CN204162419U - 超纯硫酸量产系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。本实用新型的技术方案为：一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO2脱析罐连通，吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，SO2脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，SO2脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，超纯酸储罐上设有输出口。本实用新型的有益效果在于：该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及化工技术领域，尤其涉及一种超纯硫酸量产系统。
背景技术
随着电子工业的发展，超纯硫酸的研制和生产亦快速发展。超纯硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷电路板的腐蚀和清洗。超纯硫酸一般采用蒸馏工艺生产，此工艺不能实现大规模生产，环境污染大和生产危险度高。另一种方法是：三氧化硫直接吸收工艺，该工艺目前我国尚无先例。为解决上述问题，特研发出一种超纯硫酸量产系统。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。
本实用新型的技术方案为：一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO2脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述SO2脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述SO2脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述SO2脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述SO2脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。
进一步，所述吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。
进一步，所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。
进一步，所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。
再进一步，所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。
再进一步，所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。
本实用新型的有益效果在于：该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。
附图说明
图1为本实用新型示意图。
其中：1、吸收塔 2、酸冷器 3、SO2脱析罐
4、第一空气过滤器 5、缓冲罐 6、真空泵
7、双氧水储罐 8、双氧水计量泵 9、循环罐
10、第一循环泵 11、超纯水制备机 12、第二循环泵
13、超纯酸储罐 14、第二空气过滤器 15、去风机进口
16、三氧化硫进口 17、循环水管路 18、脱析罐排气口
19、输出口 20、纯酸储罐排气口
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做出简要说明。
如图1所示一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔1、酸冷器2、SO2脱析罐3、缓冲罐5、双氧水储罐7、循环罐9、超纯水制备机11和超纯酸储罐13组成，所述吸收塔1的上端分别通过管路与酸冷器2和SO2脱析罐3连通，所述吸收塔1的底端通过管路与循环罐9连通，所述吸收塔1上设有去风机进口15和三氧化硫进口16，所述去风机进口15位于吸收塔1的顶端，所述三氧化硫进口16位于吸收塔1的底端，所述酸冷器2的底端通过管路与循环罐9连通，所述酸冷器2与循环罐9之间的管路上设有第一循环泵10，所述循环罐9分别与双氧水储罐7和超纯水制备机11通过管路连通，所述循环罐9与双氧水储罐7之间的管路上设有双氧水计量泵8，所述SO2脱析罐3的上端通过管路与缓冲罐5连通，所述SO2脱析罐3的底端通过管路与超纯酸储罐13连通，所述SO2脱析罐3与超纯酸储罐13之间的管路上设有第二循环泵12，所述SO2脱析罐3的顶端设有脱析罐排气口18，所述超纯酸储罐13的顶部设有纯酸储罐排气口20，所述缓冲罐5的一端设有真空泵6，所述缓冲罐5与真空泵6通过管路连通，所述超纯酸储罐13上设有输出口19。
所述吸收塔1、酸冷器2、SO2脱析罐3、缓冲罐5、循环罐9和超纯酸储罐13内层均设有氟聚合物层。
所述吸收塔1采用烛式多级过滤器过滤。
所述酸冷器2为蝶片式酸冷器，所述酸冷器2上设有若干条循环水管路17。有效提高冷却效果。
所述脱析罐排气口18上设有第一空气过滤器4。对废气进行过滤，降低环境污染。
所述纯酸储罐排气口20上设有第二空气过滤器14。对废气进行过滤，降低环境污染。
工作方式：本超纯硫酸量产系统通过用液体三氧化硫蒸出纯净的SO3气体，通过吸收塔1经烛式多级过滤器过滤(滤膜孔径0.01μm)，再用超纯水制备机11制备出超纯水直接吸收生成。生产过程所用的设备、管道、阀门、泵和储罐均需用特殊氟聚合物做衬里。生产和储存，灌装和运输各环节均完全密封。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.一种超纯硫酸量产系统，其特征在于：由吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO2脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述SO2脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述SO2脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述SO2脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述SO2脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。
2.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。
3.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。
4.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。
5.根据权利要求1-4任意一项所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。
6.根据权利要求1-4任意一项所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。
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|---|---|---|---|---|
| CN104925759A (zh) * | 2015-04-29 | 2015-09-23 | 苏州晶瑞化学股份有限公司 | 一种超高纯硫酸的连续生产方法 |
| CN105366646A (zh) * | 2014-08-31 | 2016-03-02 | 天津渤大硫酸工业有限公司 | 超纯硫酸量产系统 |
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| CN105366646B (zh) * | 2014-08-31 | 2018-09-11 | 天津渤大硫酸工业有限公司 | 超纯硫酸量产系统 |
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| CN104925759B (zh) * | 2015-04-29 | 2017-04-19 | 苏州晶瑞化学股份有限公司 | 一种超高纯硫酸的连续生产方法 |
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