CN205748803U - 一种单晶硅炉用分段检测漏气装置 - Google Patents

Abstract

一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，包括加筋软管，加筋软管的管体上设有一个阀门，且加筋软管的两端分别设置真空接头，所述真空接头包括弯头和将加筋软管接入需要检漏的管道的法兰板，法兰板上设置有贯通的中心孔，弯头一端焊接在中心孔上，另一端通过宝塔接头深入到加筋软管内，且通过喉箍将加筋软管与宝塔接头紧固防止漏气。在检漏时利用本实用新型将抽空管道和截止阀、泵与炉体分开来检漏，从而快速的判断是炉体漏气还是抽空管道和截止阀漏气，大大的提高的维修效率。

Description

一种单晶硅炉用分段检测漏气装置

技术领域

本实用新型涉及一种漏气检测装置尤其涉及一种单晶硅炉用分段检测漏气装置。

背景技术

单晶硅的生产是单晶炉在真空状态下，给内部的石墨加热器通电产生高温，在通入保护气体的状态下，使热场内的多晶硅熔化，采用直拉法生产单晶硅的过程。在这个过程中真空度非常的重要，因为一旦单晶炉漏气就会出现炉体内吸入大量杂质和非保护气体，这些杂质和非保护气体会改变单晶硅的性质，同时杂质超标会使产品不合格从而导致大量产品报废的重大损失，同时吸入大量的氧气，会氧化石墨器件，同样造成巨大损失。因此单晶炉有严格的漏气率要求，具体指标是CG6000型单晶炉在冷态的漏气率在每小时45毫托(45mtorr/h)以下，热态的漏气率在每小时30毫托（30mtorr/h）以下。一台单晶炉如果漏气率不合格，则必定是不能生产的废机器。

而单晶炉是一种非常复杂精密的设备，它的结构复杂，零部极多维修较为繁琐。密封的方式有多种多样，有橡胶密封环密封，磁流体密封，轴封密封等。每一个密封点就可以是一个漏气点，故寻找漏气点是一个非常复杂繁琐费时的过程。而且CG6000型单晶炉的特点是，炉体与抽空管道截止阀一起检漏。抽空管道和截止阀、泵又是容易漏气的点。如果抽空管道和截止阀漏气，以现在的检修手段无法直接判断，必须从单晶炉开始一步步的排除，耗时又耗力，极大地制约了生产效率。如何快速锁定漏气点，尤其是快速对抽空管道和截止阀漏气点的锁定是本领域技术人员首要解决的问题。

实用新型内容

为解决单晶炉的漏气点锁定慢，尤其是抽空管道和截止阀漏气点无法直接判断，须从单晶炉开始一步步的排除，耗时又耗力等问题，本实用新型提供一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，可以在检漏时将抽空管道和截止阀、泵与炉体分开来检漏，从而快速的判断是炉体漏气还是抽空管道和截止阀漏气，大大的提高的维修效率。

为解决上述技术问题所采用的技术方案是：本实用新型包括加筋软管，加筋软管的管体上设有一个阀门，且加筋软管的两端分别设置真空接头，所述真空接头包括弯头和将加筋软管接入需要检漏的管道的法兰板，法兰板上设置有贯通的中心孔，弯头一端焊接在中心孔上，另一端通过宝塔接头深入到加筋软管内，且通过喉箍将加筋软管与宝塔接头紧固防止漏气。

作为本实用新型一种单晶硅炉用分段检测漏气装置的进一步改进：所述法兰板为KF50型真空管道用法兰板。

作为本实用新型一种单晶硅炉用分段检测漏气装置的进一步改进：所述阀门的两端用两个外径1英寸的宝塔接头与加筋软管连接。

作为本实用新型一种单晶硅炉用分段检测漏气装置的进一步改进：所述加筋软管为内径尺寸1英寸。

作为本实用新型一种单晶硅炉用分段检测漏气装置的进一步改进：所述弯头为45°不锈钢弯头，弯头规格R=1.5D。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型包括筋软管，加筋软管的管体上设有一个阀门，且加筋软管的两端分别设置真空接头，所述真空接头包括弯头和将加筋软管接入需要检漏的管道的法兰板，采用法兰板便于与被检测管路对接，法兰板上设置有贯通的中心孔，弯头一端焊接在中心孔上，另一端通过宝塔接头深入到加筋软管内，且通过喉箍将加筋软管与宝塔接头紧固防止漏气，确保加筋软管与真空接头连接的气密性和安全性。

本实用新型所述阀门的两端用两个宝塔接头与加筋软管连接，宝塔接头外径和加筋软管内径尺寸相同。保证装置气密性，阀门的设置。

本实用新型采用的弯头为45°不锈钢弯头，弯头规格R=1.5D，用45°弯头时在拐弯处就形成了一定的坡度，起到了一个缓冲的作用，检测装置漏气时即使气流速度很高即使夹杂异物也会大大减轻对弯头处管壁的冲击力，增加了检漏装置的安全性，并且在一定程度上延长了真空接头的使用寿命。

在检漏管道时，两个管道接头之间的分段管道拆卸后，将本实用新型的两个真空接头接与两管道接头对接，然后抽空检漏，检漏结果如果不漏气，而装上原来的分段管道后，抽空检漏为漏气则证明原来的分段管道有漏气或者安装不到位。根据检测结果及时对该被检测的分段管道进行修复，提高了管道检漏效率。

