CN205949436U - 一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时所采用的硅片夹持装置均为真空式或者电磁式，这两种方式的维修制造成本较高，且结构复杂，不易于维修，存在不足。本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，其中：液压缸内壁与活塞连接，活塞与活塞杆固定连接，活塞杆与推杆固定连接，推杆与导轮活动连接，导轮与导向槽连接，导向槽设于夹爪中部，夹爪顶端通过第一圆柱销与壳体连接，夹爪底端通过第二圆柱销与固定块连接。本装置采用液压驱动的方式，结构简单紧凑，设备维护成本低且易于维修。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片超声波清洗设备技术领域，尤其是一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置。
背景技术
当前，企业在对硅片进行超声波清洗时所采用的硅片夹持装置均为真空式或者电磁式，这两种方式的维修制造成本较高，且结构复杂，不易于维修，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，为克服上述的不足，采用液压驱动的方式，结构简单紧凑，设备维护成本低且易于维修。
本实用新型的技术方案：
一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，包括壳体、液压缸、活塞、活塞杆、第一圆柱销、推杆、导轮、导向槽、夹爪、第二圆柱销、固定块；其中：液压缸内壁与活塞连接，活塞与活塞杆固定连接，活塞杆与推杆固定连接，推杆与导轮活动连接，导轮与导向槽连接，导向槽设于夹爪中部，夹爪顶端通过第一圆柱销与壳体连接，夹爪底端通过第二圆柱销与固定块连接。
一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，其中：固定块一侧设有硅胶块。
本实用新型的优点在于：本装置采用液压驱动的方式，结构简单紧凑，设备维护成本低且易于维修。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：壳体1、液压缸2、活塞3、活塞杆4、第一圆柱销5、推杆6、导轮7、导向槽8、夹爪9、第二圆柱销10、固定块11、硅胶块12。
具体实施方式
实施例1、一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，包括壳体1、液压缸2、活塞3、活塞杆4、第一圆柱销5、推杆6、导轮7、导向槽8、夹爪9、第二圆柱销10、固定块11；其中：液压缸2内壁与活塞3连接，活塞3与活塞杆4固定连接，活塞杆4与推杆6固定连接，推杆6与导轮7活动连接，导轮7与导向槽8连接，导向槽8设于夹爪9中部，夹爪9顶端通过第一圆柱销5与壳体1连接，夹爪9底端通过第二圆柱销10与固定块11连接。
实施例2、一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，其中：固定块11一侧设有硅胶块12，提高夹持效率，确保夹持平稳，同时避免硅片受损。其余同实施例1。
工作原理：
启动液压缸2，液压缸2内部产生的液压力推动活塞3运动，活塞3推动活塞杆4运动，活塞杆4推动推杆6运动，推杆6带动导轮7运动，导轮7通过导向槽8带动夹爪9绕着第一圆柱销5转动，夹爪9通过第二圆柱销10带动固定块11运动，固定块11带动硅胶块12运动，最终实现对硅片的夹持动作，动作结束。
Claims (2)
1.一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，包括壳体（1）、液压缸（2）、活塞（3）、活塞杆（4）、第一圆柱销（5）、推杆（6）、导轮（7）、导向槽（8）、夹爪（9）、第二圆柱销（10）、固定块（11）；其特征在于：液压缸（2）内壁与活塞（3）连接，活塞（3）与活塞杆（4）固定连接，活塞杆（4）与推杆（6）固定连接，推杆（6）与导轮（7）活动连接，导轮（7）与导向槽（8）连接，导向槽（8）设于夹爪（9）中部，夹爪（9）顶端通过第一圆柱销（5）与壳体（1）连接，夹爪（9）底端通过第二圆柱销（10）与固定块（11）连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置，其特征在于：固定块（11）一侧设有硅胶块（12）。
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