CN205852073U - 电磁场辅助激光钻孔机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电磁场辅助激光钻孔机构,其包含有一机台,一设于该机台上方的激光装置,一设于机台上且与该激光装置相对应的平台,一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象,以及一设于该平台上的电场装置,用以提供电场至该加工对象;其中,该激光装置具有激光喷头,以及连接该激光喷头的吹气单元;在使用时,通过该电场装置所提供的电场,减少在激光装置钻孔后所产生的熔渣,以确保该钻孔后对象在表面上较为平滑,并在后续的制程中能有更好的良率。
Description
技术领域
本实用新型关于一种激光钻孔机构;更详而言之,指一种电磁场辅助激光钻孔机构。
背景技术
参阅图1及图2,现有的激光设备1包括一机台11,一设于该机台11上方的激光装置12,一设于机台11上且与该激光装置12相对应的平台13,以及一放置于该平台13上且通过该激光装置12钻孔的加工对象14。
在使用时,将该欲钻孔的加工对象14,置放于该平台13上,通过该激光装置12进行加工,然,在使用后发现,该加工对象14很容易受到该激光装置12钻孔后而在该孔洞周围产生熔渣堆积,进而影响到该加工对象14的后续制程。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题时:现有技术中,加工对象很容易受到激光装置钻孔后而在该孔洞周围产生熔渣堆积,进而影响到加工对象的后续制程。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种磁场辅助激光钻孔机构,其主要优点在于在钻孔后,该电场装置可使该熔渣有效的减少,以使该加工对象可在后续制程中有较佳的良率。
本实用新型提供的电磁场辅助激光钻孔机构,其包含有一机台,一设于该机台上方的激光装置,一设于机台上且与该激光装置相对应的平台,以及一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象;其中,该激光装置具有激光喷头,以及连接该激光喷头的吹气单元;
该平台上加设有用以提供电场至该加工对象的电场装置。
其中,该加工对象为陶瓷基板。
作为优选技术方案,该电场装置设于该平台上方,且同时位于该加工对象的钻孔处上方。
作为优选技术方案,该电场装置部分位于该加工对象钻孔处下方。
作为优选技术方案,该电场装置设于该激光喷头上,向该平台方向延伸,并悬空于该加工对象上方,而前述该电场装置提供水平于该加工对象方向之电场。
作为优选技术方案,该电场装置具有延伸设于该激光喷头的上侧电极,以及设于该加工对象与该平台之间的下侧电极,而该电场装置提供垂直于该加工对象方向的电场。
作为优选技术方案,该下侧电极钻设有多个孔洞,且该电场装置钻孔时之气流可通过该孔洞流出。
本实用新型能够达到如下效果:通过该电场装置所提供的电场,可使该钻孔后所产生的熔渣较不易形成,以确保该钻孔后的对象在表面上较为平滑,并在后续的制程中能有更好的良率。
附图说明
第图1是现有的激光设备的立体示意图;
图2是现有的激光设备钻孔后的加工物件示意图;
图3是本实用新型的实施例立体示意图;
图4是本实用新型的实施例电场装置第一态样示意图;
图5是本实用新型的实施例电场装置第二态样示意图;
图6是本实用新型的实施例电场装置第三态样示意图;
图7是本实用新型钻孔后的加工物件示意图。
附图标记说明:
2 电磁场辅助激光钻孔机构;
21 机台;
22 激光装置;
221 激光喷头; 222 吹气单元;
23 平台;
24 加工物件; 24’ 陶瓷基板;
25 电场装置;
251 上侧电极; 252 下侧电极;
现有技术:
1 激光设备;
11 机台;
12 激光装置;
13 平台;
14 加工物件。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施,但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
请参考图3, 图3是本实用新型的立体示意图。
如图3所述,本实用新型的电磁场辅助激光钻孔机构2,包含有一机台21,一设于该机台21上方的激光装置22,一设于机台21上且与该激光装置22相对应的平台23,一放置于该平台23上且通过该激光装置22钻孔的加工对象24,以及一设于该平台23上的电场装置25,用以提供电场至该加工对象24;其中,该激光装置22具有激光喷头221,以及连接该激光喷头221的吹气单元222。
