CN205911513U - 一种便于更换探针的晶元片检测头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及自动化检测工装技术领域,公开了一种便于更换探针的晶元片检测头,包括探针座,探针座的上端中心设有凹腔,凹腔底部设有若干探针定位通孔,探针定位通孔内设有探针,探针定位通孔的两端设有套设在探针外侧的绝缘夹套,探针的下端表面位于绝缘夹套处设有限位凸环,探针的上端设有导电套,导电套的外端设有导电柱,凹腔的内壁上设有环形阶梯面,环形阶梯面上设有线路板,线路板与导电柱之间电连接,凹腔的开口端设有端盖,端盖与凹腔开口端之间螺纹连接,端盖的上侧面中心设有连接柱。本实用新型与自动检测设备连接使用,极大提高晶元片的检测效率;同时自身密封性能好,防水防尘性能好;探针损坏后更换方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及自动化检测技术领域,尤其涉及一种晶元片检测头。
背景技术
晶元(Wafer),是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片,也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元,晶元呈阵列排布,晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测,由于一个晶元片上存在成百上千个晶元,人工通过探针对每个晶元进行检测,工作量非常大,而且容易漏检。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术中晶元片检测效率低的问题,提供了一种能适用于自动检测设备,极大提高检测效率,探针损坏后更换方便的晶元片检测头。
为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种便于更换探针的晶元片检测头,包括探针座,所述探针座的上端中心设有凹腔,所述凹腔底部设有若干探针定位通孔,所述探针定位通孔内设有探针,所述探针定位通孔的两端设有套设在探针外侧的绝缘夹套,所述探针的下端表面位于绝缘夹套处设有限位凸环,所述探针的上端设有导电套,所述导电套的外端设有导电柱,所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面,所述的环形阶梯面上设有线路板,所述的线路板与导电柱之间电连接,所述凹腔的开口端设有端盖,端盖与凹腔开口端之间螺纹连接,所述端盖的上侧面中心设有连接柱。
连接柱与自动检测设备上的升降机构连接,晶元片安装在滑动支架上,探针座向下移动一次,所有的探针与晶元片表面的晶元弹性接触、检测,然后探针座上移,滑动支架带动晶元片移动一段距离,探针座下降检测,依次循环,将晶元片上的所有晶元都检测一次,检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果,极大的提高了晶元片的检测效率;线路板、探针上端电连接都被封装在凹腔内,受外界干扰小,具有良好的防水、防尘性能好;探针的两端通过两个绝缘夹套限位并与探针座之间绝缘,探针上端与导电套连接,探针下端通过限位凸环限位,探针长时间使用需要更换,只需要卸下导电套,卸下探针上端的绝缘夹套,然后将探针从下端抽出,更换上新的探针,探针更换非常方便。
作为优选,所述凹腔的侧面设有引线孔,线路板上的数据线穿过引线孔,数据线的外端设有数据插头,所述的引线孔内设有防水套。线路板上的数据线从引线孔处伸出,数据接头与自动化设备上的接口直接连接,实现数据传递;防水套对引线孔密封,起到防水作用,防止外界的水汽进入凹腔内导致探针短路。
作为优选,所述端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈。密封圈起到密封作用,防止外界水分进入凹腔内造成短路。
作为优选,所述的绝缘夹套包括夹套本体、设在夹套本体一端的挡圈,所述夹套本体的另一端外侧面呈锥形。锥形便于夹套本体头部能够快速插入探针定位通孔内,挡圈露在探针定位通孔外部,便于取出绝缘夹套。
作为优选,所有探针的检测端面为球面,所有探针的检测端面共面。检测端面与晶元接触检测,球面能确保与晶元接触良好。
因此,本实用新型与自动检测设备连接使用,极大提高晶元片的检测效率;同时自身密封性能好,防水防尘性能好,稳定性好;探针损坏后更换非常方便。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图。
图2为图1的剖视图。
图3为图2中A处局部放大示意图。
图4为图2中B处局部放大示意图。
