CN205718260U - 一种防止热扩散的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种防止热扩散的装置，由于该防止热扩散的装置可通过热风连接管路连接热循环泵和出风口，所以当该干燥仓的仓门打开时，该防止热扩散的装置的出风口可以在该干燥仓的仓口吹出热风，并在该干燥仓的仓口形成热风的风帘，从而减少该干燥仓内热空气与该干燥仓外的冷空气相互间的热交换，进而减少了该干燥仓内的热空气的热量损失，使得对干燥仓的再次加热过程所需付出的额外能源消耗减少，从而减少了能源消耗并提高了该干燥仓的运行效率。

Description

一种防止热扩散的装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种防止热扩散的装置。

背景技术

在半导体材料的制造过程中，半导体材料通常由卡匣固定并在各个工作流程的节点之间流转，而卡匣作为半导体材料的载体，其清洁度直接关系到半导体材料的质量，所以在半导体材料的制造过程中卡匣的清洗相当重要。

在现有技术中，对卡匣的清洗过程一般分为两步，第一步，在清洗仓内对卡匣进行清洗，第二步，将已经清洗好的卡匣送入干燥仓内快速干燥，以便使卡匣可以继续使用。

但是，当卡匣在干燥仓中干燥完毕之后，还需要将该卡匣从干燥仓中取出，也就是说，干燥仓需要开启仓门并将该卡匣送出，而在开启干燥仓的仓门时，由于干燥仓内的热空气会与干燥仓外的冷空气进行热交换，导致干燥仓内的空气的热量会出现不可避免的损失。

进一步的，由于干燥仓的仓口大小必须大于卡匣的大小，同时为了提高干燥效率，一般同时有多个卡匣进行干燥，所以在现有技术中的干燥仓仓口都较大，这就进一步加剧了干燥仓的仓口打开时干燥仓内的热量损失。

更进一步的，由于干燥仓内的热量出现损失，所以当干燥仓开始对下一批卡匣进行干燥之前，该干燥仓还需要再次加热以便达到设定的干燥温度，从而导致该干燥仓的运行效率降低，同时该再次加热的过程也需要付出额外的能源消耗(如，电能消耗)，增加了能源消耗。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种防止热扩散的装置，用以解决现有干燥仓在卡匣取出时，由于干燥仓内空气的热量流失很大，导致干燥仓的运行效率低以及能源消耗增加的问题。

本实用新型提供一种防止热扩散的装置，其特征在于，所述装置包括：热循环泵、热风连接管路以及出风口，其中：

所述热循环泵，用于向所述防止热扩散的装置提供热风；

所述热风连接管路，用于连接热循环泵和所述出风口；

所述出风口，在开启时用于将所述热循环泵提供的热风吹出，以形成热风的风帘；

进一步地，所述装置还包括：电磁阀，设置于所述热风连接管路上，用于控制所述出风口开启或关闭；

进一步地，所述出风口有多个；所述热风连接管路分别与每个出风口连接；

进一步地，所述装置还包括：干燥仓；

所述出风口位于干燥仓的仓口，所述出风口吹出的热风在仓口内与仓口外之间形成风帘隔离层；

进一步地，所述出风口垂直于所述仓口的内壁；

进一步地，所述出风口向所述干燥仓内倾斜预设的角度；

进一步地，所述出风口的宽度与所述干燥仓仓口的宽度一致；

进一步地，所述出风口位于所述仓口的上内壁和/或下内壁；

进一步地，所述电磁阀位于所述热风连接管路与所述热循环泵连接的一端。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的防止热扩散的装置，由于该防止热扩散的装置可通过该热风连接管路连接该热循环泵和该出风口，所以当该干燥仓的仓门打开时，该防止热扩散的装置的出风口可以在该干燥仓的仓口吹出热风，并在该干燥仓的仓口形成热风的风帘，从而减少该干燥仓内热空气与该干燥仓外的冷空气相互间的热交换，进而减少了该干燥仓内的热空气的热量损失，使得对干燥仓的再次加热过程所需付出的额外能源消耗减少，从而减少了能源消耗并提高了该干燥仓的运行效率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的一种防止热扩散的装置的结构示意图；

