖2 针槽3 第一螺纹孔4 第二螺纹孔5 探针6 螺栓7 第三螺纹孔8 第四螺纹孔9
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的一种探针卡固定基板的设计核心思想在于:通过在底座1上设置针槽3,方便工作人员拆卸,同时底座1通过上盖2对探针进行固定,方便工作人员对探针卡进换针。
为了使本实用新型的目的,技术方案和优点更加清楚,下面结合附图来进一步做详细说明。
如图1所示,为本实用新型的一种探针卡固定基板的底座1。底座1为长方形平板,底座1的表面上设置有沿底座1垂直方向上布局的数个长度一致的针槽3,针槽3一端为开口,另一端为密封,方便用户将探针6安装于针槽3之内。针槽3的开口端设置于底座1一侧的侧边之上,针槽3的长度小于探针6的长度,针槽3的宽度与探针6宽度一致,使探针6安装于针槽3之后露出针头。针槽3的开槽位置和间距由被测装置的测试点来决定,同时针槽3等间距排列与底座1的表面之上,可灵活的适应各种不同的测试设备。
优选的,底座1的上下两端设置有第一螺纹孔4和第二螺纹孔5,用以与上盖2进行连接。第一螺纹孔4和第二螺纹孔5采用对称布置。
如图2所示,上盖2为和底座1大小一致的长方形平板,上盖2上设置有第三螺纹孔8和第四螺纹孔9。所述第三螺纹孔8、第四螺纹孔9的位置与第一螺纹孔4和第二螺纹孔5相对应,所述第一螺纹孔4和第三螺纹孔8,所述第二螺纹孔5和第四螺纹孔9均通过螺栓7连接固定,用以将上盖2安装固定于底座1表面之上。
如图3所示,上盖2在在安装到底座1上之后,通过螺栓7将上盖2和底座1完全固定,以此使探针6牢固的安装在针槽3之内。当用户需要取下探针6时,可将螺栓7旋松,先将上盖2与底座1分离,即可按照测试需要从针槽3内取下探针6。
综上所述,本实用新型针的一种探针卡固定基板,将以前的用环氧树脂固定的方式加以改进,采用可装卸的装夹方式,在底座1上设有针槽3及螺纹孔,针槽3的位置按照测试点位设置,针槽3的宽度按照选用的针的粗细来定,将探针6在槽中摆放好位置,再将上盖2通过螺栓7固定在底座1上,将针固定好位置,在有探针6损坏的情况下,通过拆卸螺栓7的方式,将坏针换掉,这样客户就可以制作较少数量的针卡,通过换针来达到大量测试降低成本的目的,为客户节约了制作针卡的开支。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种探针卡固定基板,其特征在于,包括底座和上盖,所述底座为长方形平板,所述底座的表面上设置有沿底座垂直方向上布局的数个长度一致的针槽,所述针槽一端为开口,另一端为密封,所述针槽的开口端设置于底座一侧的侧边之上,所述底座的上下两端设置有第一螺纹孔和第二螺纹孔,所述上盖为和底座大小一致的长方形平板,所述上盖上设置有第三螺纹孔和第四螺纹孔,所述第一螺纹孔、第二螺纹孔的位置与第三螺纹孔和第四螺纹孔相对应,所述第一螺纹孔和第三螺纹孔,所述第二螺纹孔和第四螺纹孔均通过螺栓连接固定,用以将上盖安装固定于底座表面之上。
2.如权利要求1所述的一种探针卡固定基板,其特征在于,所述针槽的长度小于探针的长度。
3.如权利要求2所述的一种探针卡固定基板,其特征在于,所述针槽的开槽位置和间距由被测装置的测试点来决定。
4.如权利要求3所述的一种探针卡固定基板,其特征在于,所述针槽等间距排列与底座的表面之上。
5.如权利要求4所述的一种探针卡固定基板,其特征在于,所述针槽的宽度与探针宽度一致。
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CN108107243A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-01 | 深圳市道格特科技有限公司 | 快速拆装探针卡 |
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CN112731116A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-04-30 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 | 一种控制针卡在线复用增减针的方法 |
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