CN205711044U - 一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新涉及一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，包括坩埚，测温孔护套、发热体、顶保温层、侧保温层、底保温层；所述的发热体位于坩埚外周、并包围住坩埚的侧面和底面；所述的顶保温层位于坩埚上方；所述的顶保温层中心开有测温孔；所述的测温孔护套安放在顶保温层测温孔内；所述的侧保温层、底保温层分别位于发热体外围和底部。本实用新型的有益效果是：测温孔护套阻隔坩埚泄露的SiC蒸汽沿测温孔的输运，避免了测温孔内因SiC结晶造成的堵塞，有利于保证在整个晶体生长过程能够准确的测量坩埚温度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种碳化硅制备装置领域的热场结构，具体的涉及一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构。
背景技术
在SiC晶体制备领域中，最为成熟的生长方法是物理气相传输法（PVT）。晶体生长使用的坩埚使用石墨材料，由于石墨材料具一定孔隙率，高温下SiC蒸汽可以穿透石墨坩埚并在坩埚外部的保温毡内沉积。由于测温需要，通常在顶部保温毡中心开孔，通过红外测温仪测量坩埚顶部温度，由于开孔位置气流阻力小，开孔位置会成为SiC蒸汽优先输运通道，在长晶过程初期，测温孔就会因SiC蒸汽沉积尔堵塞，影响及顶部散热，从尔影响后续晶体生长。
为此，如何提供一种避免顶部测温孔堵塞的结构，是本实用新型研究的目的。
发明内容
为克服现有技术问题，本实用新型提供一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，来阻隔坩埚泄露的SiC蒸汽沿测温孔的输运，避免测温孔内因SiC结晶造成的堵塞，保证了在整个晶体生长过程能够准确的测量坩埚温度。
为解决现有技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：
一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，包括坩埚、测温孔护套、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层；所述的发热体位于坩埚外周、并包围住坩埚的侧面和底面；所述的顶保温层位于坩埚上方；所述的顶保温层中心开有测温孔；所述的测温孔护套安放在顶保温层测温孔内；所述的侧保温层、底保温层分别位于发热体外围和底部。
进一步的，所述的测温孔护套长度大于顶部保温层厚度，所述的测温孔护套下端距离坩埚顶部距离小于10mm，或直接与坩埚顶部连接在一起。
进一步的，所述的顶保温层、侧保温层、底保温层均采用石墨软毡或石墨硬毡材料。
本实用新型的有益效果是：测温孔护套阻隔坩埚泄露的SiC蒸汽沿测温孔的输运，避免了测温孔内因SiC结晶造成的堵塞，有利于保证在整个晶体生长过程能够准确的测量坩埚温度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
其中：坩埚1，测温孔护套2、发热体3、顶保温层4、侧保温层5、底保温层6、感应圈7、碳化硅原料8、碳化硅晶体9。
具体实施方式
为了使本领域技术人员能够更加理解本实用新型技术方案，下面结合附图1对本实用新型做进一步分析。
一种用于制备碳化硅晶体的热场结构，包括坩埚1，测温孔护套2，发热体3，顶保温层4，侧保温层5和底保温层6；其中发热体3位于坩埚1外周、包围住坩埚1的侧面和底面，顶保温层4位于坩埚1上方，测温孔护套2安放在顶保温层4测温孔内，侧保温层5、底保温层6分别位于发热体3外围和底部。晶体生长过程中，由于测温孔护套2阻隔SiC蒸汽向测温孔输运通径，从而避免测温孔内部因SiC蒸汽结晶而堵塞。测温孔护套2下端与坩埚1顶部间距小于10mm或直接与坩埚顶部连接在一起。测温孔护套2表面可涂覆碳化钽等耐高温涂层，因涂层表面光滑且具有较高反射能力，可进一步减少测温孔护套2内壁结晶。
本实用新型所述结构阻隔坩埚泄露的SiC蒸汽沿测温孔的输运，从而避免测温孔内因SiC结晶造成的堵塞，有利于保证在整个晶体生长过程能够准确的测量坩埚温度。
以上对本申请所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了实施例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (3)
1.一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，其特征在于：包括坩埚，测温孔护套、发热体、顶保温层、侧保温层和底保温层；所述的发热体位于坩埚外周、并包围住坩埚的侧面和底面；所述的顶保温层位于坩埚上方；所述的顶保温层中心开有测温孔；所述的测温孔护套安放在顶保温层测温孔内；所述的侧保温层、底保温层分别位于发热体外围和底部。
2.根据权利要求1所述的一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，其特征在于：所述的测温孔护套长度大于顶部保温层厚度，所述的测温孔护套下端距离坩埚顶部距离小于10mm，或直接与坩埚顶部连接在一起。
3.根据权利要求1所述的一种避免顶部保温中心测温孔堵塞的热场结构，其特征在于：所述的顶保温层、侧保温层、底保温层均采用石墨软毡或石墨硬毡材料。
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