图2a和图2b为本实用新型实施例提供的出风口的形状示意图；

图3为本实用新型实施例提供的干燥仓的仓口正视结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的该防止热扩散装置有多个出风口的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型实施例提供了一种防止热扩散的装置的结构示意图，在图1中显示了该防止热扩散的装置的主要部件。该防止热扩散的装置用于减少当干燥仓14的仓口15开启后，该干燥仓14内的热量损失，具体的，该防止热扩散的装置包括：热循环泵16、热风连接管路11以及出风口12。

进一步地，上述热风连接管路11的一端可连接热循环泵16的供热口17，使得该热循环泵16通过供热口17送出的热风可以通过该热风连接管路11的另一端从该防止热扩散的装置的出风口12中送出，即，该防止热扩散装置的出风口12通过该热风连接管路11与该热循环泵16的供热口17联通，该防止热扩散装置由该热循环泵16提供热风。并且，由于热循环泵16通常是不间断运行的，所以该防止热扩散的装置的出风口12可随时送出热风。

进一步地，该防止热扩散的装置还包括干燥仓14，并且，该干燥仓14的仓口15可为矩形，即，该仓口15可有四个内壁：上内壁、下内壁、左内壁以及右内壁。

进一步地，本实用新型提供的该出风口12与该热风连接管路11一一对应连接，即，一个热风连接管路11就连接有一个出风口12，其中，该出风口12可以位于该干燥仓14的仓口15的任一内壁上，或者出风口12可位于仓口15的上内壁和下内壁，并且该出风口12可以垂直于该仓口15的内壁。

进一步地，该出风口12的形状可以根据需要制作成不同的形状，如，若需要较大的出风量，则该出风口12可以是一个矩形狭缝，如图2a所示，若为避免该热循环泵16内的热量由于向该防止热扩散的装置送出热风太多而损失太大，则该出风口12可以是若干圆形小孔洞组成的队列，如图2b所示，且该出风口12的宽度可与该干燥仓14的仓口15的宽度一致，以便该出风口12吹出的热风在该仓口15形成的风帘隔离层可以完全隔离该仓口15内的热空气和仓口15外的冷空气，以便隔离热空气和冷空气的热交换，从而减少该干燥仓14内的热空气的热量损失。

图2a和图2b为本实用新型实施例提供的出风口12的形状示意图，在图2a和图2b中显示的是带有出风口12的仓口15的内壁正视图，其中可见在图2a中，该出风口12为一矩形狭缝，在图2b中，该出风口12为若干圆形小孔洞组成的队列。

进一步地，在本实用新型中，该出风口12至少有一个，而为了进一步减少该干燥仓14内的热量损失，该出风口12可以有两个，并且，由于通常干燥仓14的仓门通常是在仓口15的左右对开的，而为了当该出风口12在该仓口15的左内壁和右内壁相对排列时，该出风口12吹出热风时较容易在该仓口15产生机械震动，所以为了减少该出风口12吹出热风后产生机械震动的几率，避免影响干燥仓14的使用寿命，在本实用新型中的两个出风口12可在该仓口15的上内壁和下内壁相对排列，如图3所示，即，在实际使用中，可以在干燥仓14的仓口15的上内壁和下内壁相对排列两个出风口12，以便从该出风口12中吹出的热风可以在该仓口15处形成热风的风帘，同时降低在该仓口15产生机械振动的几率。

并且在这种情况下，该出风口12可以进一步的在垂直方向上向该干燥仓14的仓内倾斜预设的角度(如，倾斜2°)，以使得该出风口12送出的热风，在形成热风的风帘同时，可以将一部分热风吹向该干燥仓14的仓内，进一步减少该干燥仓14的仓内的热量损失，当然，具体该倾斜角度为多少本实用新型并不做具体限定。

图3为本实用新型实施例提供的该干燥仓14的仓口15正视结构示意图，其中可见，该出风口12在该仓口15的上内壁以及下内壁相对排列，则当热风通过该热风连接管路11从该出风口12吹出时，可以在该仓口15形成热风的风帘，以在该仓口15内与该仓口15外之间形成热风的风帘隔离层。