本实用新型可检漏波纹管，波纹管拆卸后安装上本实用新型，抽空检漏，检漏结果如果不漏气，而装上原来的波纹管道后，抽空检漏为漏气则证明原来的波纹管道有漏气或者安装不到位。在检漏时将抽空管道和截止阀、泵与炉体分开来检漏，从而快速的判断是炉体漏气还是抽空管道和截止阀漏气，大大的提高的维修效率。

附图说明

图1为本实用新型单晶硅炉用分段检测漏气装置结构示意图；

图2为本实用新型工作过程示意图；

附图标记：1、加筋软管，2、真空接头，201、法兰板，202、弯头，203、中心孔，204、宝塔接头，205、喉箍，3、阀门。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，包括加筋软管1，加筋软管1的管体上设有一个阀门3，且加筋软管1的两端分别设置真空接头2，所述真空接头2包括弯头202和将加筋软管1接入需要检漏的管道的法兰板201，法兰板201上设置有贯通的中心孔203，弯头202一端焊接在中心孔203上，另一端通过宝塔接头204深入到加筋软管1内，且通过喉箍205将加筋软管1与宝塔接头204紧固防止漏气。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、完善和限定：

一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，包括1英寸加筋软管1和真空接头2，真空接头2装设在加筋软管1两端，加筋软管1上设置一个阀门，可选截止阀，截止阀的两端用两个内径1英寸的宝塔接头204与加筋软管1连接。

所述真空接头2包括KF50法兰板、45°不锈钢弯头和KF50法兰板上钻设的中心孔，45°不锈钢弯头一端焊接在KF50法兰板上，另一端焊接有内径1英寸宝塔接头，及与内径1英寸宝塔接头配合使用的喉箍205。所述宝塔接头204外径和加筋软管1内径尺寸相同。45°不锈钢弯头为规格R=1.5D。

本实用新型实施例1，本实用新型替换需检漏端管道，该管道可是“L”型抽空管道。如图2所示，首先将单晶炉的“L”型抽空管道MN拆下，然后将本实用新型的一端真空接头2与抽空管道波纹管的一端N相联接，本实用新型的另一端真空接头2与炉体短炉筒的一侧抽空管道接头M相连接，然后抽空检漏，检漏结果如果不漏气，而装上原来的抽空管道抽空检漏漏气则证明原来的“L”抽空管道有漏气或者安装不到位。

本实用新型实施例2，本实用新型替换需检漏端管道，该管道可是波纹管。如图2所示，首先将管道上的波纹管QN拆下，然后将本装置的一端真空接头2与抽空管道“T”型管的一端Q相连接，将本实用新型的另一端真空接头2与“L”型管道的一端N相连接，然后抽空检漏，检漏结果若不漏气而原来装波纹管时漏气，证明原波纹管处漏气或安装不到位，若安装不到位，重新安装，重复以上步骤进行检漏。

本实用新型实施例3，本实用新型能对炉体起隔离作用，便于检测炉体本身漏气，如图2所示，首先将抽空管道上的两个波纹管ST、QN拆下，用法兰板将两个抽空管道接口S、T盲住。然后用本装置的一端真空接头2与抽空管道“T”型管的一端Q连接，另一端真空接头2与从炉体延伸出来的“L”型抽空管道的接头N连接。这样就实现了用一根抽空管道对炉体进行抽空的目的。本装置的作用是在此种状态下对炉体进行抽空检漏，如果通体检漏漏气，然后关上本装置中的阀门3使炉体与后部的“T”型抽空管道和截止阀隔离，再次进行检漏，如果漏气则证明是炉体本身漏气，如果不漏气则证明是炉体后部的“T”型抽空管道和截止阀漏气。从而快速的判断漏气部位，及时准确的进行维修，以减少检修时间减轻劳动强度。

实用新型并不局限于上述具体的实施例，它还有很多变化或改型，都不脱离本实用新型的实质精神和范围，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：包括加筋软管（1），加筋软管（1）的管体上设有一个阀门（3），且加筋软管（1）的两端分别设置有真空接头（2），所述真空接头（2）包括弯头（202）和将加筋软管（1）接入需要检漏的管道的法兰板（201），法兰板（201）上设置有贯通的中心孔（203），弯头（202）一端焊接在中心孔（203）上，另一端通过宝塔接头（204）深入到加筋软管（1）内，且通过喉箍（205）将加筋软管（1）与宝塔接头（204）紧固防止漏气。

2.如权利要求1所述的单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：所述法兰板（201）为KF50型真空管道用法兰板（201）。

3.如权利要求1所述的单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：阀门（3）的两端用两个宝塔接头（204）与加筋软管（1）连接。

4.如权利要求1所述的单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：所述宝塔接头（204）为外径1英寸的宝塔接头，与加筋软管（1）相连。

5.如权利要求1所述的单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：所述加筋软管（1）的内径为1英寸。

6.如权利要求1所述的单晶硅炉用分段检测漏气装置，其特征在于：所述弯头（202）为 45°不锈钢弯头，弯头规格R=1.5D。