CN205873902U - 一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置 - Google Patents

Abstract

一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，属于化工设备技术领域。包括气包、第一、第二过滤器、缓冲罐、干燥罐、气液分离器、颗粒过滤器以及硫酸吹脱塔，所述的气包、第一、第二过滤器、缓冲罐、干燥罐、气液分离器、颗粒过滤器通过空气管线依次逐渐连接，所述的硫酸吹脱塔通过超纯空气管线连接颗粒过滤器，所述的硫酸吹脱塔通过硫酸管线连接硫酸泵，超纯空气管线的外侧套设有第一蒸汽套管，所述的硫酸管线外侧套设有第二蒸汽套管。通过加热吹脱空气和硫酸的方式，能快速有效去除超纯硫酸中二氧化硫气体；结构简单、设备常规，所需投入成本少，并且易于控制、操作简单，安全有效，不会对环境造成污染。

Description

一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置

技术领域

本实用新型属于化工设备技术领域，具体涉及一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置。

背景技术

随着国内国际半导体和电子芯片行业的快速发展，以及十三五期间国家对大中型企业的加大扶持，国内不少相关大中型企业自身又不断地扩大发展，导致电子化学品的需求与日俱增，迎来一个发展高峰期。超纯硫酸是电子工业常用的化学试剂之一，主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和电镀清洗，电子工业对超纯硫酸的纯度和清洁度要求非常高。超纯硫酸通常采用双氧水氧化法和空气吹脱法来去除二氧化硫气体。其中，双氧水氧化法的缺陷在于不方便控制硫酸的浓度，且容易增加新的污染；而常规空气吹脱法由于硫酸的粘度较大，用气量大，吹脱不彻底，并且容易产生憋压，难以达到理想要求。硫酸在100℃时的粘度分别是20℃、30℃、40℃及60℃时的15%、22%、30%和43%，而且随着温度的升高，空气中的氧气会加快亚硫酸向硫酸的转化，这在另一个方面减少了二氧化硫的含量。

鉴于上述已有技术，本申请人作了有益的设计，下面将要介绍的技术方案便是在这种背景下产生的。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，投入成本低、操作简单、安全有效。

本实用新型的目的是这样来达到的，一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，其特征在于：包括气包、第一过滤器、第二过滤器、缓冲罐、干燥罐、气液分离器、颗粒过滤器以及硫酸吹脱塔，所述的气包、第一过滤器、第二过滤器、缓冲罐、干燥罐、气液分离器、颗粒过滤器通过空气管线依次逐渐连接，所述的硫酸吹脱塔通过超纯空气管线连接颗粒过滤器，硫酸吹脱塔通过硫酸管线连接硫酸泵，所述的超纯空气管线的外侧套设有用于对超纯空气管线进行蒸汽加热的第一蒸汽套管，所述的硫酸管线外侧套设有用于对硫酸管线进行蒸汽加热的第二蒸汽套管。

在本实用新型的一个具体的实施例中，所述的硫酸吹脱塔在底部设有出料口，所述的出料口上配设有冷却器。

在本实用新型的另一个具体的实施例中，所述的干燥罐为浓度大于90%的浓硫酸干燥罐。

在本实用新型的又一个具体的实施例中，所述的硫酸吹脱塔内的填料为拉西环填料或鲍尔环填料。

在本实用新型的再一个具体的实施例中，所述的超纯空气管线设置在所述的硫酸吹脱塔的高度方向的下方，所述的硫酸管线设置在硫酸吹脱塔的高度方向的上方，超纯空气管线中的空气与硫酸管线中的硫酸在硫酸吹脱塔中逆向吹脱。

本实用新型由于采用了上述结构，与现有技术相比，具有的有益效果是：通过加热吹脱空气和硫酸的方式，能快速有效去除超纯硫酸中二氧化硫气体；结构简单、设备常规，所需投入成本少，并且易于控制、操作简单，安全有效，不会对环境造成污染。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1.气包；2.第一过滤器；3.第二过滤器；4.缓冲罐；5.干燥罐；6.气液分离器；7.颗粒过滤器；8.硫酸吹脱塔；9.空气管线；10.超纯空气管线；11.硫酸管线；12.第一蒸汽套管；13.第二蒸汽套管。

具体实施方式

申请人将在下面结合附图对本实用新型的具体实施方式详细描述，但申请人对实施例的描述不是对技术方案的限制，任何依据本实用新型构思作形式而非实质的变化都应当视为本实用新型的保护范围。

