CN205711034U - 一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台 - Google Patents

一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台 Download PDF

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宗艳民
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Abstract

本申请提供了一种新型的SiC生长坩埚平台，该装置通过螺栓将两块石墨平台连接在一起，并将坩埚固定于两块石墨平台之间，当石墨受热膨胀时，由于螺栓的固定，石墨平台不会发生位置平移，从而保障了坩埚位置的稳定性。另外，在两块石墨平台相对的一侧，在每个石墨平台上设有一个半圆，两个半圆内侧设置有加热套，坩埚正好放置于该加热套内，使得坩埚受热均匀，避免了坩埚内由于局部过热而对产品造成影响，也避免了坩埚内由于局部受不到热，而对能源造成浪费。为了加速石墨及坩埚的温度降低，在石墨块和坩埚的地下设置冷水管，冷水管盘绕在石墨块底端，当需要冷却时，可以通入冷却水，水将热量带走，从而使得坩埚的温度迅速降下来。

Description

一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台
技术领域
本申请涉及SiC生产技术领域，具体为一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台。
背景技术
人造SiC通常是在坩埚中进行生产的，坩埚是通过石墨平台进行支撑的，石墨平台起到均热作用，在SiC生长过程中，需要反复对坩埚进行加热和冷却，石墨平台也需要经历反复不断的膨胀和收缩，石墨平台的膨胀和收缩会导致坩埚的中心位置发生偏移，使得坩埚在使用过程中不稳定，容易晃动，一旦坩埚在使用过程中发生晃动，极易导致坩埚内的温场不均匀，严重影响SiC的质量。
另外，现有技术中对坩埚的加热方式使得坩埚受热不均匀，这影响了SiC晶体的生长质量，也对能源造成了浪费。
此外，在加热结束后，需要将坩埚取下来，但是由于坩埚温度过高，需要进行自然冷却降温，这就会浪费时间，使得工作效率下降。
基于上述问题，设计发明一种新型的SiC生长坩埚平台就显得尤为必要。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷，本申请提供了一种新型的SiC生长坩埚平台，该装置通过螺栓将两块石墨平台连接在一起，并将坩埚固定于两块石墨平台之间，当石墨受热膨胀时，由于螺栓的固定，石墨平台不会发生位置平移，从而保障了坩埚位置的稳定性。另外，在两块石墨平台相对的一侧，在每个石墨平台上设有一个半圆，两个半圆内侧设置有加热套，坩埚正好放置于该加热套内，使得坩埚受热均匀，避免了坩埚内由于局部过热而对产品造成影响，也避免了坩埚内由于局部受不到热，而对能源造成浪费。为了加速石墨及坩埚的温度降低，在石墨块和坩埚的地下设置冷水管，冷水管盘绕在石墨块底端，当需要冷却时，可以通入冷却水，水将热量带走，从而使得坩埚的温度迅速降下来。
一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台，包括第一石墨平台和第二石墨平台，所述的第一石墨平台和第二石墨平台通过两个螺栓连接在一起，两根螺栓分别贯穿第一石墨平台和第二石墨平台的两侧，所述的第一石墨平台和第二石墨平台相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆内侧设置有加热套，坩埚正好放置于该加热套内；
在第二石墨平台的一侧为螺帽，在第一石墨平台的一侧为螺母；在螺帽与第二石墨平台之间设有弹簧；
所述的第一石墨平台和第二石墨平台放置在不锈钢底座上，且不锈钢底座内设置有冷水管，所述的冷水管盘绕在不锈钢底座的顶端，正好在石墨块和坩埚的底部，能冷却石墨块和坩埚的热量；
由于两个石墨平台通过螺栓连接在一起，对石墨平台起到了固定作用，而第二石墨平台外侧弹簧的设置，使得石墨平台受热膨胀时，会想着外侧移动，而弹簧能缓冲这种压力，而避免了螺帽对石墨平台的挤压，也避免了石墨平台对坩埚的挤压，避免了坩埚由于受压过大而破碎；
在不锈钢底座上设置通风孔，起到通风散热的作用。
加热套的设置，使得坩埚受热均匀，避免了坩埚内由于局部过热而对产品造成影响，也避免了坩埚内由于局部受不到热，而对能源造成浪费。
为了加速石墨及坩埚的温度降低，在石墨块和坩埚的地下设置冷水管，冷水管盘绕在石墨块底端，当需要冷却时，可以通入冷却水，水将热量带走，从而使得坩埚的温度迅速降下来。
综上所述，本申请提供的SiC生长坩埚，具有稳定性好，通风散热性能优良，结构简单，使用方便等优点。
附图说明
图1为一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台主视示意图；
图2为一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台俯视示意图；
附图标记
图中1为第一石墨平台，2为螺栓，3为第二石墨平台，4为螺帽，5为弹簧，6为不锈钢底座，7为冷水管，8为坩埚，9为加热套。
具体实施例
实施例1
一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台，包括第一石墨平台1和第二石墨平台3，所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3通过两个螺栓2连接在一起，两根螺栓2分别贯穿第一石墨平台1和第二石墨平台3的两侧，所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆内侧设置有加热套9，坩埚8正好放置于该加热套内；
在第二石墨平台3的一侧为螺帽4，在第一石墨平台1的一侧为螺母；在螺帽4与第二石墨平台3之间设有弹簧5；
所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3放置在不锈钢底座6上，且不锈钢底座6内设置有冷水管7，所述的冷水管7盘绕在不锈钢底座6的顶端，正好在石墨块和坩埚的底部，能冷却石墨块和坩埚的热量；
所述的第一石墨平台1和第二石墨平台3相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆正好形成放置坩埚8的空间；
由于两个石墨平台通过螺栓连接在一起，对石墨平台起到了固定作用，而第二石墨平台外侧弹簧的设置，使得石墨平台受热膨胀时，会想着外侧移动，而弹簧能缓冲这种压力，而避免了螺帽对石墨平台的挤压，也避免了石墨平台对坩埚的挤压，避免了坩埚由于受压过大而破碎；
在不锈钢底座上设置通风孔，起到通风散热的作用。
加热套的设置，使得坩埚受热均匀，避免了坩埚内由于局部过热而对产品造成影响，也避免了坩埚内由于局部受不到热，而对能源造成浪费。
为了加速石墨及坩埚的温度降低，在石墨块和坩埚的地下设置冷水管，冷水管盘绕在石墨块底端，当需要冷却时，可以通入冷却水，水将热量带走，从而使得坩埚的温度迅速降下来。
综上所述，本申请提供的SiC生长坩埚，具有稳定性好，通风散热性能优良，结构简单，使用方便等优点。

