CN205773055U - 一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构，包括同步带机构、顶板组件和四根竖直设置的升降丝杆，所述同步带机构用于驱动四根升降丝杆同步转动，所述顶板组件安装于四根升降丝杆的丝杆螺母上。本实用新型采用一个驱动机构即可实现顶板组件的升降，结构简单紧凑，经济节约，采用同步带机构和升降丝杆配合，操作方便，升降过程稳定可靠。

Description

一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构

技术领域

本实用新型涉及生产型磁控溅射系统，尤其涉及一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构。

背景技术

随着磁控溅射系统向大尺寸、全自动方向发展，系统各部件也面临着自动运动控制的需求，已配合系统整体自动操作、自动工艺，方便设备使用和维护。生产型磁控溅射系统的工艺腔室内的顶板组件上安装有多个磁控溅射靶和其他零部件，当设备出现故障时，需要将顶板组件升起，对工艺腔室内零部件和顶板上安装的零部件进行检修，由于顶板组件负载重，同时顶板组件需要和工艺腔体进行密封配合，故顶板组件的升降必须稳定可靠，操作安全。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、经济节约、升降过程稳定可靠的用于生产型磁控溅射系统的升降机构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构，包括同步带机构、顶板组件和四根竖直设置的升降丝杆，所述同步带机构用于驱动四根升降丝杆同步转动，所述顶板组件安装于四根升降丝杆的丝杆螺母上。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述同步带机构包括驱动电机、主动轮、同步带和四个从动轮，所述主动轮安装于驱动电机的输出轴上，所述四个从动轮分别安装于四根升降丝杆上，所述同步带绕设于主动轮和四个从动轮上。

所述升降机构还包括固定设置安装板，所述顶板组件位于安装板的下方，所述驱动电机位于安装板上。

所述安装板与顶板组件之间设有手动固定杆，所述手动固定杆一端与安装板连接，另一端与顶板组件连接。

所述顶板组件上设有卡槽，所述手动固定杆下端穿过所述卡槽，并套设一锁紧螺母，所述手动固定杆与锁紧螺母之间为螺纹配合。

所述顶板组件对应设有控制顶板组件升降位置的位置传感器。

所述位置传感器包括工作工位传感器和检修工位传感器。

所述同步带机构还包括多个用于张紧同步带的张紧轮。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，采用一个驱动机构即可实现顶板组件的升降，结构简单紧凑，经济节约，采用同步带机构和升降丝杆配合，操作方便，升降过程稳定可靠。

进一步地，本实用新型的升降机构，通过手动固定杆与顶板组件相连，通过锁紧螺母将顶板组件固定在手动固定杆上，与驱动电机刹车同时作用，确保顶板组件不会因为刹车失灵而坠落，确保操作安全。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

图3是图1中A处放大图。

图4是图1中B处放大图。

图中各标号表示：

1、同步带机构；11、驱动电机；12、主动轮；13、同步带；14、从动轮；15、张紧轮；2、顶板组件；21、卡槽；3、升降丝杆；31、丝杆螺母；4、安装板；5、手动固定杆；6、锁紧螺母；71、工作工位传感器；72、检修工位传感器。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1至图4示出了本实用新型用于生产型磁控溅射系统的升降机构的一种实施例，该用于生产型磁控溅射系统的升降机构包括同步带机构1、顶板组件2和四根竖直设置的升降丝杆3，同步带机构1用于驱动四根升降丝杆3同步转动，顶板组件2安装于四根升降丝杆3的丝杆螺母31上。同步带机构1驱动四根升降丝杆3同步转动时，升降丝杆3上的丝杆螺母31带动顶板组件2沿升降丝杆3升降。本实施例的升降机构，采用一个驱动机构即可实现顶板组件2的升降，结构简单紧凑，经济节约，采用同步带机构1和升降丝杆3配合，操作方便，升降过程稳定可靠。

本实施例中，同步带机构1包括驱动电机11、主动轮12、同步带13和四个从动轮14，主动轮12安装于驱动电机11的输出轴（图中未示出）上，四个从动轮14分别安装于四根升降丝杆3上，同步带13绕设于主动轮12和四个从动轮14上。同步带机构1还包括多个用于张紧同步带13的张紧轮15。四个从动轮14分别固定在升降丝杆3的顶部，从动轮14与从动轮14之间，以及从动轮14与主动轮12之间设置多个张紧轮15，用于张紧同步带13。