请参阅图1，本实用新型涉及一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，包括气包1、第一过滤器2、第二过滤器3、缓冲罐4、干燥罐5、气液分离器6、颗粒过滤器7以及硫酸吹脱塔8。其中，所述的干燥罐5为浓度大于90%的浓硫酸干燥罐。所述的硫酸吹脱塔8在底部设有出料口，所述的出料口上配设有冷却器。硫酸吹脱塔8内的填料为拉西环填料或鲍尔环填料。所述的气包1、第一过滤器2、第二过滤器3、缓冲罐4、干燥罐5、气液分离器6、颗粒过滤器7通过空气管线9依次逐渐连接。所述的硫酸吹脱塔8通过超纯空气管线10连接颗粒过滤器7，硫酸吹脱塔8通过硫酸管线11连接硫酸泵。所述的超纯空气管线10设置在所述的硫酸吹脱塔8的高度方向的下方，所述的硫酸管线11设置在硫酸吹脱塔8的高度方向的上方，超纯空气管线10中的空气与硫酸管线11中的硫酸在硫酸吹脱塔8中逆向吹脱。所述的超纯空气管线10的外侧套设有用于对超纯空气管线10进行蒸汽加热的第一蒸汽套管12，所述的硫酸管线11外侧套设有用于对硫酸管线11进行蒸汽加热的第二蒸汽套管13。

请继续参阅图1，对实用新型的工作原理进行说明。首先，将空气压缩机产生的压缩空气冲入气包1，通过第一过滤器2和第二过滤器3对空气进行预处理，除去空气中夹带的大部分油、水分以及灰尘等杂质颗粒；其次，使初步处理后的空气经过缓冲罐4进入干燥罐5，由干燥罐5中的浓硫酸将空气中的油和水分降至产品要求范围之内；再者，依次通过气液分离器6和颗粒过滤器7对空气作进一步处理，防止空气中夹带的来自干燥罐5的硫酸及其他微小颗粒进入硫酸吹脱塔8，并污染超纯空气管线10；接着，开启第一蒸汽套管12对超纯空气管线10进行蒸汽加热，使内部空气的温度达到100℃左右，该热空气进入硫酸吹脱塔8对硫酸吹脱塔8进行预热；然后，开启第二蒸汽套管13对硫酸管线11进行蒸汽加热，待硫酸管线11预热后，慢慢将浓硫酸泵入硫酸吹脱塔8进行脱二氧化氯操作；最后，吹脱后的硫酸通过硫酸吹脱塔8的出料口进入冷却器，待冷却后进入成品罐，而二氧化硫气体则通过塔顶的放空阀进入气体处理塔。

Claims (5)

1.一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，其特征在于：包括气包(1)、第一过滤器(2)、第二过滤器(3)、缓冲罐(4)、干燥罐(5)、气液分离器(6)、颗粒过滤器(7)以及硫酸吹脱塔(8)，所述的气包(1)、第一过滤器(2)、第二过滤器(3)、缓冲罐(4)、干燥罐(5)、气液分离器(6)、颗粒过滤器(7)通过空气管线(9)依次逐渐连接，所述的硫酸吹脱塔(8)通过超纯空气管线(10)连接颗粒过滤器(7)，硫酸吹脱塔(8)通过硫酸管线(11)连接硫酸泵，所述的超纯空气管线(10)的外侧套设有用于对超纯空气管线(10)进行蒸汽加热的第一蒸汽套管(12)，所述的硫酸管线(11)外侧套设有用于对硫酸管线(11)进行蒸汽加热的第二蒸汽套管(13)。

2.根据权利要求1所述的一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，其特征在于所述的硫酸吹脱塔(8)在底部设有出料口，所述的出料口上配设有冷却器。

3.根据权利要求1所述的一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，其特征在于所述的干燥罐(5)为浓度大于90%的浓硫酸干燥罐。

4.根据权利要求1所述的一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，其特征在于所述的硫酸吹脱塔(8)内的填料为拉西环填料或鲍尔环填料。

5.根据权利要求1所述的一种超纯硫酸中快速去除二氧化硫气体的装置，其特征在于所述的超纯空气管线(10)设置在所述的硫酸吹脱塔(8)的高度方向的下方，所述的硫酸管线(11)设置在硫酸吹脱塔(8)的高度方向的上方，超纯空气管线(10)中的空气与硫酸管线(11)中的硫酸在硫酸吹脱塔(8)中逆向吹脱。