请同时参考图4、图5及图6, 图4是本实用新型的实施例电场装置第一态样示意图, 图5是本实用新型的实施例电场装置第二态样示意图, 图6是本实用新型的实施例电场装置第三态样示意图。
接续前述,如图4所示,其中,该电场装置25适时设于该平台23上,且同时平行相对位于该加工对象24钻孔处上方及下方,同时将该加工对象24钻孔处夹于该电场装置25之中,而前述该电场装置25提供水平于该加工对象24方向的电场,使该钻孔后的熔渣能向该水平方向的电场吸引,而不致囤积在该钻孔处;另,本图中该加工对象24以陶瓷基板24’为例做说明。
如图5所示,该电场装置25也可以第二态样呈现,即,该电场装置25可适时向该平台23方向沿伸设于该激光喷头221上,并悬空于该加工物件24上方,而前述该电场装置25提供水平于该加工对象24方向的电场,使该钻孔后的熔渣能向该水平方向的电场吸引,而不致囤积在该钻孔处。
如图6所示,该电场装置25亦可以第三态样呈现,即,其中,该电场装置25具有延伸设于该激光喷头221的上侧电极251,且该上侧电极251可与该激光装置22连动,以及设于该加工对象24与该平台23之间的下侧电极252,而前述该电场装置25提供垂直于该加工对象24方向的电场,且该下侧电极252可适时钻出多个孔洞,当激光装置钻孔后所产生的气流,可通过该多个孔洞具有更顺利流通,进而解决气流难以排出而造成熔渣移除效果不佳的现象。
延续前述,如图4所示,本实施例中以该电场装置25第一态样为例做说明。
当该激光装置22发出激光并钻孔于该陶瓷基板24’后,该陶瓷基板24’中的主要成分氧化铝会部分形成熔融态,且在尚未汽化前即被该吹气单元222吹出该孔洞,使汽化后的物质会凝固于该孔洞的周围形成熔渣,而本实施例中,该熔融态的氧化铝会解离出带正负电的离子,在被激光钻孔而产生汽化时也会产生带电离子形成电浆,而该电场装置25即可在熔融态或者汽化时的陶瓷基板24’的孔洞附近,将该可能形成熔渣的带电离子吸引,以减少该孔洞周围熔渣的堆积,即可获得如图7的钻孔后的陶瓷基板24’,如此所得的陶瓷基板24’较为平滑,较不会使在后续制程时有所缺失,导致降低良率,是以,可以产生更好的加工成品。
综上所述,本实用新型之电磁场辅助激光钻孔机构具有下列的优点:
1.经该电场装置所产生的之电场处理后的钻孔作动,该孔洞较少有熔渣形成,可有助于提高后续制程的良率。
2.该电场装置的第二态样,可缩短电极的间距,提高电场应用效率。
3.该电场装置的第三态样,该下侧电极特别有许多孔洞,可使该电场装置在激光钻孔后,气流可更顺利的流通,故可解决一般气流无法顺利排出而造成熔渣移除效果不佳的功效。
以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例,本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换,均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
Claims (7)
1.一种电磁场辅助激光钻孔机构,其包含有一机台,一设于该机台上方的激光装置,一设于机台上且与该激光装置相对应的平台,以及一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象;其中,该激光装置具有激光喷头,以及连接该激光喷头的吹气单元;其特征在于,
该平台上加设有用以提供电场至该加工对象的电场装置。
2.如权利要求1所述电磁场辅助激光钻孔机构,其特征在于,该加工对象为陶瓷基板。
3.如权利要求1所述电磁场辅助激光钻孔机构,其特征在于,该电场装置设于该平台上方,且同时位于该加工对象的钻孔处上方。
4.如权利要求3所述电磁场辅助激光钻孔机构,其特征在于,该电场装置部分位于该加工对象钻孔处下方。
5.如权利要求1所述电磁场辅助激光钻孔机构,其特征在于,该电场装置设于该激光喷头上,向该平台方向延伸,并悬空于该加工对象上方。
6.如权利要求1所述电磁场辅助激光钻孔机构,其特征在于,该电场装置具有延伸设于该激光喷头的上侧电极,以及设于该加工对象与该平台之间的下侧电极。
7.如权利要求6所述电磁场辅助激光钻孔机构,其特征在于,该下侧电极钻设有多个孔洞。
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