Claims (3)

1.一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台，其特征在于，包括第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)，所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)通过两个螺栓(2)连接在一起，两根螺栓(2)分别贯穿第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)的两侧；所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)放置在不锈钢底座(6)上，且不锈钢底座(6)内设置有冷水管(7)，所述的冷水管(7)盘绕在不锈钢底座(6)的顶端。
2.如权利要求1所述的能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台，其特征在于，在第二石墨平台(3)的一侧为螺帽(4)，在第一石墨平台(1)的一侧为螺母；在螺帽(4)与第二石墨平台(3)之间设有弹簧(5)。
3.如权利要求1所述的能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台，其特征在于，所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)相对的一侧，在每个平台上分别设有半圆，两半圆大小及相对位置为对应的，两个半圆内侧设置有加热套(9)，坩埚(8)放置于该加热套内。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109338476A (zh) * 2018-11-26 2019-02-15 国宏中晶集团有限公司 一种蓝宝石晶体退火用温控系统及方法

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Date of cancellation: 20190920

Granted publication date: 20161123

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Patentee before: Shandong Tianyue Crystal Material Co., Ltd.

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CP03 Change of name, title or address

Address after: No.99, Tianyue South Road, Huaiyin District, Jinan City, Shandong Province

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Address before: No.99, Tianyue South Road, Huaiyin District, Jinan City, Shandong Province

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