图中:探针座1、凹腔2、探针定位通孔3、探针4、绝缘夹套5、导电套6、导电柱7、环形阶梯面8、线路板9、端盖10、密封圈11、连接柱12、引线孔13、数据线14、数据插头15、防水套16、限位凸环40、夹套本体50、挡圈51。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述:
如图1和图2所示的一种便于更换探针的晶元片检测头,包括探针座1,探针座1的上端中心设有凹腔2,凹腔底部设有若干探针定位通孔3,探针定位通孔内设有探针4,本实施例中的探针有16根,呈4X4的矩阵分布,探针定位通孔3的两端设有套设在探针外侧的绝缘夹套5,探针的下端伸出探针座底面,探针的检测端面为球面,所有探针的检测端面共面;如图3所示,绝缘夹套5包括夹套本体50、设在夹套本体一端的挡圈51,夹套本体的另一端外侧面呈锥形,探针4的下端表面位于绝缘夹套处设有限位凸环40,如图4所示,探针的上端设有导电套6,导电套6的外端设有导电柱7,凹腔的内壁上设有环形阶梯面8,环形阶梯面上设有线路板9,线路板与导电柱之间电连接,凹腔的开口端设有端盖10,端盖与凹腔开口端之间螺纹连接,端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈11,端盖的上侧面中心设有连接柱12;凹腔的侧面设有引线孔13,线路板上的数据线14穿过引线孔,数据线的外端设有数据插头15,引线孔内设有防水套16。
结合附图,本实用新型的使用方法如下:连接柱与自动检测设备上的升降机构连接,数据插头与自动检测设备上的插口连接,晶元片安装在滑动支架上,探针座向下移动一次,4X4的探针分别与晶元片表面的4X4的晶元一一对应弹性接触、检测,然后探针座上移,滑动支架带动晶元片移动一段距离,探针座下降检测,依次循环,将晶元片上的所有晶元都检测一次,检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果,极大的提高了晶元片的检测效率;线路板、探针与导电片的连接都被完全封装在凹腔内,受外界干扰小,防水、防尘性能好;探针损坏后,更换非常方便。
Claims (5)
1.一种便于更换探针的晶元片检测头,其特征是,包括探针座,所述探针座的上端中心设有凹腔,所述凹腔底部设有若干探针定位通孔,所述探针定位通孔内设有探针,所述探针定位通孔的两端设有套设在探针外侧的绝缘夹套,所述探针的下端表面位于绝缘夹套处设有限位凸环,所述探针的上端设有导电套,所述导电套的外端设有导电柱,所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面,所述的环形阶梯面上设有线路板,所述的线路板与导电柱之间电连接,所述凹腔的开口端设有端盖,端盖与凹腔开口端之间螺纹连接,所述端盖的上侧面中心设有连接柱。
2.根据权利要求1所述的一种便于更换探针的晶元片检测头,其特征是,所述凹腔的侧面设有引线孔,线路板上的数据线穿过引线孔,数据线的外端设有数据插头,所述的引线孔内设有防水套。
3.根据权利要求1或2所述的一种便于更换探针的晶元片检测头,其特征是,所述端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种便于更换探针的晶元片检测头,其特征是,所述的绝缘夹套包括夹套本体、设在夹套本体一端的挡圈,所述夹套本体的另一端外侧面呈锥形。
5.根据权利要求1所述的一种便于更换探针的晶元片检测头,其特征是,所有探针的检测端面为球面,所有探针的检测端面共面。
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CN201620793335.8U CN205911513U (zh) | 2016-07-26 | 2016-07-26 | 一种便于更换探针的晶元片检测头 |
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CN109164280A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-08 | 普铄电子(上海)有限公司 | 一种可快速更换的晶元检测头组件 |
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CN109164280B (zh) * | 2018-09-20 | 2024-03-26 | 普铄电子(上海)有限公司 | 一种可快速更换的晶元检测头组件 |
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