CN205821511U - 一种用于单晶炉的搅拌冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于单晶炉的搅拌冷却装置，包括箱体、炉体、冷却套筒、升降机构和搅拌机构，所述的冷却套筒安装在箱体的上方，所述的冷却套筒为环形套筒，所述的搅拌机构安装在炉体内，所述的升降机构包括气缸、导向轨道和导向滚轮，所述的导向轨道竖直设置在冷却套筒和箱体内，所述的气缸安装在箱体内，所述的气缸连接在炉体的底部，所述炉体的两侧分别通过两个导向滚轮活动连接在导向轨道上，所述冷却套筒的侧壁上开设有空心腔体，所述的冷却套筒与箱体之间还设有进液管和出液管。本设计通过采用双层冷去的方法逐步完成对炉体内材料的冷却，防止炉体内的材料由于温度变化过快而造成影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅制造设备技术领域，特别是一种用于单晶炉的搅拌冷却装置。
背景技术
直拉单晶是一种周期性的、非连续的生产过程。每个周期结束后，都需要等待炉内温度冷却到300℃以下后，才能进行拆炉、清理及下个生产周期的准备工作。另外，由于直拉单晶生产过程是持续的高温过程，为了降低拉晶能耗，炉内设置了大量的保温层，导致停炉后需要等待6～10h才能使炉内热场冷却下来，此段时间占整个生产周期的1/8。这期间炉子处于闲置状态，降低了单晶制造装置的运转率，影响了单晶炉拉晶的效率。并且在利用单晶炉生产的过程中如果材料冷却的过快，会对材料自身也会产生影响，从而产生不必要的损失。
发明内容
本实用新型需要解决的技术问题是通过采用双层冷去的方法逐步完成对炉体内材料的冷却，防止炉体内的材料由于温度变化过快而造成影响，减少了不必要的损失；提供一种用于单晶炉的搅拌冷却装置器。
为解决上述的技术问题，本实用新型的结构包括箱体、炉体、冷却套筒、升降机构和搅拌机构，所述的冷却套筒安装在箱体的上方，所述的冷却套筒为环形套筒，所述的搅拌机构安装在炉体内，所述的升降机构包括气缸、导向轨道和导向滚轮，所述的导向轨道竖直设置在冷却套筒和箱体内，所述的气缸安装在箱体内，所述的气缸连接在炉体的底部，所述炉体的两侧分别通过两个导向滚轮活动连接在导向轨道上，所述冷却套筒的侧壁上开设有空心腔体，所述的冷却套筒与箱体之间还设有进液管和出液管，所述冷却套筒内的空心腔体通过进液管和出液管与箱体相连通。
进一步：所述的搅拌机构包括电机、转动轴和搅拌叶片，所述的电机安装在炉体内的顶部，所述的电机与转动轴相连，所述的搅拌叶片套装在转动轴上。
又进一步：所述的箱体内设置有温度传感器，所述箱体的底部还分别连接有进水管和出水管。
再进一步：所述的进液管上安装有抽液泵，所述的出液管上安装有出液阀和冷凝器。
采用上述结构后，本实用新型通过采用双层冷去的方法逐步完成对炉体内材料的冷却，防止炉体内的材料由于温度变化过快而造成影响，减少了不必要的损失；而且本设计在冷却的过程中对材料进行搅拌翻转，使材料冷却的更加彻底，提高了其的冷却效率；并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示的一种用于单晶炉的搅拌冷却装置，包括箱体1、炉体2、冷却套筒4、升降机构和搅拌机构，所述的冷却套筒4安装在箱体1的上方，所述的冷却套筒4为环形套筒，所述的搅拌机构安装在炉体2内，所述的升降机构包括气缸15、导向轨道3和导向滚轮6，所述的导向轨道3竖直设置在冷却套筒4和箱体1内，所述的气缸15安装在箱体1内，所述的气缸15连接在炉体2的底部，所述炉体2的两侧分别通过两个导向滚轮6活动连接在导向轨道3上，所述冷却套筒4的侧壁上开设有空心腔体，所述的冷却套筒4与箱体1之间还设有进液管10和出液管11，所述冷却套筒4内的空心腔体通过进液管10和出液管11与箱体1相连通。工作时先向箱体1内注入冷水，然后把需要冷去的材料倒入炉体2内，启动升降机构把炉体2输送到冷却套筒4内，此时通过进液管10把箱体1内的冷水注入冷却套筒4的空心腔体内，通过空心腔体内的冷水对炉体2内材料做预冷却，预冷却5分钟后继续启动升降机构把炉体2输送到箱体1内，把炉体2沉浸在冷水中，利用冷水做进一步冷却。本设计采用双层冷去的方法逐步完成对炉体内材料的冷却，防止炉体内的材料由于温度变化过快而造成影响，减少了不必要的损失；并且在双层冷去的过程中启动搅拌机构，通过在冷却的过程中对材料进行搅拌翻转，使材料冷却的更加彻底，提高了其的冷却效率。
如图1所示的搅拌机构包括电机7、转动轴8和搅拌叶片9，所述的电机7安装在炉体2内的顶部，所述的电机7与转动轴8相连，所述的搅拌叶片9套装在转动轴8上。在利用冷却套筒4和箱体1内的水进行冷去的过程中，启动电机7，使电机7通过转动轴带着搅拌叶片9进行旋转，利用搅拌叶片9对原材料进行翻转，从而使材料冷却的更加彻底，提高了其的冷却效率。