当然，本实用新型并不限制该出风口12的数量，即，该出风口12可以有多个。其中，若需要更进一步地隔离该干燥仓14内部的热空气与外部的冷空气的热交换，在该干燥仓14的仓口15可以设置更多的出风口12，如，在该干燥仓14的仓口15的上内壁和下内壁排列多层出风口12，使得通过各出风口12可以在该仓口15形成多个热风的风帘隔离层，如图4所示。

图4为本实用新型实施例提供的该防止热扩散装置有多个出风口12的结构示意图，在图3中显示的是带有多个出风口12的仓口15的内壁正视图。需要说明的是，在本实用新型中并不限制多个出风口12全部位于该仓口15的一个内壁上，即，该仓口15的每一个内壁上均可以有多个出风口12。

更进一步地，本实用新型提供的防止热扩散的装置中还包括电磁阀13，该电磁阀13设置于所述热风连接管路上，可以位于该防止热扩散的装置中该热风连接管路11中的任一位置，例如电磁阀13可位于所述热风连接管路11与热循环泵16连接的一侧，该电磁阀13可以在该干燥仓14的仓口15打开之前就开启，以便热风可以先进入该热风连接管路11中，以便当该仓口15在打开的第一时间该出风口12即可送出热风以形成热风的风帘。当然，为了减少在该电磁阀13未开启时，热循环泵16向该热风连接管路11内送出热风，而进一步减少热量损耗，该电磁阀13可位于该热风连接管路11与该热循环泵16连接的供热口17一侧，则当该电磁阀13未开启时，可以减少向该热风连接管路11提供的热风，从而减少散热面积，降低热量损耗。

需要说明的是，为了减少该干燥仓14的仓内的热量损失，本实用新型中所述的防止热扩散的装置在通过该热风连接管路11从该出风口12送出的热风的温度可不低于该干燥仓14的仓内温度，如，该干燥仓14的仓内温度为80℃，则该防止热扩散的装置的出风口12送出的热风的温度可以为90℃。

具体的，在通常情况下，为了延长设备使用寿命，该热循环泵16不会满负荷运转，即，该热循环泵16提供给该干燥仓14的热风的温度不是该热循环泵16所能提供热风的最高温度，所以当该仓口15打开之前，该热循环泵16可以提高运行功率，以便向该防止热扩散的装置送出的热风的温度更高。

另外，由于通常情况下，卡匣的清洗以及干燥过程都是自动进行的，即，清洗仓以及该干燥仓14的清洗过程、干燥过程以及入仓和出仓的过程都是自动化的，而一般自动化控制都需要一个控制中心，该控制中心可以是一个处理器或者集成电路等控制设备，所以为了使本实用新型中所述的防止热扩散的装置可以同样通过该控制中心实现自动化的防止该干燥仓14的热量损失，即，该防止热扩散的装置还可以与该控制中心相连，并通过该控制中心控制该防止热扩散的装置的电磁阀13的开启或者关闭。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (9)

1.一种防止热扩散的装置，其特征在于，所述装置包括：热循环泵、热风连接管路以及出风口，其中：

所述热循环泵，用于向所述防止热扩散的装置提供热风；

所述热风连接管路，用于连接热循环泵和所述出风口；

所述出风口，在开启时用于将所述热循环泵提供的热风吹出，以形成热风的风帘。

2.如权利要求1所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述装置还包括：

电磁阀，设置于所述热风连接管路上，用于控制所述出风口开启或关闭。

3.如权利要求1所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述出风口有多个；

所述热风连接管路分别与每个出风口连接。

4.如权利要求1所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述装置还包括：干燥仓；

所述出风口位于干燥仓的仓口，所述出风口吹出的热风在仓口内与仓口外之间形成风帘隔离层。

5.如权利要求4所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述出风口垂直于所述仓口的内壁。

6.如权利要求4所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述出风口向所述干燥仓内倾斜预设的角度。

7.如权利要求4所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述出风口的宽度与所述干燥仓仓口的宽度一致。

8.如权利要求4所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述出风口位于所述仓口的上内壁和/或下内壁。

9.如权利要求2所述的防止热扩散的装置，其特征在于，所述电磁阀位于所述热风连接管路与所述热循环泵连接的一端。