本实施例中，升降机构还包括固定设置安装板4，顶板组件2位于安装板4的下方，所述驱动电机11位于安装板4上。升降丝杆3上端穿过安装板4并用于安装从动轮14，驱动电机11、同步带13、张紧轮15安装在安装板4上，四根升降丝杆3要求装配平行，顶板组件2在升降丝杆3的丝杆螺母31上要求装配水平，避免升降不平稳，电机负载大，严重时出现卡死的现象。

本实施例中，安装板4与顶板组件2之间设有手动固定杆5，手动固定杆5一端与安装板4连接，另一端与顶板组件2连接。顶板组件2上设有卡槽21，手动固定杆5下端穿过所述卡槽21，并套设一锁紧螺母6，手动固定杆5与锁紧螺母6之间为螺纹配合。手动固定杆5的下端设有螺纹段，锁紧螺母6与螺纹段配合，旋转锁紧螺母6，可以支撑顶板组件2，本实施例中，手动固定杆5设置4根，锁紧螺母6为蝶型螺母，方便旋转。通过驱动电机11的电机刹车配合手动固定杆5确保顶板组件2操作安全。

本实施例中，所述顶板组件2对应设有控制顶板组件2升降位置的位置传感器。位置传感器包括工作工位传感器71和检修工位传感器72，分别用于检测顶板组件2工作工位和检修工位。工作工位传感器71位于检修工位传感器72的下方。

工作原理：生产型磁控溅射系统正常工艺运行时，同步带机构1驱动顶板组件2下降至工作工位传感器71处；当需要更换顶板组件2上的溅射靶材（图中未示出）或对工艺腔体（图中未示出）内零部件进行装配维护时，启动驱动电机11，驱动电机11驱动同步带13带动四根升降丝杆3同步旋转，丝杆螺母31随着升降丝杆3的旋转沿升降丝杆3上升，同时与丝杆螺母31相连的顶板组件2也上升至检修工位传感器72处，此时驱动电机11刹车起作用，确保顶板组件2在该工位保持不动，同时，操作人员还可以将四根手动固定杆5与顶板组件2相连，通过蝶形螺母将顶板组件2固定在手动固定杆5上，与电机刹车同时作用，确保顶板组件2不会因为刹车失灵而坠落，确保操作安全。随后，操作人员可对顶板组件2和工艺腔体进行相应检修操作，操作完成后，反转驱动电机11，将顶板组件2下降至工作工位传感器71处。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (8)

1.一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：包括同步带机构（1）、顶板组件（2）和四根竖直设置的升降丝杆（3），所述同步带机构（1）用于驱动四根升降丝杆（3）同步转动，所述顶板组件（2）安装于四根升降丝杆（3）的丝杆螺母（31）上。

2.根据权利要求1所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述同步带机构（1）包括驱动电机（11）、主动轮（12）、同步带（13）和四个从动轮（14），所述主动轮（12）安装于驱动电机（11）的输出轴上，所述四个从动轮（14）分别安装于四根升降丝杆（3）上，所述同步带（13）绕设于主动轮（12）和四个从动轮（14）上。

3.根据权利要求2所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述升降机构还包括固定设置安装板（4），所述顶板组件（2）位于安装板（4）的下方，所述驱动电机（11）位于安装板（4）上。

4.根据权利要求3所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述安装板（4）与顶板组件（2）之间设有手动固定杆（5），所述手动固定杆（5）一端与安装板（4）连接，另一端与顶板组件（2）连接。

5.根据权利要求4所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述顶板组件（2）上设有卡槽（21），所述手动固定杆（5）下端穿过所述卡槽（21），并套设一锁紧螺母（6），所述手动固定杆（5）与锁紧螺母（6）之间为螺纹配合。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述顶板组件（2）对应设有控制顶板组件（2）升降位置的位置传感器。

7.根据权利要求6所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述位置传感器包括工作工位传感器（71）和检修工位传感器（72）。

8.根据权利要求2至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构，其特征在于：所述同步带机构（1）还包括多个用于张紧同步带（13）的张紧轮（15）。