如图1所示的箱体1内设置有温度传感器16，所述箱体1的底部还分别连接有进水管17和出水管18。在炉体2进入箱体1冷却的过程中，通过温度传感器16检测箱体1内的温度，当发现水温明显上升时，通过进水管17不断把冷水向箱体1内输送，箱体1内升温的水从出水管18流出，从而保证了箱体1内的水温不会发生明显的改变，确保了炉体2内的材料可以得到顺利的冷却。
如图1所示的进液管10上安装有抽液泵12，所述的出液管11上安装有出液阀13和冷凝器14。当炉体2输送进冷却套筒4后，启动抽液泵12把箱体1内的冷水输送进冷却套筒4内的空心腔体，从而利用空心腔体内的冷水对炉体2内材料进行冷去，当冷却5分钟后，打开出液阀13把空心腔体内升温了的水从出液管11重新输送进箱体1内，这部分水在输送的过程中会经过冷凝器14冷却后再输送进箱体1内，从而防止箱体1内水的温度发生明显改变。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
Claims (4)
1.一种用于单晶炉的搅拌冷却装置，其特征在于：包括箱体(1)、炉体(2)、冷却套筒(4)、升降机构和搅拌机构，所述的冷却套筒(4)安装在箱体(1)的上方，所述的冷却套筒(4)为环形套筒，所述的搅拌机构安装在炉体(2)内，所述的升降机构包括气缸(15)、导向轨道(3)和导向滚轮(6)，所述的导向轨道(3)竖直设置在冷却套筒(4)和箱体(1)内，所述的气缸(15)安装在箱体(1)内，所述的气缸(15)连接在炉体(2)的底部，所述炉体(2)的两侧分别通过两个导向滚轮(6)活动连接在导向轨道(3)上，所述冷却套筒(4)的侧壁上开设有空心腔体，所述的冷却套筒(4)与箱体(1)之间还设有进液管(10)和出液管(11)，所述冷却套筒(4)内的空心腔体通过进液管(10)和出液管(11)与箱体(1)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的搅拌冷却装置，其特征在于：所述的搅拌机构包括电机(7)、转动轴(8)和搅拌叶片(9)，所述的电机(7)安装在炉体(2)内的顶部，所述的电机(7)与转动轴(8)相连，所述的搅拌叶片(9)套装在转动轴(8)上。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的搅拌冷却装置，其特征在于：所述的箱体(1)内设置有温度传感器(16)，所述箱体(1)的底部还分别连接有进水管(17)和出水管(18)。
4.根据权利要求1所述的，其特征在于：所述的进液管(10)上安装有抽液泵(12)，所述的出液管(11)上安装有出液阀(13)和冷凝器(14)。
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| CN201520788227.7U CN205821511U (zh) | 2015-10-13 | 2015-10-13 | 一种用于单晶炉的搅拌冷却装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520788227.7U CN205821511U (zh) | 2015-10-13 | 2015-10-13 | 一种用于单晶炉的搅拌冷却装置 |
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| CN201520788227.7U Active CN205821511U (zh) | 2015-10-13 | 2015-10-13 | 一种用于单晶炉的搅拌冷却装置 |
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|---|---|
| CN (1) | CN205821511U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109554748A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-04-02 | 徐州振丰原喷灌设备有限公司 | 一种用于单晶炉的热场 |
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2015
- 2015-10-13 CN CN201520788227.7U patent/CN205821511U/zh active Active
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