CN205957657U - 一种硅片烘干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片烘干机，包括工作台、输送带和单机片控制器；所述工作台上从左到右依次安装有电动机、烘干箱、热风机、显示屏和主机箱，所述输送带的两端穿过烘干箱设置在烘干箱的两侧，所述烘干箱的内腔顶部上固定安装有温度传感器和湿度传感器，所述热风机的进风口通过进风管与烘干箱的前侧面连接，所述热风机的出风口通过出风管与烘干箱的顶部连接，所述单机片控制器的输入端分别与温度传感器和湿度传感器的输出端电性连接，所述单机片控制器的输出端分别与电动机、热风机、显示屏、第一气动泵和第二气动泵的输入端电性连接。本实用新型结构简单，自动化程度高，利用热循环风进行烘干，节省成本。

Description

一种硅片烘干机

技术领域

本实用新型涉及烘干机设备技术领域，具体为一种硅片烘干机。

背景技术

目前，硅片生产过程中须经过清洗工序，硅片清洗后要去除其表面的水分，以得到清洁、干燥的硅片，硅片烘干机是硅片清洗后去除表面水分的最常用的设备。目前硅片烘干机都是人工操作，智能化和自动化程度低，浪费大量的时间、人力和物力。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片烘干机，结构简单，自动化程度高，利用热循环风进行烘干，节省成本。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种硅片烘干机，包括工作台、输送带和单机片控制器；所述工作台上从左到右依次安装有电动机、烘干箱、热风机、显示屏和主机箱，所述输送带的两端穿过烘干箱设置在烘干箱的两侧，所述输送带通过固定杆固定安装在工作台上，所述烘干箱的左侧面上开设有进口，所述烘干箱的右侧面上开设有出口，所述烘干箱的内腔顶部固定安装有温度传感器和湿度传感器，所述温度传感器设置在湿度传感器的左侧，所述烘干箱左侧上方安装有第一气动泵，且烘干箱右侧上方安装有第二气动泵，所述第一气动泵通过第一气动伸缩杆连接有第一气动门，且第一气动门紧贴在烘干箱的左侧面上，所述第二气动泵通过第二气动伸缩杆连接有第二气动门，所述第二气动门紧贴在烘干箱的右侧面上，所述热风机的进风口通过进风管与烘干箱的前侧面连接，且进风管的一端伸入到烘干箱的内腔中，所述热风机的出风口通过出风管与烘干箱的顶部连接，且出风管的一端伸入到烘干箱的内腔中，所述单机片控制器的输入端分别与温度传感器和湿度传感器的输出端电性连接，所述单机片控制器的输出端分别与电动机、热风机、显示屏、第一气动泵和第二气动泵的输入端电性连接。

作为进一步的改进，所述工作台底部的四个角部均安装有万向轮，且万向轮上安装有刹车片。

作为进一步的改进，所述烘干箱具体采用绝热材料构件，且烘干箱的夹层中充填有隔热保温材料。

作为进一步的改进，所述显示屏具体为LED液晶显示屏。

本实用新型的有益效果是：该设备结构简单，布局合理，自动化程度高，操作简单，利用热循环风进行烘干，节省成本；通过输送带可以实现烘干的持续性；通过温度传感器和湿度传感器可以实时监测烘干箱内腔中的温度和湿度；添加万向轮和刹车片使该设备便于移动，同时当该设备移动到位后压紧刹车片能防止该设备的移动。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视图。

图3为本实用新型的原理框图。

图中：1-工作台；2-万向轮；3-刹车片；4-电动机；5-烘干箱；6-热风机；7-显示屏；8-主机箱；9-输送带；10-固定杆；11-进口；12-出口；13-温度传感器；14-湿度传感器；15-第一气动泵；16-第二气动泵；17-第一气动伸缩杆；18-第一气动门；19-第二气动伸缩杆；20-第二气动门；21-进风管；22-出风管；23-单机片控制器；24-隔热保温材料。

具体实施方式

结合附图1、图2和图3所示，一种硅片烘干机，包括工作台1、输送带9和单机片控制器23；工作台1上从左到右依次安装有电动机4、烘干箱5、热风机6、LED液晶显示屏7和主机箱8，输送带9的两端穿过烘干箱5设置在烘干箱5的两侧，输送带9通过固定杆10固定安装在工作台1上，烘干箱5的左侧面上开设有进口11，在烘干箱5的右侧面上开设有出口12，烘干箱5的内腔顶部固定安装有温度传感器13和湿度传感器14，将温度传感器13设置在湿度传感器14的左侧，烘干箱5左侧上方安装有第一气动泵15，且烘干箱5右侧上方安装有第二气动泵16，第一气动泵15通过第一气动伸缩杆17连接有第一气动门18，且第一气动门18紧贴在烘干箱5的左侧面上，第二气动泵16通过第二气动伸缩杆19连接有第二气动门20，且第二气动门20紧贴在烘干箱5的右侧面上，热风机6的进风口通过进风管21与烘干箱5的前侧面连接，且进风管21的一端伸入到烘干箱5的内腔中，热风机6的出风口通过出风管22与烘干箱5的顶部连接，且出风管22的一端伸入到烘干箱5的内腔中，单机片控制器23的输入端分别与温度传感器13和湿度传感器14的输出端电性连接，单机片控制器23的输出端分别与电动机4、热风机6、显示屏7、第一气动泵15和第二气动泵16的输入端电性连接，工作台1底部的四个角部均安装有万向轮2，在万向轮2上安装有刹车片3，烘干箱5具体采用绝热材料构件，且烘干箱5的夹层中充填有隔热保温材料24。

使用时，将清洗干净的硅片放置在输送带9上，单机片控制器23控制第一气动泵15打开第一气动门18，单机片控制器23控制电动机4带动输送带9运行，输送带9将硅片输送到烘干箱5中，热风机6将烘干箱5中的空气抽出，通过热风机6将空气加热，而后通过出风管22将热风输送到烘干箱5中，烘干箱5中的温度传感器13和湿度传感器14实时监测烘干箱5中的温度和湿度，通过单机片控制器23将温度和湿度发送到显示屏7上，当烘干箱5中的温度和湿度满足烘干条件时，单机片控制器23会控制热风机6停止送风，当硅片烘干后，单机片控制器23控制第二气动泵16打开第二气动门19，将烘干后的硅片运送出去。

Claims (4)

1.一种硅片烘干机，包括工作台（1）、输送带（9）和单机片控制器（23）；其特征在于：所述工作台（1）上从左到右依次安装有电动机（4）、烘干箱（5）、热风机（6）、显示屏（7）和主机箱（8），所述输送带（9）的两端穿过烘干箱（5）设置在烘干箱（5）的两侧，所述输送带（9）通过固定杆（10）固定安装在工作台（1）上，所述烘干箱（5）的左侧面上开设有进口（11），且烘干箱（5）的右侧面上开设有出口（12），所述烘干箱（5）的内腔顶部固定安装有温度传感器（13）和湿度传感器（14），所述温度传感器（13）设置在湿度传感器（14）的左侧，所述烘干箱（5）左侧上方安装有第一气动泵（15），所述烘干箱（5）右侧上方安装有第二气动泵（16），所述第一气动泵（15）通过第一气动伸缩杆（17）连接有第一气动门（18），所述第一气动门（18）紧贴在烘干箱（5）的左侧面上，所述第二气动泵（16）通过第二气动伸缩杆（19）连接有第二气动门（20），所述第二气动门（20）紧贴在烘干箱（5）的右侧面上，所述热风机（6）的进风口通过进风管（21）与烘干箱（5）的前侧面连接，且进风管（21）的一端伸入到烘干箱（5）的内腔中，所述热风机（6）的出风口通过出风管（22）与烘干箱（5）的顶部连接，且出风管（22）的一端伸入到烘干箱（5）的内腔中，所述单机片控制器（23）的输入端分别与温度传感器（13）和湿度传感器（14）的输出端电性连接，所述单机片控制器（23）的输出端分别与电动机（4）、热风机（6）、显示屏（7）、第一气动泵（15）和第二气动泵（16）的输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干机，其特征在于：所述工作台（1）底部的四个角部均安装有万向轮（2），且万向轮（2）上安装有刹车片（3）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片烘干机，其特征在于：所述烘干箱（5）具体采用绝热材料构件，且烘干箱（5）的夹层中充填有隔热保温材料（24）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片烘干机，其特征在于：所述显示屏（7）具体为LED液晶显示屏。